光纤用母材的制造装置及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够从制造光纤用母材时的排出气体有效地回收锗的光纤用母材的制造装置及制造方法。本发明专利技术是对在反应容器内进行旋转的靶材喷出玻璃微粒而使其沉积的光纤用母材的制造装置。反应容器具有将包含未沉积的玻璃微粒的排放气体排出的第一排气口及第二排气口。第一排气口配置在第一燃烧器喷射第一玻璃原料的方向，第二排气口与第一排气口相比配置于远离第一燃烧器的位置。该制造装置具有从由第一排气口排出的包含玻璃微粒的排放气体对玻璃微粒进行回收的玻璃微粒回收部。玻璃微粒进行回收的玻璃微粒回收部。玻璃微粒进行回收的玻璃微粒回收部。

【技术实现步骤摘要】
光纤用母材的制造装置及制造方法


[0001]本专利技术涉及光纤用母材的制造装置及制造方法。

技术介绍

[0002]在二极管等半导体的材料、玻璃制的光纤的纤芯的添加剂等各种工业产品的原料中使用锗(Ge)。Ge近年来价格高涨。例如，在专利文献1公开了对Ge进行回收的技术。在专利文献1公开了下述技术，即，通过袋式过滤器对包含Ge的微粒进行回收，通过盐酸气体对所回收的微粒进行精制处理而在光纤制造工序进行再利用。
[0003]专利文献1：日本特开2004－2088号公报
[0004]在制造光纤时，光纤的纤芯的添加剂即锗的一部分在纤芯的生成中没有被利用，而是作为排出气体被排出。排出气体中所包含的锗的量为微量，难以有效地回收锗。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于，提供能够从制造光纤用母材时的排出气体有效地回收锗的光纤用母材的制造装置及制造方法。
[0006]本专利技术的光纤用母材的制造装置具有：第一燃烧器，其喷射包含锗化合物的第一玻璃原料而对含锗玻璃微粒进行合成；第二燃烧器，其喷射不包含锗化合物的第二玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光纤用母材的制造装置，其具有：第一燃烧器，其喷射包含锗化合物的第一玻璃原料而对含锗玻璃微粒进行合成；第二燃烧器，其喷射不包含锗化合物的第二玻璃原料而对无锗玻璃微粒进行合成；以及反应容器，其在内部配置有所述第一燃烧器及所述第二燃烧器，对在所述反应容器内进行旋转的靶材喷出玻璃微粒而使其沉积，在该光纤用母材的制造装置，所述反应容器具有将包含未沉积的玻璃微粒的排放气体排出的第一排气口及第二排气口，所述第一排气口配置在所述第一燃烧器喷射所述第一玻璃原料的方向，所述第二排气口与所述第一排气口相比配置于远离所述第一燃烧器的位置，所述光纤用母材的制造装置具有：排放气体处理部，其对从所述第二排气口排出的包含玻璃微粒的排放气体进行处理；以及玻璃微粒回收部，其从由所述第一排气口排出的包含玻璃微粒的排放气体对玻璃微粒进行回收。2.根据权利要求1所述的光纤用母材的制造装置，其中，所述第一排气口及所述第二排气口是通过在1个排气管的内部设置分隔部而形成的第一排气管及第二排气管各自的入口。3.根据权利要求1或2所述的光纤用母材的制造装置，其中，所述玻璃微粒回收部包含陶瓷过滤器或者袋式过滤器。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光纤用母材的制造装置，其中，所述玻璃微粒回收部构成为通...

【专利技术属性】
技术研发人员：幅崎利已，设乐秀治，志村昌则，铃木智哉，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：