一种长晶炉制造技术

本申请公开了一种长晶炉，包括长晶炉炉体、冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元。本申请所公开的所述长晶炉的冷却系统具有实时监测、自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉


[0001]本申请属于长晶工业
，尤其涉及一种长晶炉。

技术介绍

[0002]众所周知，碳化硅是重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性，被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。
[0003]在碳化硅的生产过程中，要想获得一定品质的产品，必须对长晶炉内的环境进行精准地监测和控制。温度的控制对长晶炉的长晶过程具有重要的影响，故长晶炉需要设置冷却系统，然而长晶炉设置的水冷系统虽然其冷却水经过净化处理，但是冷却水管难免会进入颗粒性杂质，对冷却水管造成堵塞，进而导致冷却水流量发生异常，对碳化硅晶体的生长产生极大的影响，严重时，甚至会引发安全事故。
[0004]另外，工厂中的长晶炉较多，少量的工人难以实施全域监控，如果长晶炉的水冷系统出现故障，不能及时得到处理，势必对碳化硅的生产造成严重影响；如果能够专利技术一种能够对长晶炉在长晶工艺过程中的冷却系统实施全程监控、故障自动排除等优点的长晶炉将具有重要意义。为此，申请人提出了一种能够对长晶炉的冷却系统实施全程监控、自动化故障排除的长晶炉。
[0005]需要说明的是，上述内容属于专利技术人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

技术实现思路

[0006]本技术提供了一种长晶炉，以解决上述技术问题中的至少一个技术问题。
[0007]本技术所采用的技术方案为：
[0008]一种长晶炉，包括长晶炉炉体、冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元。
[0009]优选地，使所述长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，所述监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对所述控制单元提供监测信息，所述受控置换装置受所述控制单元控制，当所述过流通道的流量小于设定值时，所述受控置换装置用所述备用过滤单元置换所述过流通道上的过滤单元。
[0010]优选地，使所述过滤装置还包括备用过流通道，所述备用过流通道上设有过滤单元，所述过流通道和所述备用过流通道上均设有截止开关，当所述过流通道处于流通状态时，所述备用过流通道处于截止状态；
[0011]当所述过流通道的流量小于设定值时，所述过流通道处于截止状态，且冷却介质流经所述备用过流通道对所述长晶炉炉体提供冷却介质。
[0012]优选地，使所述过流通道的流体上游设有第一截止开关，所述过流通道的下游设有第二截止开关，所述第一截止开关和/或所述第二截止开关的开闭受所述控制单元控制。
[0013]优选地，使所述监测单元包括流量传感器，所述流量传感器与所述控制单元信号连接设置，所述流量传感器设于所述过流通道上的所述过滤单元的流体上游和/或流体下游，以对所述控制单元提供流量监测信息；
[0014]当所述过流通道的流量小于设定值时，所述控制单元控制所述第一截止开关和/或所述第二截止开关，以使所述过流导通处于截止状态。
[0015]优选地，使所述受控置换装置包括驱动机构、传动机构和用于置换所述过滤单元的执行机构，所述传动机构邻近设于所述过滤装置和所述储放装置的一侧，所述驱动机构与所述传动机构传动设置，所述执行机构与所述传动机构相连接；所述驱动机构和所述执行机构均受所述控制单元控制；
[0016]当所述过流通道的流量小于设定值时，所述驱动机构和所述执行机构依据所述控制单元的指令，用所述备用过滤单元更换所述过流通道上设置的过滤单元。
[0017]优选地，使所述传动机构包括丝杠和与所述丝杠相适配的滑块，所述执行单元固设于所述滑块上，所述驱动单元设为驱动电机，所述丝杠受所述驱动电机驱动并发生转动以调节所述执行单元的执行位置；
[0018]所述执行单元可依据所述控制单元所发出的指令，将所述过流通道上的过滤单元取出，并从所述储放装置抓取所述备用过滤单元并将其放置于所述过流通道上。
[0019]优选地，使所述长晶炉还包括预警单元，所述预警单元受所述控制单元控制，当所述过流通道的冷却介质流量减小并持续设定时长时，所述预警单元发出紧急预警信号；
[0020]当所述预警单元发出紧急预警信号时，所述过流通道处于截止状态，所述备用过流通道处于接通状态，冷却介质流经所述备用过流通道对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质。
[0021]优选地，当所述预警单元在设定时长内未发出预警信号，所述受控置换装置受所述控制单元控制定期对所述过流通道上设置的过滤单元实施更换。
[0022]优选地，使所述预警单元还包括安全预警状态，当所述过流通道的流量小于设定的安全预警流量时，所述预警单元发出安全预警信号，且停止长晶炉内的长晶过程。
[0023]优选地，使所述预警单元还包括普通预警状态，当所述过流通道的流量出现设定过流量的
±
3L/min的波动时，所述预警单元发出普通预警信号，此时，人工监测长晶炉的工作状态，但不做人工干预。
[0024]通过本申请提出的一种物料搬运车能够带来如下有益效果：
[0025]1.本申请通过使所述长晶炉包括储放备用过滤单元的储放装置和受控置换装置，所述受控置换装置受控制单元控制，当所述过流通道上的流量小于设定值时，所述受控置换装置可以自动用备用过滤单元置换过流通道上的过滤单元，以快速、自行解决由于过滤单元堵塞造成冷却系统不能按设定要求对长晶炉实施冷却的问题；这样，可以对过滤单元堵塞引起的故障自动进行及时排除，以确保冷却系统对长晶炉提供有效、可靠地冷却，极大程度地避免了冷却系统对长晶炉的长晶过程造成影响，以确保长晶质量。
[0026]2.本申请通过使所述过滤装置包括备用过流通道，当所述过流通道的流量不达标时，可通过所述备用过流通道对长晶炉提供冷却介质，在保证长晶炉的正常冷却要求的同
时，避免过滤单元发生故障后由于维修不及时，对长晶生产造成影响等问题。
[0027]3.本申请通过设置所述预警单元，当所述过流通道的冷却介质的流量减小并持续设定时长时，所述预警单元发出紧急预警信号，以提醒工作人员对长晶炉进行人工监控，同时，所述受控置换装置受控制单元控制，执行过滤单元的置换过程，实现故障的自动排除；在预紧单元的提示下，使所述长晶炉能够被有效地得到人工监控，避免意外状况的产生；除此之外，本申请通过使所述预警单元还具有安全预警状态，使工人能够及时作出应急处理，避免安全事故的发生。
附图说明
[0028]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0029]图1为本申请实施例所提供的长晶炉的结构示意图；
[0030]图2为本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉，其特征在于，包括长晶炉炉体、冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元。2.根据权利要求1所述长晶炉，其特征在于，所述长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，所述监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对所述控制单元提供监测信息，所述受控置换装置受所述控制单元控制，当所述过流通道的流量小于设定值时，所述受控置换装置用所述备用过滤单元置换所述过流通道上的过滤单元。3.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，所述过滤装置还包括备用过流通道，所述备用过流通道上设有过滤单元，所述过流通道和所述备用过流通道上均设有截止开关，当所述过流通道处于流通状态时，所述备用过流通道处于截止状态；当所述过流通道的流量小于设定值时，所述过流通道处于截止状态，且冷却介质流经所述备用过流通道对所述长晶炉炉体提供冷却介质。4.根据权利要求3所述长晶炉，其特征在于，所述过流通道的流体上游设有第一截止开关，所述过流通道的下游设有第二截止开关，所述第一截止开关和/或所述第二截止开关的开闭受所述控制单元控制。5.根据权利要求4所述长晶炉，其特征在于，所述监测单元包括流量传感器，所述流量传感器与所述控制单元信号连接设置，所述流量传感器设于所述过流通道上的所述过滤单元的流体上游和/或流体下游，以对所述控制单元提供流量监测信息；当所述过流通道的流量小于设定值时，所述控制单元控制所述第一截止开关和/或所述第二截止开关，以使所述过流通道处于...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛传艺，张长银，马振华，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：