一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置，包括镀膜电源U1、点火模块U2、切换电路S1以及气体负载；镀膜电源U1和点火模块U2以及气体负载均连接切换电路S1；本实用新型专利技术通过选择输出电压范围较广并能覆盖包含点火电压和工作电压的电源；U2模块提供气体起辉时所需要的高压，U1提供等离子体正常工艺期间的电压和电流；根据气体的负载特性可知，U2的所需的功率远小于U1；模块S1则根据气体负载的状态，选择U1或者U2投入工作；满足气体起辉以及等离子体正常工作，降低电源的成本；工艺气体变化需要更高的点火起辉电压时，只需升级点火起辉模块。只需升级点火起辉模块。只需升级点火起辉模块。

【技术实现步骤摘要】
一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置


[0001]本技术涉及点火起辉电路，具体涉及一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置。

技术介绍

[0002]在溅射镀膜工艺中，需要把气体电离为等离子体状态，用以完成后续的工艺步骤。气体是一种较为特殊的负载，在进行镀膜蚀刻等工艺过程中等离子体的工作电压相对稳定，但一般情况下，需要一个更高的电压先将气体先点燃起辉，气体起辉成功后，其阻抗下降，维持等离子体所需要的电压小于其点火电压。为了产生等离子体，镀膜电源的电压必须超过某一阈值，通常这一阈值大于电源的稳定工作电压。
[0003]现有技术中镀膜电源的输出电压范围过大，电源成本增加，并且电源很大一部分输出能力被浪费；不同的工艺气体需要的点火起辉电压不同，当需要的起辉电压大于现有的电源时，电源不能工作，电源的适应性遭到极大的限制。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供了一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置；通过选择输出电压范围较广并能覆盖包含点火电压和工作电压的电源；U2模块提供气体起辉时所需要的高压，U1提供等离子体正常工艺期间的电压和电流；根据气体的负载特性可知，U2的所需的功率远小于U1；模块S1则根据气体负载的状态，选择U1或者U2投入工作；满足气体起辉以及等离子体正常工作，降低电源的成本；工艺气体变化需要更高的点火起辉电压时，只需升级点火起辉模块。
[0005]本技术用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置是通过以下技术方案来实现的：包括镀膜电源U1、点火模块U2、切换电路S1以及气体负载；镀膜电源U1和点火模块U2以及气体负载均连接切换电路S1。
[0006]作为优选的技术方案，切换电路S1包括IGBT Q1、第一二极管D1、第二二极管D2、电阻R1、电压电流传感器以及控制板；
[0007]镀膜电源U1连接气体负载；点火模块U2与镀膜电源U1并联；镀膜电源U1和点火模块U2均连接控制板。
[0008]作为优选的技术方案，点火模块U2与镀膜电源U1之间安装IGBT Q1和第一二极管D1以及电阻R1；
[0009]镀膜电源U1与气体负载之间安装有第二二极管D2；控制板与点火模块U2连接处安装有i1；控制板与镀膜电源U1连接处安装有V0。
[0010]本技术的有益效果是：通过选择输出电压范围较广并能覆盖包含点火电压和工作电压的电源；U2模块提供气体起辉时所需要的高压，U1提供等离子体正常工艺期间的电压和电流；根据气体的负载特性可知，U2的所需的功率远小于U1；模块S1则根据气体负载的状态，选择U1或者U2投入工作；满足气体起辉以及等离子体正常工作，降低电源的成本；
工艺气体变化需要更高的点火起辉电压时，只需升级点火起辉模块。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本技术用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置的示意图；
[0013]图2为本技术用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置的内部结构示意图。
具体实施方式
[0014]本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
[0015]本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
[0016]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“一端”、“另一端”、“外侧”、“上”、“内侧”、“水平”、“同轴”、“中央”、“端部”、“长度”、“外端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0017]此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0018]本技术使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。
[0019]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“套接”、“连接”、“贯穿”、“插接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]如图1和图2所示，本技术的一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置，包括镀膜电源U1、点火模块U2、切换电路S1以及气体负载；镀膜电源U1和点火模块U2以及气体负载均连接切换电路S1。
[0021]本实施例中，切换电路S1包括IGBT Q1、第一二极管D1、第二二极管D2、电阻R1、电
压电流传感器以及控制板；
[0022]镀膜电源U1连接气体负载；点火模块U2与镀膜电源U1并联；镀膜电源U1和点火模块U2均连接控制板。
[0023]本实施例中，点火模块U2与镀膜电源U1之间安装IGBT Q1和第一二极管D1以及电阻R1；
[0024]镀膜电源U1与气体负载之间安装有第二二极管D2；控制板与点火模块U2连接处安装有i1；控制板与镀膜电源U1连接处安装有V0。
[0025]本技术的有益效果是：通过选择输出电压范围较广并能覆盖包含点火电压和工作电压的电源；U2模块提供气体起辉时所需要的高压，U1提供等离子体正常工艺期间的电压和电流；根据气体的负载特性可知，U2的所需的功率远小于U1；模块S1则根据气体负载的状态，选择U1或者U2投入工作；满足气体起辉以及等离子体正常工作，降低电源的成本；工艺气体变化需要更高的点火起辉电压时，只需升级点火起辉模块。
[0026]以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置，其特征在于：包括镀膜电源U1、点火模块U2、切换电路S1以及气体负载；所述镀膜电源U1和点火模块U2以及气体负载均连接切换电路S1。2.根据权利要求1所述的用于辅助直流镀膜电源点火起辉的装置，其特征在于：所述切换电路S1包括IGBT Q1、第一二极管D1、第二二极管D2、电阻R1、电压电流传感器以及控制板；所述镀膜电源U1连接气体负载；...

【专利技术属性】
技术研发人员：阚龙，
申请(专利权)人：上海硬石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：