一种镀膜系统及其控制方法技术方案

本发明专利技术提供了一种镀膜系统及其控制方法，包括腔室结构，所述腔室结构包括传递室和镀膜室；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述腔室结构内，所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及从所述镀膜室将所述试料取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述腔室结构内，所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置，所述旋转装置设置在所述升降装置上，所述抓取装置与所述旋转装置连接。相对于现有技术，通过试料传递装置与多功能基座的配合，提高了镀膜的效率以及镀膜质量。该镀膜系统的控制方法可以提高镀膜的效率和质量。制方法可以提高镀膜的效率和质量。制方法可以提高镀膜的效率和质量。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜系统及其控制方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体而言，涉及一种镀膜系统及其控制方法。

技术介绍

[0002]真空镀膜主要是在真空的镀膜室内进行镀膜，现有的镀膜设备通常在镀膜和取件时均需打开真空镀膜室，从而需要对真空镀膜室进行反复的抽吸至真空，严重影响镀膜效率。在反复打开真空镀膜室时，空气中的灰尘也会进入真空镀膜室，影响镀膜的质量。并且在将试料放入镀膜设备时，通常采用真空吸盘或电磁吸盘将试料吸住，在镀膜过程中容易脱落。因此现有的镀膜设备存在自动化程度低的问题，造成镀膜效率低下，并且镀膜质量有待提高。

技术实现思路

[0003]本专利技术解决的问题是提高镀膜效率的同时提高镀膜质量。
[0004]为解决上述问题中的至少一个方面，本专利技术提供一种镀膜系统，该系统包括：腔室结构，所述腔室结构包括传递室和镀膜室；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间，所述阀门装置适于将所述传递室和所述镀膜室之间隔绝或贯通；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述传递室内，所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及将所述试料从所述镀膜室取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述镀膜室内，所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置，所述旋转装置设置在所述升降装置上，所述抓取装置与所述旋转装置连接，所述抓取装置适于从所述试料传递装置上抓取所述试料或将所述试料放回所述传递装置，所述升降装置适于带动所述抓取装置上下运动，所述旋转装置适于带动所述抓取装置旋转。/>[0005]相对于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：通过试料传递装置将试料在传递室与镀膜室之间传递，避免了镀膜室与空气直接接触，以及在传递室和镀膜室之间设置阀门装置，可以在镀膜时将阀门装置关闭，避免传递室对镀膜室造成影响，保证了镀膜室的真空度，并且在多功能基座上的升降装置与抓取装置的配合下可以自动从试料传递装置上抓取试料并在镀膜完成后将试料放回试料传递装置，多功能基座上的旋转装置可以带动抓取装置旋转，从而保证试料在镀膜时的均匀性，因此该镀膜系统可以有效提高镀膜效率和镀膜质量。
[0006]可选地，所述试料传递装置包括传送杆组件、固定端和至少一个支撑架，所述固定端与所述传递室固定连接，所述传送杆组件的一端与所述固定端固定连接，所述传送杆组件的另一端适于相对于所述固定端伸缩运动，所述支撑架设置在所述传送杆组件的下方，所述支撑架适于支撑所述传送杆组件。
[0007]由此，支撑架可以对传送杆组件进行支撑，避免传送杆组件伸出时受力过大而得不到可靠支撑，长时间使用会产生下垂、错位灯问题，该试料传递装置可以有效保证传输的稳定性和传输精度。
[0008]可选地，该镀膜系统还包括托盘，所述试料适于放置在所述托盘上，所述传送杆组件远离所述固定端的一端设置有适于放置所述托盘的托环，所述托盘与所述托环形成卡合连接。
[0009]由此，通过托盘方便将试料放置到托环上，并且保证托盘在托环上的可靠性，避免晃动。
[0010]可选地，所述托环上设置有定位槽，所述托盘上设置有与所述定位槽相配合的定位块，所述定位块适于在所述托盘与所述托环连接时与所述定位槽形成卡合连接。
[0011]由此，定位槽和定位块的设置保证了托盘放置位置的准确性，便于抓取装置对试料的准确抓取。
[0012]可选地，所述升降装置包括固定轴、升降轴、连接件和升降电机，所述固定轴与所述镀膜室固定连接，所述升降轴套设在所述固定轴上，所述升降电机的旋转轴线与所述升降轴的轴线相平行，所述升降电机通过所述连接件与所述升降轴连接，所述升降电机适于驱动所述升降轴相对于所述固定轴升降。
[0013]由此，固定轴与镀膜室固定连接，通过将升降轴套设在固定轴上，升降轴相对于固定轴升降运动，从而实现抓取装置的上下运动。
[0014]可选地，所述旋转装置包括旋转电机和旋转轴，所述旋转轴套设在所述升降轴上，所述旋转电机适于带动所述旋转轴绕所述升降轴转动，所述抓取装置与所述旋转轴固定连接。
[0015]由此，可以实现抓取装置升降和旋转的功能，并且旋转轴绕升降轴转动，保证旋转和升降互不干涉。
[0016]可选地，所述抓取装置包括连接架和抓取件，所述连接架的一端与所述旋转装置固定连接，所述连接架的另一端与所述抓取件连接，所述抓取件适于抓取所述托盘。
[0017]由此，通过连接架将抓取件与旋转装置形成固定连接，并且抓取件可以实现托盘的抓取。
[0018]可选地，所述抓取件包括抓取环和设置在所述抓取环上的抓取钩，所述抓取钩的数量为至少一个，所述托盘上设置有与所述抓取钩相配合的对接钩，所述抓取钩适于与所述对接钩连接。
[0019]由此，通过抓取钩与对接钩的配合实现抓取环对托盘的抓取同时保证抓取的牢固性，避免脱落。
[0020]本专利技术还提供一种镀膜系统的控制方法，基于如上所述的镀膜系统，该方法包括以下步骤：
[0021]当试料放置于所述镀膜系统的试料传递装置上时，控制所述试料传递装置从所述镀膜系统的传递室运动至所述镀膜系统的镀膜室的指定位置；控制所述镀膜系统的多功能基座与所述试料传递装置对接，并将所述试料由所述试料传递装置转移至所述多功能基座上，对所述试料进行加热，以便于镀膜；控制所述试料传递装置返回至所述传递室内。
[0022]由此，只需将试料放置于试料传递装置上，试料传递就可实现试料的自动传递，并且通过多功能基座与试料传递装置自动对接并将试料转移至多功能基座上后自动开始镀膜，同时还可以对试料进行加热，有助于提高试料镀膜时的质量，从而该方法可以提高镀膜的效率及质量。
[0023]可选地，所述控制所述试料传递装置从所述镀膜系统的传递室运动至所述镀膜系统的镀膜室的指定位置包括：控制所述镀膜系统的阀门装置开启，所述试料传递装置从所述阀门装置的开口处运动至所述镀膜室；当控制所述试料传递装置返回至所述传递室内时，控制所述阀门装置关闭。
[0024]由此，在试料传递装置需要向镀膜室运动时打开阀门装置，当试料传递装置返回时，控制关闭阀门装置，避免在试料镀膜时，传递室对真空室造成影响。
附图说明
[0025]图1为本专利技术实施例中镀膜系统的整体结构示意图；
[0026]图2为本专利技术实施例中镀膜室内多功能基座的整体结构示意图；
[0027]图3为本专利技术实施例中抓取件的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术实施例中托盘的主视图；
[0029]图5为本专利技术实施例中托盘的俯视图；
[0030]图6为本专利技术实施例中镀膜系统的控制方法的流程图。
[0031]附图标记说明：
[0032]1‑
传递室，2
‑
镀膜室，3
‑
固定端，4
‑
支撑架，5
‑
托盘，51
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定位槽，52
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对接钩，521
‑
凸块，6
‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜系统，其特征在于，包括：腔室结构，所述腔室结构包括传递室(1)和镀膜室(2)；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室(1)与所述镀膜室(2)之间，所述阀门装置适于将所述传递室(1)和所述镀膜室(2)之间隔绝或贯通；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述传递室(1)内，所述试料传递装置适于将试料从所述传递室(1)传递至所述镀膜室(2)以及将所述试料从所述镀膜室(2)取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述镀膜室(2)内，所述多功能基座包括升降装置(8)、旋转装置(9)和抓取装置(10)，所述旋转装置(9)设置在所述升降装置(8)上，所述抓取装置(10)与所述旋转装置(9)连接，所述抓取装置(10)适于从所述试料传递装置上抓取所述试料或将所述试料放回所述试料传递装置，所述升降装置(8)适于带动所述抓取装置(10)上下运动，所述旋转装置(9)适于带动所述抓取装置(10)旋转。2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述试料传递装置包括传送杆组件(6)、固定端(3)和至少一个支撑架(4)，所述固定端(3)与所述传递室(1)固定连接，所述传送杆组件(6)的一端与所述固定端(3)固定连接，所述传送杆组件(6)的另一端适于相对于所述固定端(3)伸缩运动，所述支撑架(4)设置在所述传送杆组件(6)的下方，所述支撑架(4)适于支撑所述传送杆组件(6)。3.根据权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于，还包括托盘(5)，所述试料适于放置在所述托盘(5)上，所述传送杆组件(6)远离所述固定端(3)的一端设置有适于放置所述托盘(5)的托环(7)，所述托盘(5)与所述托环(7)卡合连接。4.根据权利要求3所述的镀膜系统，其特征在于，所述托环(7)上设置有定位槽(51)，所述托盘(5)上设置有与所述定位槽(51)相配合的定位块(71)，所述定位块(71)适于在所述托盘(5)与所述托环(7)连接时与所述定位槽(51)卡合连接。5.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述升降装置(8)包括固定轴(81)、升降轴(82)、连接件(83)和升降电机(84)，所述固定轴(81)与所述镀膜室(...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟培福，高军思，牟成阳，
申请(专利权)人：宁波天德创新智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：