基片传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于可靠地传送基片并检测基片的接收状态的基片传送装置。该基片传送装置包括夹紧件，当托架从装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。夹紧件可以包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与至少一个托架在相同的方向上移动，弹性件提供弹力以使推杆从侧面推压基片边缘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基片传送装置，更具体地说，涉及用于可靠地传送基片且检测基片接收状态的基片传送装置。
技术介绍
在清洗、浸入、沉积和蚀刻处理中，必须将基片传送至各个处理位置。这由基片传送装置完成。基片传送装置是按照预定程序工作以传送基片至各个处理位置的机械的和自动的装置。典型的基片传送装置具有薄且平的托架，其上放置基片。在托架上形成挡凸以防止在传送基片时基片脱离。因为该基片传送装置简单地传送放置在托架上的基片，所以高速传送时基片会在托架上滑动。结果，为了提高半导体制造设备的生产率，必须提高基片传送装置的基片传送速度。但是，由于基片传送装置的高传输速度产生的惯性力，托架上形成的挡凸不能防止基片滑出托架。在使用反射性光学传感器检查基片是否继续存在的常规的基片传送装置中，反射性光学传感器并非经常按照基片的槽口或者平直区位置检测基片。如前所述，当传送基片时，常规的基片传送装置不能防止基片滑出。由于基片的滑动，该装置不能高速传送基片。这会导致生产率降低。
技术实现思路
本专利技术的一个特征是提供一种不使用驱动器夹紧托架上的基片的基片传送装置。本专利技术的另一个特征是提供一种在最大基片传送速度时牢固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基片传送装置，包括：基座；至少一个托架，该托架具有在上面放置基片的凹形部件，且从基座上形成的凹槽位置向基片装载位置移动；以及至少一个夹紧件，当所述至少一个托架从基片装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在凹形部件上的基片。

【技术特征摘要】
KR 2004-8-12 2004-635021.一种基片传送装置，包括基座；至少一个托架，该托架具有在上面放置基片的凹形部件，且从基座上形成的凹槽位置向基片装载位置移动；以及至少一个夹紧件，当所述至少一个托架从基片装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在凹形部件上的基片。2.如权利要求1所述的基片传送装置，其中，所述夹紧件包括推杆，其具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与所述至少一个托架在相同的方向上移动；以及弹性件，其提供弹力以使推杆从侧面推压基片的边缘，其中，推杆自动夹紧放置在返回至凹槽位置的所述至少一个托架上的基片的边缘。3.如权利要求2所述的基片传送装置，其中，所述夹紧件包括与推杆相连的检...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴舟楫，崔贞烈，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]