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本实用新型公开了一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波模块、逻辑控制模块和等离子腔体；所述直流DC模块、交流AC斩波模块和逻辑控制模块均设置于交流镀膜电源上，直流DC模块连接交流AC斩波...
该专利属于上海硬石科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海硬石科技有限公司授权不得商用。

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