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本发明提供能够从制造光纤用母材时的排出气体有效地回收锗的光纤用母材的制造装置及制造方法。本发明是对在反应容器内进行旋转的靶材喷出玻璃微粒而使其沉积的光纤用母材的制造装置。反应容器具有将包含未沉积的玻璃微粒的排放气体排出的第一排气口及第二排气...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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