本发明专利技术涉及一种用于对硅片节距进行改变的装置。主要包括：驱动组件，第一调节板，基板以及多个硅片定位组件。所述基板的第一侧面由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述第一调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，所述驱动组件与第一调节板相连，所述驱动组件通过驱动第一调节板直线移动，促使第一调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第一调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。本申请的上述装置可实现对各个硅片的节距进行调整。整个调节过程平稳顺畅。整个调节过程平稳顺畅。整个调节过程平稳顺畅。
【技术实现步骤摘要】
一种用于对硅片节距进行改变的装置
[0001]本专利技术涉及硅片制造领域，特别是涉及用于对硅片节距进行改变的装置。
技术介绍
[0002]硅片在制造生产过程中，有些工序需要将硅片与硅片之间的距离进行调节，也就是硅片变节距操作。
[0003]传统的用于对硅片进行变节距操作的装置比较复杂和笨重，对硅片进行节距调节的过程不够平稳。
技术实现思路
[0004]基于此，提供一种用于对硅片节距进行改变的装置。该装置结构比较简单且运行平稳。
[0005]一种用于对硅片节距进行改变的装置，包括：
[0006]驱动组件，第一调节板，基板以及多个硅片定位组件，
[0007]所述基板的第一侧面由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，
[0008]每个滑块上安装有一个硅片定位组件，
[0009]所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，
[0010]所述第一调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
[0011]所述驱动组件与第一调节板相连，所述驱动组件通过驱动第一调节板直线移动，促使第一调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第一调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。
[0012]本申请的上述装置通过对第一调节板进行升降，可促使导向件进行移动，导向件会带动支撑件以及硅片定位件一同移动。硅片定位件是用于对硅片进行拾取和定位。在各个硅片定位件相互靠拢和相互分散过程中，就可实现对各个硅片的节距进行调整。整个调节过程平稳顺畅。
[0013]在其中一个实施例中，所述硅片定位件包括主体部以及设置在主体部一端的硅片夹持槽。
[0014]在其中一个实施例中，所述主体部上位于硅片夹持槽的外侧设置有V形导向口，所述V形导向口与所述硅片夹持槽连通。
[0015]在其中一个实施例中，所述硅片夹持槽远离V形导向口的一端设置有垫片。
[0016]在其中一个实施例中，所述导向件设置在所述支撑件的一端，所述硅片定位件设置在所述支撑件的另一端。
[0017]在其中一个实施例中，还包括机架以及用于驱动机架移动的机架驱动机构，所述
基板设置在机架上，所述驱动组件也设置在机架上。
[0018]在其中一个实施例中，所述导向长孔倾斜设置。
[0019]在其中一个实施例中，所述基板的第二侧面由上到下也依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，还包括第二调节板，所述第二调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，第二调节板的多个导向长孔与多个导向件一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
[0020]所述驱动组件与第二调节板相连，所述驱动组件通过驱动第二调节板直线移动，促使第二调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第二调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。
[0021]在其中一个实施例中，所述驱动组件包括驱动架以及与驱动架相连的驱动气缸，所述驱动架与所述调节板相连。
[0022]在其中一个实施例中，所述基板上还设置有竖向导轨，所述竖向导轨上设置有滑块，所述调节板的一端安装在滑块上。
附图说明
[0023]图1为本申请的实施例的用于对硅片节距进行改变的装置的装配图。
[0024]图2为本申请的实施例的一个基板的两个表面分别设置有横向导轨、滑块、硅片定位组件以及调节板的示意图。
[0025]图3为本申请的实施例的在基板上设置横向导轨、竖向导轨以及滑块的示意图。
[0026]图4为本申请的实施例的硅片定位件的示意图。
[0027]其中：
[0028]110、驱动组件 111、驱动架 112、驱动气缸
[0029]120、基板 130、第一调节板 131、导向长孔
[0030]140、第二调节板 150、硅片定位组件 151、硅片定位件
[0031]151a、硅片夹持槽 151b、V形导向口 151c、垫片
[0032]152、支撑件 153、导向件 160、机架 170、机架驱动机构
[0033]181、横向导轨 182、滑块 183、竖向导轨 184、滑块
具体实施方式
[0034]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0036]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具
体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。
[0037]如图1至图3所示，本申请的实施例提供了一种用于对硅片节距进行改变的装置，该装置包括：驱动组件110，第一调节板130，基板120以及多个硅片定位组件150。
[0038]所述基板120的第一侧面由上到下依次间隔设置有多个横向导轨181，每个横向导轨181上设置有多个滑块182。每个滑块182上安装有一个硅片定位组件150。
[0039]所述硅片定位组件150包括导向件153、支撑件152以及硅片定位件151，导向件153和硅片定位件151都安装在支撑件152上。
[0040]所述第一调节板130由上到下间隔设置有多个导向长孔131，多个导向件153与多个导向长孔131一一对应，且导向件153由对应的导向长孔131导向。
[0041]所述驱动组件110与第一调节板130相连，所述驱动组件110通过驱动第一调节板130直线移动，促使第一调节板130的导向长孔131驱动对应的导向件153移动，进而使得第一调节板130对应的各个硅片定位组件150沿横向导轨181相互靠拢或相互分散。
[0042]本申请的上述装置在使用时，上述基板120和驱动组件110可安装在机架160上。通过驱动组件110驱动第一调节板130上升或下降，可促使第一调节板130的导向长孔131驱动对应的导向件153移动，进而使得第一调节板130对应的各个硅片定位组件150沿横向导轨181相互靠拢或相互分散。由于硅片定位组件150是用于拾取硅片和对硅片进行支撑定位，所以硅片定位组件150的相互靠拢或相互分散可促使其上的各个硅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于对硅片节距进行改变的装置，其特征在于，包括：驱动组件，第一调节板，基板以及多个硅片定位组件，所述基板的第一侧面由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，所述第一调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，所述驱动组件与第一调节板相连，所述驱动组件通过驱动第一调节板直线移动，促使第一调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第一调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。2.根据权利要求1所述的用于对硅片节距进行改变的装置，其特征在于，所述硅片定位件包括主体部以及设置在主体部一端的硅片夹持槽。3.根据权利要求2所述的用于对硅片节距进行改变的装置，其特征在于，所述主体部上位于硅片夹持槽的外侧设置有V形导向口，所述V形导向口与所述硅片夹持槽连通。4.根据权利要求3所述的用于对硅片节距进行改变的装置，其特征在于，所述硅片夹持槽远离V形导向口的一端设置有垫片。5.根据权利要求1所述的用于对硅片节距进行改变的装置，其特征在于，所述导向件设置在所述支撑件的一端，所述硅片定位件设置在所述支撑件的另一端。6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈威，
申请(专利权)人：苏州诚拓智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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