下载一种用于对硅片节距进行改变的装置的技术资料

文档序号:31825714

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本发明涉及一种用于对硅片节距进行改变的装置。主要包括:驱动组件,第一调节板,基板以及多个硅片定位组件。所述基板的第一侧面由上到下依次间隔设置有多个横向导轨,每个横向导轨上设置有多个滑块,每个滑块上安装有一个硅片定位组件,所述第一调节板由上到...
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