一种集成电路生产用腐蚀装置，包括底座、支撑架、支撑盘、固定盘、喷液头、脱水组件和吹干组件；支撑盘转动设置在底座上并与第一电机动力连接；固定盘转动设置在支撑盘上，固定盘上设有固定电路板的夹持组件；喷液头、脱水组件和吹干组件设置在支撑架上并逆时针分布在支撑盘的上方；第二电机设置在气缸的伸缩杆上，防溅罩设置在第二电机的转动轴上，进气管上设有固定环；转动件转动设置在固定环上并与第三电机的转动轴连接；喷气头设置在转动件的底部并与转动件上的空腔连通。本实用新型专利技术通过第一电机带动支撑盘转动从而移动固定盘以及固定盘上的电路板，四组固定盘依次完成安装、清洗、脱水和烘干步骤，减少了加工等待时间，提高了工作效率。高了工作效率。高了工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产用腐蚀装置
[0001]本技术涉及集成电路生产设备
，尤其涉及一种集成电路生产用腐蚀装置。
技术介绍
[0002]集成电路板是载装集成电路的一个载体。但往往说集成电路板时也把集成电路带上，集成电路板主要有硅胶构成，所以一般呈绿色，模拟用来产生、放大和处理各种模拟信号(指幅度随时间边疆变化的信号，例如半导体收音机的音频信号、录放机的磁带信号等)，而数字用来产生、放大和处理各种数字信号(指在时间上和幅度上离散取值的信号，例如VCD、DVD重放的音频信号和视频信号)。一般集成电路板的腐蚀都是人工手动将电路板放入溶液中，再用专门的夹具取出来，这个过程中容易被溶液溅射，产生安全隐患，并且电路板上残留的溶液人手也不方便直接触碰，清洗较为麻烦。中国专利申请号CN202020153488.2名称为一种集成电路板生产用腐蚀装置；通过第一电动伸缩杆和固定装置的设置，从而无需人工将电路板放入腐蚀箱中，避免被溶液溅射，并且取出和放置都更加方便，加快工作效率，并且避免工作人员直接接触电路板，进一步防止被溶液伤害，又通过水泵和喷嘴的设置，使得电路板清洗更加彻底，并且因为热风机的设置，使得电路板在清洗完成后可以在同一位置完成干燥，加快处理效率且方便操作，通过第一电机和螺纹杆等装置的设置，使得电路板的腐蚀和清洗风干无需工作人员直接接触电路板，防止电路板表面被污染，从而保证电路板的加工合格率，一定程度上降低加工成本；
[0003]但是该装置需固定装置带动电路板进行清洗，吹干，从而不能连续的对电路板进行腐蚀加工、清洗和吹干工作，从而降低了整体了工作速度，导致加工效率低。
技术实现思路
[0004](一)技术目的
[0005]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种集成电路生产用腐蚀装置，通过第一电机带动支撑盘转动从而移动固定盘以及固定盘上的电路板，四组固定盘依次完成安装、清洗、脱水和烘干步骤，减少了加工等待时间，提高了工作效率。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术提供了一种集成电路生产用腐蚀装置，包括底座、支撑架、支撑盘、固定盘、喷液头、脱水组件和吹干组件；
[0008]底座上设有第一电机，支撑盘转动设置在底座上并与第一电机动力连接；固定盘转动设置在支撑盘上，且固定盘上设有固定电路板的夹持组件；喷液头、脱水组件和吹干组件设置在支撑架上并逆时针分布在支撑盘的上方；其中，脱水组件包括气缸、第二电机箱、第二电机和防溅罩；第二电机通过第二电机箱设置在气缸的伸缩杆上，防溅罩设置在第二电机的转动轴上，固定盘上设有限位槽，防溅罩上对应设有限位块，且防溅罩内部设有保护电路板的缓冲组件；
[0009]吹干组件包括第三电机、转动件、进气管和喷气头；进气管设置在支撑架上，且进气管上设有固定环；转动件转动设置在固定环上并与第三电机的转动轴连接，且转动件上设有空腔；喷气头设置在转动件的底部并与转动件上的空腔连通。
[0010]优选的，夹持组件包括固定主体、压板、第二导柱和第二弹簧；压板通过第二导柱滑动设置在固定主体上，第二弹簧套设在第二导柱上并抵住压板和固定主体，且压板上设有倒角。
[0011]优选的，支撑盘上设有环形遮挡件，且环形遮挡将上设有排水管。
[0012]优选的，防溅罩的内径大于固定盘的外径。
[0013]优选的，固定盘的数目为四组且环形阵列在支撑盘上，且每组固定盘上的夹持组件为三组。
[0014]优选的，缓冲组件包括压盘、第一弹簧和第一导柱；压盘通过第一导柱滑动设置在防溅罩上，第一弹簧套设在第一导柱上并抵住防溅罩和压盘。
[0015]优选的，第一导柱和第一弹簧的数目均为多组。
[0016]优选的，喷气头的数目为多组且环形阵列分布在转动件上。
[0017]与现有技术相比，本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：在操作本技术时，先通过机械手将浸泡在腐蚀液内的电路板捞起并插入固定盘上的夹持组件上，电路板沿着压板上的倒角进入两组压板之间并挤压第二弹簧，两组压板在第二弹簧的反作用力下夹紧电路板；此为第一工位；之后第一电机转动并将夹持有电路板的固定盘移动达到喷液头下方进行清洗，此为第二工位；之后第一电机再次启动并将载有清洗过电路板的固定盘移动到脱水组件下方进行脱水工序，此为第三工位；脱水结束后，第一电机再次转动并将经过离心脱水后的电路板移动到吹干组件下方进行吹干，此为第四工位；第一电机在每次转动时，第一工位上的固定盘移动到第二工位，第二工位上的固定盘移动到第三工位，依次类推，循环工作；其中，电路板在进行脱水时，气缸推动第二电机带动防溅罩罩住固定盘，并通过限位块配合固定盘上的限位槽限位，防溅罩上的压盘挤压第一弹簧进行缓冲，防止损伤电路板；吹干组件在工作时，第三电机带动转动件在固定环上转动并带动喷气头对电路板进行吹干；增加吹气范围防止遗漏；本技术四个工位上的固定盘依次完成安装、清洗、脱水和吹干步骤，减少了加工等待时间，提高了工作效率。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种集成电路生产用腐蚀装置的结构示意图。
[0019]图2为本技术提出的一种集成电路生产用腐蚀装置中脱水组件的结构示意图。
[0020]图3为本技术提出的一种集成电路生产用腐蚀装置中吹干组件的结构示意图。
[0021]图4为本技术提出的一种集成电路生产用腐蚀装置中夹持组件的结构示意图。
[0022]附图标记：1、底座；2、支撑架；3、支撑盘；4、第一电机；5、固定盘；6、夹持组件；7、喷液头；8、脱水组件；9、吹干组件；10、气缸；11、第二电机箱；12、第二电机；13、防溅罩；14、限位块；15、压盘；16、第一弹簧；17、第一导柱；18、第三电机；19、转动件；20、固定环；21、进气
管；22、喷气头；23、空腔；24、固定主体；25、压板；26、第二导柱；27、第二弹簧。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0024]如图1
‑
4所示，本技术提出的一种集成电路生产用腐蚀装置，包括底座1、支撑架2、支撑盘3、固定盘5、喷液头7、脱水组件8和吹干组件9；
[0025]底座1上设有第一电机4，支撑盘3转动设置在底座1上并与第一电机4动力连接；固定盘5转动设置在支撑盘3上，且固定盘5上设有固定电路板的夹持组件6；喷液头7、脱水组件8和吹干组件9设置在支撑架2上并逆时针分布在支撑盘3的上方；其中，脱水组件8包括气缸10、第二电机箱11、第二电机12和防溅罩13；第二电机12通过第二电机箱11设置在气缸10的伸缩杆上，防溅罩13设置在第二电机12的转动轴上，固定盘5上设有限位本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产用腐蚀装置，其特征在于，包括底座(1)、支撑架(2)、支撑盘(3)、固定盘(5)、喷液头(7)、脱水组件(8)和吹干组件(9)；底座(1)上设有第一电机(4)，支撑盘(3)转动设置在底座(1)上并与第一电机(4)动力连接；固定盘(5)转动设置在支撑盘(3)上，且固定盘(5)上设有固定电路板的夹持组件(6)；喷液头(7)、脱水组件(8)和吹干组件(9)设置在支撑架(2)上并逆时针分布在支撑盘(3)的上方；其中，脱水组件(8)包括气缸(10)、第二电机箱(11)、第二电机(12)和防溅罩(13)；第二电机(12)通过第二电机箱(11)设置在气缸(10)的伸缩杆上，防溅罩(13)设置在第二电机(12)的转动轴上，固定盘(5)上设有限位槽，防溅罩(13)上对应设有限位块(14)，且防溅罩(13)内部设有保护电路板的缓冲组件；吹干组件(9)包括第三电机(18)、转动件(19)、进气管(21)和喷气头(22)；进气管(21)设置在支撑架(2)上，且进气管(21)上设有固定环(20)；转动件(19)转动设置在固定环(20)上并与第三电机(18)的转动轴连接，且转动件(19)上设有空腔(23)；喷气头(22)设置在转动件(19)的底部并与转动件(19)上的空腔(23)连通。2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用腐蚀装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王允昌，
申请(专利权)人：芯源泰北京科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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