掩模防护膜分离机构制造技术

本发明专利技术公开一种掩模防护膜分离机构，包括支座和两个撬臂组件，该支座上具有两个沿第一方向平行设置的第一导轨，两个撬臂组件沿第一方向间隔设置在两个第一导轨上，且每个撬臂组件配置为：包括两个第一滑块和可绕支点转动的撬臂；两个第一滑块可分别沿两个第一导轨滑动位移，两个第一滑块中的至少一者与相应的第一导轨之间设置有第一锁定件，以限定相应撬臂组件在第一导轨上的工作位置；撬臂的工作端具有插配部，以与防护膜框上的侧孔适配。应用本方案，在防护膜分离取下过程中，可全程规避防护膜的下落风险；同时，基于撬臂组件可相对于支座滑动位移的特点，放置分离机构时可降低触碰光罩，并可适应不同尺寸的待处理光罩。并可适应不同尺寸的待处理光罩。并可适应不同尺寸的待处理光罩。

【技术实现步骤摘要】
掩模防护膜分离机构


[0001]本专利技术涉及光刻工艺
，具体涉及一种掩模防护膜分离机构。

技术介绍

[0002]在去除掩模板(mask，又称光罩)图形面的防护膜时，通常是将分离机构卡在用于放置光罩的卡盘上，撬棒对准防护膜框侧面的孔后，施力将防护膜撬起。被撬起的防护膜需要与分离机构一同取下，操作不当容易使得防护膜掉落到光罩表面，并对光罩造成破损污染。
[0003]另外，受现有分离机构的原理限制，其工作支点距离光罩较近，分离机构放在机器上时，容易碰到光罩并对光罩产生破坏；此外，现有的分离机构仅适用于六英寸光罩，无法应用于其他尺寸光罩的处理。
[0004]有鉴于此，亟待针对掩模防护膜分离机构进行优化设计，以克服上述技术缺陷。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种掩模防护膜分离机构，通过结构优化可规避防护膜取下过程中落至光罩表面产生的不利影响。
[0006]本专利技术提供的掩模防护膜分离机构，包括用于支撑在去膜设备上的支座以及两个撬臂组件，所述支座上具有两个沿第一方向平行设置的第一导轨；两个撬臂组件沿第一方向间隔设置在两个所述第一导轨上，且每个所述撬臂组件配置为：包括两个第一滑块和可绕支点转动的撬臂；所述两个第一滑块可分别沿两个所述第一导轨滑动位移，所述两个第一滑块中的至少一者与相应的所述第一导轨之间设置有第一锁定件，以限定相应所述撬臂组件在所述第一导轨上的工作位置；所述撬臂的工作端具有插配部，以与防护膜框上的侧孔适配。
[0007]可选的，每个所述撬臂组件配置为：还包括第二滑块和第二导轨；所述第二导轨沿第二方向固定设置在所述两个第一滑块之间，所述第二滑块可沿所述第二导轨滑动位移，所述第二滑块与所述第二导轨之间设置有第二锁定件，以限定相应所述第二滑块在所述第二导轨上的工作位置；所述撬臂可绕位于所述第二滑块上的支点转动。
[0008]可选的，所述第一导轨上设置有限位部，且所述限位部位于两个所述第一滑块之间，以限制两个所述第一滑块的相对位置。
[0009]可选的，所述限位部的在第一方向上两侧端设置有缓冲件。
[0010]可选的，所述第一锁定件和所述第二锁定件均配置为螺纹紧固件，且该螺纹紧固件穿过相应滑块与相应滑轨锁定；所述缓冲件为橡胶圈。
[0011]可选的，所述第二导轨为双杆结构，所述第二滑块具有与所述双杆结构适配的插装孔。
[0012]可选的，所述第二滑块上开设有轴孔，所述撬臂的工作端设置有插装在所述轴孔中的枢接轴，以便绕支点转动；所述插配部位于所述枢接轴上。
[0013]可选的，所述插配部包括两个插针，分别固定设置在所述枢接轴的两侧轴端。
[0014]可选的，所述支座包括两个支座本体，分别固定设置在两个所述第一导轨的两侧端部；且所述支座本体上设置有绝缘附座，以通过所述绝缘附座支撑在去膜设备上。
[0015]可选的，所述绝缘附座采用塑料制成。
[0016]针对掩模的防护膜分离工艺，本专利技术创新性地提出一种分离机构，可将与掩模分离的防护膜独立取下。具体地，沿第一方向，两个撬臂组件可相对于支座的第一导轨滑动位移，以调整两个撬臂组件的工作位置；同时，撬臂组件的撬臂的工作端具有插配部，这样，滑动至插配部与防护膜框上的侧孔适配后，压动两个撬臂的施力端即可实现防护膜与掩模分离。这样，基于支座与两个撬臂组件的空间配置关系，可先取下防护膜，然后再取下分离机构，能够有效规避防护膜非常态掉落。同时，每个撬臂组件的两个第一滑块中，至少一者与相应的第一导轨之间设置有第一锁定件，以限定相应撬臂组件在第一导轨上的工作位置；由此，防护膜与掩模分离后，基于该第一锁定件可限制第一滑块的滑动，避免撬臂组件的插配部与防护膜框分离导致防护膜掉回光罩表面。与现有分离结构方案相比，本专利技术具有下述有益技术效果：
[0017]首先，在防护膜分离取下过程中，一方面能够避免防护膜与分离机构一同取下时，可能出现的防护膜滑落风险，同时还能够避免防护膜与掩模分离后，脱离分离机构而掉回光罩表面，可全程规避防护膜的下落风险。
[0018]其次，基于撬臂组件可相对于支座滑动位移的特点，本方案通过调整两个撬臂组件的工作位置适应待处理防护膜，由此可将支座与去膜设备的支撑适配位置布置为远离光罩，也就是说，将分离机构的支点外移；这样，放置分离机构时，能够降低触碰光罩并对光罩产生破坏的可能性。另外，撬臂工作端的插配部可与撬臂组件随动，以适应不同尺寸的待处理光罩；例如但不限于，五英寸、六英寸或七英寸光罩。
[0019]第三，在本专利技术的优选方案中，撬臂组件还包括第二滑块和第二导轨，该第二导轨沿第二方向固定设置在两个第一滑块之间，且第二滑块可沿第二导轨滑动位移；由此，根据实际需要，可在第二方向上调节撬臂工作端的插配部，能够进一步提高本方案的可适应性。同时，第二滑块与第二导轨之间设置有第二锁定件，以限定相应第二滑块在第二导轨上的工作位置，在提高可适应性的基础上，具有较好的操作可靠性。
[0020]第四，在本专利技术的另一优选方案中，在第一导轨的中部设置有限位部，通过限制两个第一滑块的相对位置，形成对两个撬臂组件的限位，提高了分离操作的可靠性；进一步地，限位部的在第一方向上两侧端设置有缓冲件，如此设置，两侧第一滑块与限位部接触时，缓冲件提供缓冲作用避免冲击影响，具有较好的用户体验。
附图说明
[0021]图1为具体实施方式所述掩模防护膜分离机构的整体结构示意图；
[0022]图2为图1的俯视图；
[0023]图3为图1的侧视图；
[0024]图4为图1的C
‑
C剖视图。
[0025]图中：
[0026]支座10、撬臂组件20；
[0027]撬臂1、插配部11、施力端12、枢接轴13、第一导轨2、第一滑块3、第二滑块4、轴孔41、第二导轨5、第一锁定件6、第二锁定件7、限位部8、缓冲件81、支座本体9、绝缘附座91。
具体实施方式
[0028]为了使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的详细说明。
[0029]请参见图1和图2，其中，图1为本实施方式所述掩模防护膜分离机构的整体结构示意图，图2为图1的俯视图。
[0030]该掩模防护膜分离机构包括支座10和设置在该支座10上的两个撬臂组件20。使用时，将支座10支撑在去膜设备(图中未示出)上，并将撬臂1工作端的插配部11与待分离防护膜框上的侧孔对中后，压动撬臂1的施力端12绕支点A转动，即可将防护膜与光罩分离。
[0031]其中，支座10上具有沿第一方向X平行设置的两个第一导轨2，两个撬臂组件20设置在两个第一导轨2上，且两个撬臂组件20沿第一方向间隔设置，形成取下防护膜的操作空间B。基于支座10与两个撬臂组件20的空间配置关系，防护膜与光罩分离后，可先取下防护膜，然后再取下分离机构，能够有效规避防护膜非常态掉落。
[0032]其中，每个撬臂组件20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模防护膜分离机构，其特征在于，包括：支座，用于支撑在去膜设备上，所述支座上具有两个沿第一方向平行设置的第一导轨；两个撬臂组件，沿第一方向间隔设置在两个所述第一导轨上，且每个所述撬臂组件配置为：包括两个第一滑块和可绕支点转动的撬臂；所述两个第一滑块可分别沿两个所述第一导轨滑动位移，所述两个第一滑块中的至少一者与相应的所述第一导轨之间设置有第一锁定件，以限定相应所述撬臂组件在所述第一导轨上的工作位置；所述撬臂的工作端具有插配部，以与防护膜框上的侧孔适配。2.根据权利要求1所述的掩模防护膜分离机构，其特征在于，每个所述撬臂组件配置为：还包括第二滑块和第二导轨；所述第二导轨沿第二方向固定设置在所述两个第一滑块之间，所述第二滑块可沿所述第二导轨滑动位移，所述第二滑块与所述第二导轨之间设置有第二锁定件，以限定相应所述第二滑块在所述第二导轨上的工作位置；所述撬臂可绕位于所述第二滑块上的支点转动。3.根据权利要求2所述的掩模防护膜分离机构，其特征在于，所述第一导轨上设置有限位部，且所述限位部位于两个所述第一滑块之间，以限制两个所述第一滑块的相对位置。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢发政，贺遵火，吴仕伟，韩露露，
申请(专利权)人：泉意光罩光电科技济南有限公司，
类型：发明
国别省市：