【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜领域，具体涉及一种用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置。
技术介绍
1、在溅射镀膜工艺中，需要把气体电离为等离子体状态，用以完成后续的工艺步骤。等离子体是一种较为特殊的负载，其阻抗在正常工作过程中并不稳定，当气体浓度、温度或者溅射腔体内存在尖端放电异物时，阻抗会急剧下降，电源输出电压下降，电流会超过正常值，这时候需要电源快速切断输出，防止对靶造成伤害；
2、又因为镀膜工艺的要求，电源需要快速启动恢复输出，电源需在至少几十微秒内重启，这种情况下，电源输入端会产生较大的电压冲击，如不加处理，容易对电源内的器件造成损害。为降低该损害，一般增加缓启动电路，延长电源重启时间。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是提供一种用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，在不影响生产效率的情况下，处理电源输入侧的电压冲击。
2、本技术用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置是通过以下技术方案来实现的：包括直流电源、缓冲电路、开关电路以及等离子体负载；
3、...
【技术保护点】
1.一种用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特征在于：包括直流电源(1)、缓冲电路(2)、开关电路(3)以及等离子体负载(4)；
2.根据权利要求1所述的用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特征在于：所述缓冲电路(2)包括二极管(9)、电容器(10)以及电阻器(11)，所述二极管(9)与电容器(10)串联，且电阻器(11)并联设置于二极管(9)上。
3.根据权利要求1所述的用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特征在于：所述直流电源(1)的两端与开关电路(3)之间通过第一导线(5)和第三导线(8)连接。
4.根据权利要求3...
【技术特征摘要】
1.一种用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特征在于：包括直流电源(1)、缓冲电路(2)、开关电路(3)以及等离子体负载(4)；
2.根据权利要求1所述的用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特征在于：所述缓冲电路(2)包括二极管(9)、电容器(10)以及电阻器(11)，所述二极管(9)与电容器(10)串联，且电阻器(11)并联设置于二极管(9)上。
3.根据权利要求1所述的用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：阚龙，刘其明，马勇，
申请(专利权)人：上海硬石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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