一种真空镀膜机的观察窗制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空镀膜机的观察窗，包括装配窗体；所述装配窗体主体为长方体结构，装配窗体外侧固定安装有定位载框，装配窗体底部固定安装有承载框，承载框主体截面形状为“L”形结构，装配窗体一侧底部开设有收纳载槽，承载箱框内侧固定安装有排放结构；装配载板，所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧；调节载轴与装配轴凸之间配合，带动装配载筒进行位置调节，从而使清理辊对观察玻板进行挤压摩擦清理，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。而导致镀膜出现误差的问题。而导致镀膜出现误差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的观察窗


[0001]本技术属于工件加工辅助装置
，更具体地说，特别涉及一种真空镀膜机的观察窗。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜，在持续密闭的镀膜过程时，观察窗容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察。
[0003]如申请号为：CN201821022686.4的专利中，公开了一种真空镀膜机的观察基板窗口，包括镀膜机壳体和开设在镀膜机壳体上的第一圆型孔，第一圆型孔内嵌套有透明板，所述镀膜机壳体的一侧内壁上开设有滑槽，且滑槽位于透明板的上方，所述滑槽的上方设有开设在镀膜机壳体上的第一空腔，且第一空腔内固定安装有电机，所述电机的输出轴延伸至滑槽内并固定安装有丝杆，且丝杆的底端与滑槽的底部内壁转动安装，所述丝杆上螺纹套装有与滑槽侧壁滑动安装的移动座，且移动座的底部开设有矩型槽。本技术结构简单，能够有效地擦拭透明板上的气雾，使得人员能够清晰的通过透明板进行观察，且便于长久使用，有利于人员的使用。
[0004]基于上述，目前传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种真空镀膜机的观察窗，以解决目前传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。
[0006]本技术一种真空镀膜机的观察窗的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0007]一种真空镀膜机的观察窗，包括装配窗体；
[0008]所述装配窗体主体为长方体结构，装配窗体外侧固定安装有定位载框，装配窗体底部固定安装有承载框，承载框主体截面形状为“L”形结构，装配窗体一侧底部开设有收纳载槽，装配窗体内侧固定安装有清理机构；
[0009]承载箱框，所述承载箱框固定安装于收纳载槽内侧，承载箱框内侧固定安装有排放结构；
[0010]装配载板，所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧。
[0011]进一步的，所述装配窗体包括：
[0012]装配开槽，装配开槽贯穿开设于装配窗体一侧；
[0013]观察玻板，观察玻板固定安装于装配开槽内侧；
[0014]控制面板，控制面板固定安装于装配窗体一侧底端。
[0015]进一步的，所述定位载框包括：
[0016]伺服电机，伺服电机固定安装于定位载框立面；
[0017]限位支件，限位支件固定安装于定位载框一侧；
[0018]传动连件，传动连件固定安装于伺服电机电机轴末端。
[0019]进一步的，所述承载框包括：
[0020]储存罐，储存罐固定安装于承载框内侧；
[0021]连接管，连接管设置于储存罐一端，连接管末端与输送器相连接；
[0022]输送器，输送器固定安装于装配窗体底部；
[0023]输送管，输送管固定设置于输送器一侧。
[0024]进一步的，所述清理机构包括：
[0025]安装开槽，安装开槽开设于装配窗体内侧；
[0026]装配轴凸，装配轴凸一体式设置于安装开槽两端；
[0027]调节载轴，调节载轴安装于装配轴凸之间；
[0028]装配载筒，装配载筒活动安装于调节载轴外侧；
[0029]清理辊，清理辊一体式设置于装配载筒内侧。
[0030]进一步的，所述承载箱框包括：
[0031]承载转轴，承载转轴转动安装于承载箱框内侧；
[0032]传动接件，传动接件一体式设置于承载转轴两端；
[0033]挤压辊，挤压辊转动安装于承载转轴外侧；
[0034]限位遮框，限位遮框一体式设置于承载箱框顶部一端；
[0035]限位开槽，限位开槽开设于限位遮框一侧。
[0036]进一步的，所述排放结构包括：
[0037]支撑轴柱，支撑轴柱固定安装于导向凸垫顶部；
[0038]导向凸垫，导向凸垫固定安装于承载箱框内侧；
[0039]排放开孔，排放开孔贯穿开设于导向凸垫一端；
[0040]排出管，排出管一体式设置于导向凸垫底部；
[0041]限位支块，限位支块一体式设置于承载箱框一侧。
[0042]进一步的，所述装配载板包括：
[0043]紧固件，紧固件固定安装于装配载板两端；
[0044]喷头，喷头固定安装于装配载板顶部；
[0045]转接管，转接管固定设置于喷头底部，转接管另一端与输送管相连接。
[0046]本技术至少包括以下有益效果：
[0047]1、本技术通过设置承载框与清理机构，储存罐能够对清洗液进行储存，输送器通过连接管与输送管配合，能够将清洗液运输到转接管，进而便于后续清理机构的高效清理，调节载轴与装配轴凸之间配合，带动装配载筒进行位置调节，从而使清理辊对观察玻
板进行挤压摩擦清理，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。
[0048]2、本技术通过设置装配窗体与定位载框，装配开槽与观察玻板之间配合，便于对镀膜过程进行实时观察，伺服电机与传动连件配合，能够带动调节载轴与承载转轴进行转动，以便于后续快速对观察玻板与清理辊进行清理。
[0049]3、本技术通过设置承载箱框、排放结构与装配载板，转接管与喷头之间配合，能够将输送器输送的清洗液对挤压辊进行喷射，同时挤压辊对清理辊进行转动挤压，从而对附着污渍的清理辊进行清洗，以便于后续持续对观察玻板进行挤压摩擦清理，限位遮框与限位开槽之间配合，能够在清理辊进行清洗时进行遮挡，承载箱框对清洗的污水进行集中储存，然后通过排放开孔与排出管进行集中排放。
附图说明
[0050]图1是本技术的主体主视结构示意图。
[0051]图2是本技术的装配窗体剖面装配主视示意图。
[0052]图3是本技术的装配窗体剖面装配仰视示意图。
[0053]图4是本技术的装配窗体剖面结构示意图。
[0054]图5是本技术的承载箱框装配主视示意图。
[0055]图6是本技术的承载箱框装配仰视示意图。
[0056]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0057]1、装配窗体；
[0058]101、装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于：包括装配窗体(1)；所述装配窗体(1)外侧固定安装有定位载框(104)，装配窗体(1)底部固定安装有承载框(105)，装配窗体(1)一侧底部开设有收纳载槽(107)，装配窗体(1)内侧固定安装有清理机构；承载箱框(2)，所述承载箱框(2)固定安装于收纳载槽(107)内侧，承载箱框(2)内侧固定安装有排放结构；装配载板(3)，所述装配载板(3)固定安装于承载箱框(2)顶部一侧。2.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述装配窗体(1)包括：装配开槽(101)，装配开槽(101)贯穿开设于装配窗体(1)一侧；观察玻板(102)，观察玻板(102)固定安装于装配开槽(101)内侧；控制面板(103)，控制面板(103)固定安装于装配窗体(1)一侧底端。3.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述定位载框(104)包括：伺服电机(1041)，伺服电机(1041)固定安装于定位载框(104)立面；限位支件(1042)，限位支件(1042)固定安装于定位载框(104)一侧；传动连件(1043)，传动连件(1043)固定安装于伺服电机(1041)电机轴末端。4.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述承载框(105)包括：储存罐(1051)，储存罐(1051)固定安装于承载框(105)内侧；连接管(1052)，连接管(1052)设置于储存罐(1051)一端，连接管(1052)末端与输送器(1053)相连接；输送器(1053)，输送器(1053)固定安装于装配窗体(1)底部；输送管(1054)，输送管(1054)固定设置于输送器(1053)一侧。5.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述清理机构包括：安装开槽(106)，安装开槽(106)开...

【专利技术属性】
技术研发人员：何清，郭琪，曹作川，
申请(专利权)人：成都金典真空设备有限责任公司，
类型：新型
国别省市：