分子泵的防凝露系统及防凝露方法技术方案

本公开披露了一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，所述防凝露系统包括：分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。本申请的技术方案能够防止凝露在分子泵电源内部形成，有效避免了电源内部电子元件短路、失效的风险。失效的风险。失效的风险。

【技术实现步骤摘要】
分子泵的防凝露系统及防凝露方法


[0001]本公开涉及分子泵领域，具体涉及一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法。

技术介绍

[0002]分子泵是一种真空泵，由分子泵泵体及分子泵电源组成。分子泵电源为分子泵泵体供电，分子泵电源通常是通过水冷的方式进行冷却以防止分子泵电源内部温度过高，影响电信号的传输及分子泵运行的稳定性。
[0003]然而，分子泵电源内部会形成凝露，分子泵电源内部的凝露会造成电子元件的短路及失效。现有的分子泵电源不能防止凝露在分子泵电源内部形成。
[0004]因此，亟需一种分子泵防凝露系统及凝露方法，防止凝露在分子泵电源内部形成。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本公开提供一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，以防止凝露在分子泵电源中上形成。
[0006]第一方面，一种分子泵的防凝露系统，包括，分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。
[0007]可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。
[0008]可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度；所述控制部分根据所述空气温度及所述空气湿度计算所述电源内部的空气的露点温度。
[0009]可选地，所述第一温度采集单元位于所述冷却水流道的入口处。
[0010]可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。
[0011]第二方面，提供一种分子泵的防凝露方法，所述分子泵包括泵体以及为所述泵体供电的电源，所述电源内部设置有冷却水流道，以利用冷却水对所述电源进行冷却，所述方法包括：采集所述冷却水的温度；根据所述冷却水的温度对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。
[0012]可选地，所述方法还包括，采集所述电源内部的空气温度；据所述电源内部的空气温度调节所述冷却水的流量。
[0013]可选地，所述方法还包括，根据所述电源内部的空气温度修正得到电源内部的空气湿度；根据所述电源内部的空气湿度和所述电源内部的空气温度，计算所述电源内部的空气的露点温度。
[0014]可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。
[0015]本公开实施例提供的技术方案，能够对分子泵电源的冷却水进行加热，使冷却水的温度不低于分子泵电源内部的空气的露点温度，从而防止凝露在分子泵电源内部形成。
附图说明
[0016]图1为本公开实施例提供的一种分子泵的防凝露系统示意图。
[0017]图2为本公开实施例提供的另一种分子泵防凝露系统示意图。
[0018]图3为本公开实施例提供的一种根据电源内部水蒸气泄露速率得到电源内部湿度的方法。
[0019]图4为本公开实施例提供的一种电源内部湿度泄露速率函数示意图。
[0020]图5为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的工作原理示意图。
[0021]图6为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的另一种工作原理示意图。
[0022]图7为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的工作过程。
具体实施方式
[0023]下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0024]日常生活中的空气是含有水蒸气的湿空气，空气中水蒸气的含量可以用湿度来表示。湿度可以通过不同的方式来表示，例如可以用绝对湿度表示空气的湿度，例如也可以用相对湿度表示空气的湿度。空气的绝对湿度可以用来表示单位容积空气中含有的水汽质量，一般可以用mg/L做指标。在一定温度的空气中，当空气中的水蒸气含量达到最大时，该空气可以称为饱和空气，此时该空气中水蒸气的最大含量可以称为饱和水蒸气量。空气的相对湿度可以表示绝对湿度与该温度下饱和状态水蒸气量的比值，可以用百分数表达。相对湿度的大小可以用来表示空气的饱和程度，相对湿度越小，表示该空气中的水蒸气离饱和越远，尚有吸收更多水蒸气的能力，反之，相对湿度越大，则表示该空气吸收水蒸气的能力越弱。在一定压力下，温度降低，空气中饱和水蒸气含量降低，空气中的水蒸汽凝结成水珠，即为凝露，此时，该空气的温度为露点温度。
[0025]空气的状态参数可以用仪器仪表进行测试量，例如，可以使用温度测量仪器测量该空气的温度，温度测量仪器例如可以是干球温度计，还可以是温度传感器。在一些实施例中，可以通过湿度测量仪测量空气中水蒸气的含量，例如，可以用湿度传感器测量空气的绝对湿度和/相对湿度。在一些实施例中，可以通过温湿度测量仪测量空气温度参数及湿度参数中的一种或多种，例如，利用温湿度传感器测量空气的温度、绝对湿度、相对湿度、露点温度中的一种或多种。
[0026]在一些实施例中，可以利用空气的焓湿图确定空气各个参数之间的关系。作为一个示例，可以根据当前空气的温度及相对湿度在焓湿图中查出该空气的露点温度。
[0027]露点温度可以用来表示空气中水蒸气达到饱和并开始凝结为小水珠时的温度，在
一些情况下当空气的温度低于露点温度时，会发生凝露的现象。例如，夏天空气的温度是30℃，空气的相对湿度为50%，此时露点温度为15℃，也就是说，温度为30℃，相对湿度为50%的空气，只有在空气温度降到15℃之下，才会出现凝露的现象。这时，从冰箱里取出一杯冰水，杯子表面的温度为2℃，杯子周围的空气碰到温度低于露点温度的杯子的表面时，就会发生凝露现象，在杯子表面形成露珠。
[0028]凝露现象给工业生产带来了一定的危害，尤其在电气设备中。在一些情况下，电气设备内部的凝露滴落在电气元件上可能造成电子元件短路，导致电气失效的问题。在分子泵领域，分子泵的电源内部上会形成凝露，影响分子泵的安全运行。下面介绍一下，现有技术中，分子泵内部凝露形成的原因及分子泵防凝露方法。
[0029]分子泵是一种可以利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度的一种真空泵。分子泵可以由分子泵泵体及分子泵电源组成，分子泵电源可以为分子泵泵体进行供电。
[0030]磁悬浮分子泵是分子泵的一种，磁悬浮分子泵可以包括转子及定子，该分子泵可以利用磁轴承产生磁力使转子悬浮在空中，实现转子与定子之间无机械接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵的防凝露系统，其特征在于，包括：分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。2.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。3.根据权利要求2所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏子慕，张亚楠，顾艳庆，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：