【技术实现步骤摘要】
一种金属化薄膜的高效蒸镀装置
[0001]本专利技术涉及金属化薄膜蒸镀
,尤其涉及一种金属化薄膜的高效蒸镀装置。
技术介绍
[0002]电容器是一种容纳电荷的器件,由两个相互靠近的导体在中间夹一层不导电的绝缘介质构成。薄膜电容器为电容器的一种,是一种性能优秀的电容器,具有无极性、绝缘阻抗很高、频率特性优异(频率响应宽广)、而且介质损失很小的特性,被大量使用在模拟电路上。
[0003]通常的薄膜电容器其制法是将铝等金属箔当成电极和塑料薄膜重叠后卷绕在一起制成。但是另外薄膜电容器又有一种制造法,叫做金属化薄膜,其制法是在塑料薄膜上以真空蒸镀上一层很薄的金属以做为电极。
[0004]现有的蒸镀装置中,对金属材料进行加热至蒸汽状态时,耗费时间较长,使金属化薄膜的整体蒸镀效率较低。
技术实现思路
[0005]本专利技术针对现有技术的不足,提供了一种金属化薄膜的高效蒸镀装置。
[0006]本专利技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的:
[0007]一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,包 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,包括工作台(1),所述工作台(1)上设置有蒸镀室(2),所述蒸镀室(2)外接真空系统(3),所述蒸镀室(2)的内部设置有对薄膜基材进行输送的传送机构(4)、对薄膜基材的不需涂镀区域进行遮挡的隔离机构(5),隔离机构(5)位于传送机构(4)的下方,其特征在于:所述蒸镀室(2)的内部设置有下钨丝组件(6)和上钨丝组件(7),所述下钨丝组件(6)的两端均通过承接件(8)连接有支撑基板(9),支撑基板(9)上设置有对下钨丝组件(6)和上钨丝组件(7)支撑的支撑机构(10),支撑机构(10)与工作台(1)连接,所述工作台(1)上设置有带动下钨丝组件(6)和上钨丝组件(7)转动的转动机构(13);所述上钨丝组件(7)由第一上钨丝段(701)和第二上钨丝段(702)组成,所述第一上钨丝段(701)和所述第二上钨丝段(702)相互远离的一端均通过承接件(8)连接有长杆(12),承接件(8)具有隔热功能,所述支撑基板(9)上设置有通过长杆(12)带动上钨丝组件(7)转动的角度调节机构(11),所述支撑基板(9)上设置有通过长杆(12)对上钨丝组件(7)位置固定的固定机构(14)。2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,其特征在于:所述下钨丝组件(6)的内部设置有第一钨丝翅板(601),所述第一上钨丝段(701)和所述第二上钨丝段(702)上均设置有第二钨丝翅板(703)。3.根据权利要求2所述的一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,其特征在于:所述第二钨丝翅板(703)插入下钨丝组件(6)的内部,所述第二钨丝翅板(703)的长度为所述第一钨丝翅板(601)长度的二倍。4.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,其特征在于:所述支撑机构(10)包括环形滑轨(1001),所述环形滑轨(1001)通过支撑杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘同林,汪秀义,
申请(专利权)人:铜陵市超越电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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