一种精确控制铝线宽的方法技术

本发明专利技术有关一种精确控制铝线宽的方法，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下一片刻蚀，如果线宽不符合要求则由自动反馈系统进行调整，根据调整后的参数进行下一片刻蚀。通过上述方法可以防止铝线与铝线间发生短路的现象，基本杜绝由于铝线短路现象而造成的损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅片刻蚀的方法，尤其是一种在硅片刻蚀中精确控制铝线宽的方法。
技术介绍
随着集成电路的发展，对铝线线宽及铝线和铝线之间间距的要求越来越高。在许多电路设计中，铝线和铝线之间的间距更是达到了0.1微米。这就要求刻蚀铝的机器有很高的精度和稳定性。但是在实际的生产过程中，总是存在各种各样的影响因素影响到了刻蚀铝的机器的性能。请参阅图1所示，其显示在现有技术中的刻蚀铝线的流程，其首先利用刻蚀铝的机器进行铝线的刻蚀，在进行一定情况下进行线宽的测量，如果发生短路现象，工程师会进行刻蚀程序的调整。然而，在通常的情况下，只有在一个LOT(一盒硅片)或者几个LOT刻蚀完了之后，当发现线宽异常或者有短路现象的时候，工程师才会去调整刻蚀铝的机器，重新使其达到刻蚀的精度要求。但是，这个时候，由于短路现象已经产生，可能已经有了比较大的损失。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供，其能够有效防止铝线与铝线之间发生短路的现象，减小由于铝线短路造成的损失。为完成以上技术问题，本专利技术采用以下技术方案，，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下一片刻蚀，如果线宽不符合要求则由自动反馈系统进行调整，根据调整后的参数进行下一片刻蚀。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是当铝线线宽超出设计要求范围，及时通过自动反馈系统自动调整刻蚀程序，防止了铝线与铝线间发生短路的现象，可以基本杜绝由于铝线短路现象而造成的损失。附图说明图1为现有技术中控制铝线宽的方法的流程图。图2是本专利技术的流程图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步描述。请参阅2所示，本专利技术，在刻蚀铝的机器上集成内嵌式自动反馈系统，在刻蚀中，包括以下步骤，首先利用刻蚀铝的机器进行第一片硅片的刻蚀程序，在刻蚀后进行线宽测量，同时由自动反馈系统读取线宽的测量结果并将该结果与设计值比较。如果上述测量结果与设计值相符合，则刻蚀铝的机器直接进行一下片硅片的刻蚀；如果上述测量结果在与设计值比较时发现其偏离设计值，需要改变现在的铝刻蚀的条件，则自反馈系统的反馈系统库中读取参数，选择相应的刻蚀铝的机器的程序。接着，自动反馈系统向刻蚀铝的机器发送指令，使其在新的刻蚀程序下工作，进行一下枚硅片的刻蚀。综上所述，本专利技术完成了专利技术人的专利技术目的，当铝线线宽超出设计要求范围，及时通过自动反馈系统自动调整刻蚀程序，防止了铝线与铝线间发生短路的现象，可以基本杜绝由于铝线短路现象而造成的损失。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精确控制铝线宽的方法，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其特征在于：首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下一片刻蚀，如果线宽不符合要求则由自动反馈系统进行调整，根据调整后的参数进行下一片刻蚀。

【技术特征摘要】
1.一种精确控制铝线宽的方法，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其特征在于首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下...

【专利技术属性】
技术研发人员：周贯宇，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]