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本发明提供一种用于可靠地传送基片并检测基片的接收状态的基片传送装置。该基片传送装置包括夹紧件，当托架从装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。夹紧件可以包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基...
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