本实用新型专利技术提供了一种试料传递装置，涉及真空镀膜技术领域，所述试料传递装置包括第一支撑板、第二支撑板、双杆传动机构及试料托环，双杆传动机构的一端与第一支撑板固定连接，双杆传动机构的另一端穿过第二支撑板并与试料托环连接，第二支撑板适于支撑双杆传动机构，试料托环上适于放置试料盘。本实用新型专利技术的试料传递装置，通过双杆传动机构带动试料托环移动，同时配合第一支撑板、第二支撑板两点支撑方式，试料传输的稳定性更好，试料托环不会因长期使用而产生下垂现象，能够确保试料精准传输到位。输到位。输到位。
【技术实现步骤摘要】
一种试料传递装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体而言，涉及一种试料传递装置。
技术介绍
[0002]具有高真空腔室的磁控溅射镀膜装置一般需配置试料自动传输装置，现有试料传输装置采用单轴传输杆，传输杆的一端固定，传输杆的另一端伸缩以带动试料盘移动，实现试料传输。由于采用单轴传输、单点固定结构，当传输杆伸长后试料托环向下倾斜，长期使用试料托环下垂问题逐渐严重，传输稳定性差、传输精度低。
技术实现思路
[0003]本技术旨在提出一种试料传递装置，以解决现有试料传输装置传输稳定性差、传输精度低的技术问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样的：
[0005]一种试料传递装置，包括第一支撑板、第二支撑板、双杆传动机构及试料托环，所述双杆传动机构的一端与所述第一支撑板固定连接，所述双杆传动机构的另一端穿过所述第二支撑板并与所述试料托环连接，所述第二支撑板适于支撑所述双杆传动机构，所述试料托环上适于放置试料盘。
[0006]本技术所述的试料传递装置，通过双杆传动机构带动试料托环移动，同时配合第一支撑板、第二支撑板两点支撑方式，试料传输的稳定性更好，试料托环不会因长期使用而产生下垂现象，能够确保试料精准传输到位。
[0007]可选地，所述双杆传动机构包括固定杆、滑动杆、螺杆及连接件，两所述固定杆的一端与所述第一支撑板连接，两所述固定杆的另一端分别对应套设有所述滑动杆，所述滑动杆在远离所述固定杆的一端连接有所述试料托环，两所述滑动杆通过至少一个所述连接件连接成一体结构，所述螺杆与所述一体结构连接以驱动所述一体结构相对所述固定杆滑动。
[0008]可选地，所述双杆传动机构还包括电机，所述电机固定在所述第一支撑板上，所述电机与所述螺杆连接。
[0009]可选地，该试料传递装置还包括相互连接的低真空室和高真空室，所述双杆传动机构适于带动所述试料托环在所述低真空室与所述高真空室的内部之间移动。
[0010]可选地，所述低真空室的侧壁上在朝向所述双杆传动机构方向设有试料口。
[0011]可选地，该试料传递装置还包括机械泵，所述机械泵与所述低真空室连通。
[0012]可选地，所述第一支撑板和所述第二支撑板均与所述低真空室内壁连接固定。
[0013]可选地，该试料传递装置还包括插板阀，所述插板阀设于所述低真空室与所述高真空室之间，当所述插板阀打开时，所述低真空室与所述高真空室连通，所述双杆传动机构适于带动所述试料托环从所述插板阀内部通过。
[0014]可选地，所述插板阀包括阀本体、侧板及插板，所述阀本体通过两所述侧板与所述
低真空室的上壁和下壁固定连接，所述插板适于活动插接于所述阀本体内部以打开或关闭所述阀本体。
[0015]可选地，所述试料托环上设有定位键，所述试料托环适于通过所述定位键以定位试料盘。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例的试料传递装置的结构示意图。
[0017]附图标记说明：
[0018]1、第一支撑板；2、第二支撑板；3、双杆传动机构；31、固定杆；32、滑动杆；33、螺杆；34、连接件；35、电机；4、试料托环；41、定位键；5、低真空室；51、试料口；6、机械泵；7、高真空室；8、插板阀；81、阀本体；82、侧板；83、插板。
具体实施方式
[0019]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0020]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]另外，还需要说明的是，在本技术的描述中，应当说明的是，各实施例中的术语名词例如“上”、“下”、“前”、“后”等指示方位的词语，只是为了简化描述基于说明书附图的位置关系，并不代表所指的元件和装置等必须按照说明书中特定的方位和限定的操作及方法、构造进行操作，该类方位名词不构成对本技术的限制。
[0022]本文中设置有坐标系XZ，其中X轴的正向代表右方向，X轴的反向代表左方向，Z轴的正向代表前方，Z轴的反向代表后方。
[0023]现有的试料传递装置一般采用单轴传输，传输杆的一端固定在第一支撑板1上，传输杆的另一端连接试料托环4，在传输杆伸长以传递试料的过程中，传输杆端部的试料托环4在重力作用下向下倾斜，由于采用单轴传输、单点固定，试料传输的平稳性较差，最终造成试料到位误差大，无法被准确抓取并镀膜。
[0024]如图1所示，本技术实施例的一种试料传递装置，包括第一支撑板1、第二支撑板2、双杆传动机构3及试料托环4，所述双杆传动机构3的一端与所述第一支撑板1固定连接，所述双杆传动机构3的另一端穿过所述第二支撑板2并与所述试料托环4连接，所述第二支撑板2适于支撑所述双杆传动机构3，所述试料托环4上适于放置试料盘。
[0025]在本实施例中，所述第一支撑板1与所述第二支撑板2相对平行且均沿Z轴所示方向设置，所述双杆传动机构3沿X轴所示方向设置，所述第一支撑板1与所述第二支撑板2分别用于支撑所述双杆传动机构3的两端，所述双杆传动机构3的一端固定在所述第一支撑板1上，所述双杆传动机构3的另一端从所述第二支撑板2穿出，所述第二支撑板2与所述双杆传动机构3滑动连接，所述双杆传动机构3带动所述试料托环4伸缩，所述试料托环4上适于放置试料盘(试料盘内有试料基片)，通过所述双杆传动机构3的伸缩以实现试料传递；而且
通过双杆传动机构3的动力传递及第一支撑板1、第二支撑板2在双杆传动机构3左右两端点的支撑，保证了试料传输的平稳性及准确到位。
[0026]可选地，所述双杆传动机构3包括固定杆31、滑动杆32、螺杆33及连接件34，两所述固定杆31的一端与所述第一支撑板1连接，两所述固定杆31的另一端分别对应套设有所述滑动杆32，所述滑动杆32在远离所述固定杆31的一端连接有所述试料托环4，两所述滑动杆32通过至少一个所述连接件34连接成一体结构，所述螺杆33与所述一体结构连接以驱动所述一体结构相对所述固定杆31滑动。
[0027]在本实施例中，两所述固定杆31相对平行，所述固定杆31的左端固定在第一支撑板1上，每个所述固定杆31的右端分别套设有一所述滑动杆32，所述滑动杆32可相对对应的所述固定杆31左右移动，两所述滑动杆32之间垂直连接有所述连接件34，当所述滑动杆32较长时，所述连接件34可间隔设置多个，确保两根滑动杆32与所述连接件34构成的一体结构的稳定性，螺杆33可驱动所述一体结构相对所述固定杆31滑动，所述螺杆33的驱动可采用手动转动或电机驱动。一般地，为了保证驱动的稳定性，所述螺杆33水平设本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种试料传递装置，其特征在于，包括第一支撑板(1)、第二支撑板(2)、双杆传动机构(3)及试料托环(4)，所述双杆传动机构(3)的一端与所述第一支撑板(1)固定连接，所述双杆传动机构(3)的另一端穿过所述第二支撑板(2)并与所述试料托环(4)连接，所述第二支撑板(2)适于支撑所述双杆传动机构(3)，所述试料托环(4)上适于放置试料盘。2.根据权利要求1所述的试料传递装置，其特征在于，所述双杆传动机构(3)包括固定杆(31)、滑动杆(32)、螺杆(33)及连接件(34)，两所述固定杆(31)的一端与所述第一支撑板(1)连接，两所述固定杆(31)的另一端分别对应套设有所述滑动杆(32)，所述滑动杆(32)在远离所述固定杆(31)的一端连接有所述试料托环(4)，两所述滑动杆(32)通过至少一个所述连接件(34)连接成一体结构，所述螺杆(33)与所述一体结构连接以驱动所述一体结构相对所述固定杆(31)滑动。3.根据权利要求2所述的试料传递装置，其特征在于，所述双杆传动机构(3)还包括电机(35)，所述电机(35)固定在所述第一支撑板(1)上，所述电机(35)与所述螺杆(33)连接。4.根据权利要求1所述的试料传递装置，其特征在于，还包括相互连接的低真空室(5)和高真空室(7)，所述双杆传动机构(3)适于带动所述试料托环(4)在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：牟培福，高军思，牟成阳，
申请(专利权)人：宁波天德创新智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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