一种槽轮槽型检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种槽轮槽型检测装置，包括图像获取装置、图像处理装置、第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，图像获取装置与图像处理装置连接；图像获取装置与第一方向位移调节装置连接，第一方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，第三方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，以使得图像获取装置在第一方向、第二方向和第三方向上进行位置调节；第一方向、第二方向与第三方向两两相交，图像获取装置沿着第一方向、第二方向和第三方向进行位置调节。本实用新型专利技术的有益效果是对槽轮的槽型的各个参数进行测量，可以在线下对槽轮进行全检，提前发现问题，避免因槽轮异常导致上机后更换槽轮，浪费生产时间。浪费生产时间。浪费生产时间。

【技术实现步骤摘要】
一种槽轮槽型检测装置


[0001]本技术属于硅片切割
，尤其是涉及一种槽轮槽型检测装置。

技术介绍

[0002]目前晶片体系在主辊检测方面的手段非常局限，仅仅是对外观进行目测或者以供应商的检测仪局部扫描提供的图像作为检验标准，对主辊的检测没有精确的判断。而质量不合格的主辊在使用过程中可能会出现以下的问题：连续线痕、TTV、跳线、断线等，同时也造成了硅片的降级损失。对于切割中出现的以上问题，除了深槽、异物等外观可检验，其余问题只能通过更换主辊解决。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本技术提供一种槽轮槽型检测装置，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种槽轮槽型检测装置，包括图像获取装置、图像处理装置、第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，其中，
[0005]图像获取装置与图像处理装置连接，图像获取装置获取槽轮的槽型图像，并将槽型图像传送给图像处理装置，图像处理装置对槽型图像进行处理分析；
[0006]图像获取装置与第一方向位移调节装置连接，以使得图像获取装置在第一方向位移调节装置的作用下在第一方向上进行位置调节；
[0007]第一方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，以使得第一方向位移调节装置在第二方向位移调节装置的作用下在第二方向上进行位置调节；
[0008]第三方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，以使得第二方向位移调节装置在第三方向位移调节装置作用下在第三方向上进行位置调节；
[0009]其中，第一方向、第二方向与第三方向两两相交，图像获取装置沿着第一方向、第二方向和第三方向进行位置调节，以便于获取槽轮的槽型图像。
[0010]进一步的，图像获取装置为相机，优选的，相机为3D相机。
[0011]进一步的，第一方向、第二方向与第三方向两两相互垂直。
[0012]进一步的，第一方向位移调节装置包括第一移动平台、第一调节杆和第一旋钮，第一旋钮与第一调节杆连接，第一移动平台与第一调节杆连接，旋转第一旋钮，第一调节杆转动，以使得第一移动平台在第一方向上往复移动。
[0013]进一步的，第二方向位移调节装置包括第二移动平台、第二调节杆和第二旋钮，第二旋钮与第二调节杆连接，第二移动平台与第二调节杆连接，旋转第二旋钮，第二调节杆转动，以使得第二移动平台在第二方向上往复移动。
[0014]进一步的，第三方向位移调节装置包括第三移动平台、第三调节杆和第三旋钮，第三旋钮与第三调节杆连接，第三移动平台与第三调节杆连接，旋转第三旋钮，第三调节杆转
动，以使得第三移动平台在第三方向上往复移动。
[0015]进一步的，检测装置还包括壳体，图像获取装置被设置为位于壳体内部，第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置与第三方向位移调节装置均被设置为位于壳体内，且第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置与第三方向位移调节装置均部分延伸至壳体的外部。
[0016]进一步的，第一方向位移调节装置的第一旋钮延伸至壳体的外部，第二方向位移调节装置的第二旋钮延伸至壳体的外部，第三方向位移调节装置的第三旋钮延伸至壳体的外部。
[0017]进一步的，检测装置还包括至少一组对向设置的底座，底座设于壳体的设有图像获取装置的一端，且对向设置的底座可相对壳体移动，对向设置的底座可以相对靠近或相对远离移动，以适应不同尺寸的槽轮。
[0018]进一步的，对向设置的底座被设计为具有一定间隙，间隙与图像获取装置相对应，以使得图像获取装置获取间隙对应的槽轮上的槽型图像。
[0019]进一步的，检测装置还包括网线接口和电源接口，网线接口与电源接口均与图像获取装置连接。
[0020]由于采用上述技术方案，槽轮槽型检测装置结构简单，使用方便，具有图像获取装置和图像处理装置，能够对槽轮的槽型进行扫描、拍照，获取槽型的图像，图像处理装置能够对槽型图像进行处理，测量槽型的参数尺寸，对槽型是否满足使用要求进行判断；具有第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，能够对图像获取装置进行不同方向位移调节，使得图像获取装置能够对槽轮的不同位置的槽型进行拍照、扫描；具有相对位置可以调节的底座，使得检测装置能够对不同尺寸的槽轮进行检测；该图像获取装置为3D相机，可以通过激光线观察到被检测槽所在槽轮的位置，在高度方向检测不受灰尘等小颗粒干扰，槽底图像清晰，可准确显示槽轮实际加工轮廓并计算出槽梗宽度，对工装要求不高，在同一高度，能兼容槽轮直径在6毫米范围内波动，是单条线投影测量的数据，可以在线下对槽轮进行全检，提前发现问题，避免因槽轮异常导致上机后更换槽轮，浪费生产时间。
附图说明
[0021]图1是本技术的一实施例的检测装置的结构示意图；
[0022]图2是本技术的一实施例的槽型的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]1、图像获取装置2、第一方向位移调节装置3、第二方向位移调节装置
[0025]4、第三方向位移调节装置5、壳体6、底座
具体实施方式
[0026]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的说明。
[0027]图1示出了本技术一实施例的结构示意图，本实施例涉及一种槽轮槽型检测装置，用于检测槽轮的槽型的相关参数是否满足使用规格，检测槽型的槽深、槽宽、槽梗、侧壁夹角及槽底角等参数的测量，在槽轮在使用之前，对槽轮进行精确的检验，对异常槽轮进
行进一步的槽型分析，避免不合格的槽轮在使用过程中可能会出现的问题，提高硅片切割的工作效率，降低硅片的损失，可以在线下对槽轮进行全检，提前发现问题，避免因槽轮异常导致上机后更换槽轮，浪费生产时间。
[0028]一种槽轮槽型检测装置，如图1所示，包括图像获取装置1、图像处理装置、第一方向位移调节装置2、第二方向位移调节装置3和第三方向位移调节装置4，其中，图像获取装置1与图像处理装置连接，图像获取装置1获取槽轮的槽型图像，并将槽型图像传送给图像处理装置，图像处理装置对槽型图像进行处理分析，测量槽轮的槽型的槽深、槽距和开槽角度等参数；
[0029]图像获取装置1与第一方向位移调节装置2连接，以使得图像获取装置1在第一方向位移调节装置2的作用下在第一方向上进行位置调节；第一方向位移调节装置2与第二方向位移调节装置3连接，以使得第一方向位移调节装置2在第二方向位移调节装置3的作用下在第二方向上进行位置调节；第三方向位移调节装置4与第二方向位移调节装置3连接，以使得第二方向位移调节装置3在第三方向位移调节装置4作用下在第三方向上进行位置调节；通过第一方向位移调节装置2、第二方向位移调节装置3与第三方向位移调节装置4的调节动作，使得图像获取装置1在三个方向进行调节，对图像获取装置1的位置进行确定，使得图像获取装置1准确的位于槽轮的待检测部分上方，获取该部分槽型的图像，使得图像获取装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种槽轮槽型检测装置，其特征在于：包括图像获取装置、图像处理装置、第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，其中，所述图像获取装置与所述图像处理装置连接，所述图像获取装置获取槽轮的槽型图像，并将槽型图像传送给所述图像处理装置，所述图像处理装置对槽型图像进行处理分析；所述图像获取装置与所述第一方向位移调节装置连接，以使得所述图像获取装置在所述第一方向位移调节装置的作用下在第一方向上进行位置调节；所述第一方向位移调节装置与所述第二方向位移调节装置连接，以使得所述第一方向位移调节装置在所述第二方向位移调节装置的作用下在第二方向上进行位置调节；所述第三方向位移调节装置与所述第二方向位移调节装置连接，以使得所述第二方向位移调节装置在所述第三方向位移调节装置作用下在第三方向上进行位置调节；其中，所述第一方向、所述第二方向与所述第三方向两两相交，所述图像获取装置沿着所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向进行位置调节，以便于获取槽轮的槽型图像。2.根据权利要求1所述的槽轮槽型检测装置，其特征在于：所述图像获取装置为相机。3.根据权利要求2所述的槽轮槽型检测装置，其特征在于：所述第一方向、所述第二方向与所述第三方向两两相互垂直。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的槽轮槽型检测装置，其特征在于：所述第一方向位移调节装置包括第一移动平台、第一调节杆和第一旋钮，所述第一旋钮与所述第一调节杆连接，所述第一移动平台与所述第一调节杆连接，旋转所述第一旋钮，所述第一调节杆转动，以使得所述第一移动平台在所述第一方向上往复移动。5.根据权利要求4所述的槽轮槽型检测装置，其特征在于：所述第二方向位移调节装置包括第二移动平台、第二调节杆和第二旋钮，所述第二旋钮与所述第二调节杆连接，所述第二移动平台与所述第二调节杆连接，旋转所述第二旋钮，所述第二调节杆转动，以使得...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭洲，危晨，王少刚，张志勇，张如龙，马悦，赵蕊，赵成博，张利敏，
申请(专利权)人：天津市环智新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：