布线衬底、显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够防止导电层损伤的布线衬底及其制造方法以及显示装置。本发明专利技术的一个实施方式的布线衬底的制造方法具有如下步骤：第一刻蚀步骤，为了对含Ａｌ的下层（３１）以及含Ｍｏ的上层（３２）进行侧面刻蚀，通过抗蚀剂图形（３３）对下层（３１）以及上层（３２）进行刻蚀；灰化步骤，在第一刻蚀步骤之后，为使上层（３２）侧端部的表面露出，使抗蚀剂图形（３３）后退；第二刻蚀步骤，在灰化步骤后，为使上层（３２）的剖面成为正锥形形状，通过后退后的抗蚀剂图形（３３）进行刻蚀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别涉及具有层叠了金属膜的布线的布线衬底、使用了该布线衬底的显示装置以及它们的制造方法。
技术介绍
近年来，作为以CRT显示器为代表的显示装置，广泛应用平面型的显示装置。特别是对于液晶显示装置或者有机EL(电致发光)(electroluminescence)显示装置来说，从轻量、薄型、低功耗的优点看而备受关注。作为液晶显示装置或者有机EL显示装置的驱动方式之一，有使用了开关元件的有源矩阵型。在有源矩阵型中，例如，在各像素电极上电连接了作为开关元件的TFT。即，在有源矩阵型显示装置中，使用以阵列状排列了TFT的TFT阵列衬底。因此，在有源矩阵型的液晶显示装置等中，能够实现在相邻的像素间不存在串扰的良好显示。在目前的平面型的显示装置中，有源矩阵型成为主流。为了降低平面型显示装置的制造成本，降低TFT阵列衬底的制造成本也成为最大课题。考虑以数目更少的图形来制造TFT阵列衬底。即，考虑减少使用光掩模的曝光步骤的次数来简化制造工艺的技术。另一方面，随着显示装置的细微化等，使用铝或者其合金(以下统称Al等)作为布线材料。即，使用Al等作为布线材料能够降低布线电阻。但是，由Al本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将至少由第一金属膜和第二金属膜构成的层叠结构作为布线的布线衬底的制造方法，包括：在衬底上形成含有铝的第一金属膜的步骤；在所述第一金属膜上形成含有钼的第二金属膜的步骤；在所述第二金属膜上形成抗蚀剂图形的步骤；　 　为了对所述第一金属膜以及所述第二金属膜进行侧面刻蚀，通过所述抗蚀剂图形对所述第一金属膜以及所述第二金属膜进行刻蚀的第一刻蚀步骤；在所述第一刻蚀步骤之后，为了使所述第二金属膜的侧端部的表面露出而使所述抗蚀剂图形后退的灰化步骤；以及　 　所述灰化步骤之后，为了使所述第二金属膜的剖面成为正锥形形状而通过所述后退后的抗蚀剂...

【技术特征摘要】
JP 2006-4-25 2006-1207141.一种将至少由第一金属膜和第二金属膜构成的层叠结构作为布线的布线衬底的制造方法，包括在衬底上形成含有铝的第一金属膜的步骤；在所述第一金属膜上形成含有钼的第二金属膜的步骤；在所述第二金属膜上形成抗蚀剂图形的步骤；为了对所述第一金属膜以及所述第二金属膜进行侧面刻蚀，通过所述抗蚀剂图形对所述第一金属膜以及所述第二金属膜进行刻蚀的第一刻蚀步骤；在所述第一刻蚀步骤之后，为了使所述第二金属膜的侧端部的表面露出而使所述抗蚀剂图形后退的灰化步骤；以及所述灰化步骤之后，为了使所述第二金属膜的剖面成为正锥形形状而通过所述后退后的抗蚀剂图形进行刻蚀的第二刻蚀步骤。2.如权利要求1记载的布线衬底的制造方法，其特征在于在所述第一刻蚀步骤中，所述第一金属膜为正锥形形状、所述第二金属膜为倒锥形形状。3.如权利要求1或2记载的布线衬底的制造方法，其特征在于在所述灰化步骤中，使所述抗蚀剂图形后...

【专利技术属性】
技术研发人员：田上和昭，日野辉重，柴田英次，屋比久英夫，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]