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本技术公开了一种用于吸收镀膜电源产生的电压冲击的装置，包括直流电源、缓冲电路、开关电路以及等离子体负载；所述直流电源与开关电路连接，通过开关电路将直流电压转换为其它形式，并输送至等离子负载；所述缓冲电路连接于直流电源与开关电路之间。本技术结...
该专利属于上海硬石科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海硬石科技有限公司授权不得商用。

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