液体加热设备和清洗设备及方法技术

将微波施加到存储在纯水容器中的纯水上，经过密封的纯水容器的顶部、其侧部以及其底部中至少一个的，由此以非接触的方式加热纯水。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于提供加热的洗涤液的液体加热设备、一种用于采用加热的洗涤液清洁诸如半导体基底的物体的清洗设备以及采用所述设备的清洁方法。
技术介绍
在半导体装置的制造工艺中，由于沉积在半导体基底上的颗粒和金属杂质产生的产量降低通常是一个大问题。因此，对于半导体装置的制造来说，采用洗涤液清洗半导体基底以便去除这些颗粒和金属杂质的步骤是必需的并且是很重要的。通常采用通过将从下面一组溶液中选择的两种或三种溶液以预定混合比混合而获得的洗涤液作为用于半导体基底的洗涤液，所述的一组溶液为诸如氨水的碱性化学溶液、诸如硫酸溶液和盐酸溶液的酸性化学溶液、诸如过氧化氢溶液和臭氧水的氧化剂化学溶液以及纯水。而且，通常地，通过采用加热器加热这些洗涤液来使洗涤液的温度增加到预定的温度，从而致使该洗涤液的清洁性能提高。这样，可在更短的时间内有效地去除由于颗粒或金属杂质的杂质。在例如日本未审定专利公开No.5-190523和日本未审定专利公开No.5-074755中公开了一种已知的用于加热洗涤液和化学溶液的加热设备和一种已知的用于加热纯水的热水生产设备。在这些已知技术中，浸没式加热器管被放入容放有洗涤液、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体加热设备，其包括：用于存储第一液体的第一贮液器；用于将第一液体供应到第一贮液器的供应通道；用于从第一贮液器排出第一液体的排液管；用于产生能够加热第一液体的微波的微波振荡器；用于将微波传递到第一 贮液器并且透过第一贮液器将微波施加在第一液体上的波导管；以及用于防止微波从第一贮液器泄漏出的微波阻断器。

【技术特征摘要】
JP 2004-8-5 229534/20041.一种液体加热设备，其包括用于存储第一液体的第一贮液器；用于将第一液体供应到第一贮液器的供应通道；用于从第一贮液器排出第一液体的排液管；用于产生能够加热第一液体的微波的微波振荡器；用于将微波传递到第一贮液器并且透过第一贮液器将微波施加在第一液体上的波导管；以及用于防止微波从第一贮液器泄漏出的微波阻断器。2.如权利要求1所述的液体加热设备，进一步包括阻流管，其被连接到在位于供应通道和第一贮液器之间以及位于排液管和第一贮液器之间的多个连接处中的至少一个上，用于防止微波的泄漏。3.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，供应通道和排液管中的至少一个在与第一贮液器的连接处具有多个分支，每个所述分支的直径等于或小于微波波长的四分之一。4.如权利要求1所述的液体加热设备，进一步包括由耐化学性材料构成的化学剂隔离层，其被附着到波导管的微波辐射出口上，以防止化学溶液进入波导管。5.如权利要求1所述的液体加热设备，进一步包括一搅拌器，将该搅拌器连接到波导管的微波辐射出口上，以便散射施加到第一贮液器的微波。6.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述波导管的内表面和外表面涂覆有耐化学性材料。7.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，设置一用于波导管的气体进入管，气体由该气体进入管进入，以便在波导管内形成正压力。8.如权利要求7所述的液体加热设备，其特征在于，所述气体为惰性气体。9.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述微波阻断器涂覆有耐化学性材料。10.如权利要求1所述的液体加热设备，进一步包括用于存储第二液体的第二贮液器；分支波导管，其从波导管开始分支，以便向第二储液器传递由微波振荡器产生的微波，并且经过第二储液器将微波施加到第二液体上；以及可动的微波反射器元件，其被设置在位于波导管和分支波导管之间的汇合处，并且由反射微波的材料制成。11.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述波导管由金属材料制成。12.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述微波阻断器由金属材料制成。13.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述第一储液器由氟塑料或石英制成。14.如权利要求4所述的液体加热设备，其特征在于，化学剂隔离层由氟塑料制成。15.如权利要求1所述的液体加热设备，其特征在于，所述波导管被连接到储液器的底部。16.一种清洗设备，包括用于加热液体的液体加热装置和具有用于存储清洗液的清洗容器的清洗装置，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：三由裕一，菅野恒，佐藤泰夫，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]