一种交流镀膜电源输出切换以及保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种交流镀膜电源输出切换以及保护装置，包括一个以上的功率变压器T1、一个以上的切换开关S1、以及一个以上的电流传感器CT1、电流传感器CT01、逻辑处理电路M1、逻辑处理电路M2、逻辑处理电路M3以及负载；本实用新型专利技术通过选择不同的变压器线包，来提高交流镀膜电源的输出负载阻抗匹配范围；并提供相应的保护电路确保抽头切换时电源的可靠运行；增加中频镀膜电源的负载阻抗匹配范围；方便用户使用；保护抽头切换装置。保护抽头切换装置。保护抽头切换装置。

【技术实现步骤摘要】
一种交流镀膜电源输出切换以及保护装置


[0001]本技术涉及一种交流溅射镀膜
，具体涉及一种交流镀膜电源输出切换以及保护装置。

技术介绍

[0002]在交流溅射镀膜领域中，不同的镀膜工艺对电源的负载阻抗匹配范围要求不同，有的阻抗较低，有的阻抗较高，需要电源的输出能够覆盖由低到高的所有阻抗范围；
[0003]一般情况下，交流镀膜电源为了匹配负载的阻抗有两种技术方案，1一种是电源提供一个足够大的输出范围用来覆盖客户所需阻抗范围；2另一种是提供若干个中间抽头，客户可以手动切换来匹配负载的阻抗范围；
[0004]具有以下缺点：电源成本增加且电源的使用范围会受限；方案2可以解决方案1的缺点，但增加了用户的使用难度，操作不便；手动切换时不知道电源的输出状态，可能造成电源损坏。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是提供了一种通过抽头开关的切换，通过选择不同的变压器线包，来提高交流镀膜电源的输出负载阻抗匹配范围；并提供相应的保护电路确保抽头切换时电源的可靠运行；增加中频镀膜电源的负载阻抗匹配范围；方便用户使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交流镀膜电源输出切换以及保护装置，其特征在于：包括一个以上的功率变压器T1、一个以上的切换开关S1、以及一个以上的电流传感器CT1、电流传感器CT01、逻辑处理电路M1、逻辑处理电路M2、逻辑处理电路M3以及负载。2.根据权利要求1所述的交流镀膜电源输出切换以及保护装置，其特征在于：所述一个以上的功率变压器T1和一个以上的切换开关S1...

【专利技术属性】
技术研发人员：阚龙，
申请(专利权)人：上海硬石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：