加工设备直接装载制造技术

本发明专利技术提供一种容器输送装载系统。该系统一般包括装载端口，用于将物品运送至加工设备和容器输送系统。在一个实施例中，装载端口具有可竖直移动的ＦＯＵＰ前移板组件，它适于为经过装载端口的传送装置装载／卸载ＦＯＵＰ并使ＦＯＵＰ水平移动。在另一个实施例中，装载端口具有可竖直移动的支撑结构，它适于为经过装载端口的往复运输小车装载／卸载容器。装载端口和容器输送系统的不同实施例是对传统容器输送系统的改进。本发明专利技术也包括用于同时输送许多容器的往复运输小车，装载端口可以为往复运输小车装载／卸载容器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加工设备直接装载
总体上讲，本专利技术涉及自动化物料搬运系统(AMHS)。确切地说，本 专利技术包括装载端口，它具有可竖直移动的、能直接将容器装入容器输送系 统并从容器输送系统中卸下容器的容器支撑结构。
技术介绍
在半导体制造工厂中，将容器如前开口标准搬运盒(FOUP)和标准 机械接口 (SMIF)盒传送至加工设备和装载端口是代价高昂的。 一种在加 工设备之间传送FOUP的方法是天车吊运(OHT)系统。OHT系统在离工 厂地面约卯0毫米的高度将FOUP吊放到装载端口的移动板上。OHT系统 利用复杂的天花板装设轨道和缆索吊运小车，输送FOUP例如至加工设备 的装载端口。水平运动、悬吊缆索延伸以及单向操作的合作必须与在加工 设备之间快速输送FOUP相协调。 一旦加工设备需要装载或卸载，输送车 就必须到位，以获得最佳效率。OHT系统通常安装在工厂天花板的局部上，因此位于加工设备与装载 端口的上方。OHT系统利用了厂内的空闲空间，因为加工设备一般是落地 安装设备。顶装式OHT系统必须在OHT轨道和例如装载端口之间使容器 升降一段相当大的距离。OHT系统优选具有非常高的洁净性，这是因为使 FOUP沿轨道运动所产生的任何微粒可能会落到下方的加工设备区域中并 可能损坏晶圆。有轨小车(RGV)和自动导向小车(AGV)常被用在半导体制造工厂 中，用于沿着工厂地面在加工设备之间移动容器。有轨小车和自动导向小 车比天车吊运系统更易于维修，而且一般比顶装式OHT系统的成本低。 微粒控制也变简单了 ，因为由有轨小车和自动导向小车产生的微粒始终留 在装载端口的基准平面的下方。但是，有轨小车和自动导向小车占用了对 半导体工厂非常宝贵的地面空间。在半导体工厂中，晶圆物流量可以通过同时用地面输送系统和OHT系统将晶圓输送至加工设备来提高。例如，OHT系统能将FOUP传送至加 工设备，而在相邻的加工设备之间的许多容器的输送由地面输送系统负 责。例如当加工设备要求在加工区内的测量设备上测量每个FOUP的第一 晶圆时，可能就是这种情况。因此，在半导体工厂中，人们需要改善的FOUP输送系统。本专利技术提 供一种FOUP输送系统，它降低了 FOUP输送成本，提高了 FOUP输送精 度，简化了安装和维修，改善了洁净性并且缩短了与传统的FOUP输送系 统相关的延迟时间。
技术实现思路
本专利技术的一个方面是提供一种输送系统，用于在加工设备和传送装置 之间高效移动容器。在一个实施例中，本专利技术提供一种装载端口，它具有 可竖直移动的移动板。装载端口例如直接从传送装置上提升起容器，由此 减少了在输送和设备装载中搬运容器的次数。本专利技术的另一方面是提供一种输送系统，它是OHT系统的补充，并 且起到用于加工区(如成组设备)或整个工厂的主自动化物料搬运系统的 作用。在一个实施例中，本专利技术包括地面传送装置，用于在整个工厂中传 送容器。每个装栽端口包括可竖直移动的支撑板，用于直接为传送装置装 卸容器。在另一个实施例中，支撑板包括用于使支撑板水平移动的载具前 移板组件。传送装置也可以与工厂地面平齐、低于工厂地面或者高于工厂 地面。本专利技术的其它实施例采用有轨小车、自动导向小车和人控小车 (PGV),用于在整个制造工厂中输送容器。本专利技术的又一个方面是提供一种易维修的运输传送系统。OHT系统悬 空于工厂地面上。因此，OHT系统不像地面输送系统那样易于接近。在一 个实施例中，传送装置安装在工厂地面上。维修人员能轻松接近传送装置 以进行维修。在另一个实施例中，装载端口具有用于接近位于工厂地面下 方的传送装置的两级垂直升降机，当升降机处于升起位置时，该装载端口 完全高于工厂地面。在这个紧凑状态下，装载端口可以从加工设备上被取 下，并在传送装置上方被升起。本专利技术的另 一个方面是提供具有安全结构特征的输送系统。在一个实 施例中，本专利技术具有护栏，它将传送装置与工厂的其余设施分隔开。护栏 阻止了工人接触到移动的容器。本专利技术的另 一个实施例是将传送装置包围在隔离管中。隔离管也阻止工人接触到移动的容器，同时可以使容器或物 品与工厂的其余设施隔离，不受相关微粒的影响。地面输送系统(如传送装置、有轨小车和自动导向小车)也消除了容器会从OHT系统落下并砸 伤工人的担忧。本专利技术的另一个方面是提供一种地面运输传送系统，其占地面积与传 统的装载端口和容器地面输送系统(如AGV)的占地面积相似或者更小。 在一个实施例中，包括地面传送装置和装载端口的本专利技术所占用的地面面 积与一般只由传统装载端口占据的地面面积一样大。在另一个实施例中， 包括往复运输小车和装载端口的本专利技术也占用了更少的工厂地面面积。本专利技术的又一个方面是提供一种容器运输传送系统，它改善了洁净性 而又没有使晶圆完整性打折扣。在一个实施例中，容器沿传送装置输送， 该传送装置在每个装载端口的容器前移板组件的下方经过。在另一个实施 例中，往复运输小车沿着工厂地面在每个装载端口的基准平面之下运送容 器。在又一个实施例中，容器由有轨小车或自动导向小车来输送，该有轨 小车或自动导向小车沿工厂地面移动并且在容器前移板组件的下方经过 每个装载端口。由这些输送系统产生的微粒落到工厂地面上，没有污染正 由加工i殳备加工的晶圓。本专利技术的再 一个方面是提供一种运输传送系统，它不需要为了使现有 系统高效工作而彻底改动现有的加工设备、工厂布局或加工软件。在一个 实施例中，装载端口通过BOLTS接口 (SEMI标准E63)或所提出的 BOLTS-light标准紧固在加工设备的前端上。 一般位于容器前移板组件下 方的壳体中的控制器被重新定位在装载端口中。于是，根本不必为了接纳 本专利技术的装载端口而改动加工设备。附图说明图1是本专利技术实施例的透视图。图2A至图2F是图1所示实施例的透视图，进一步表示具有可竖直移 动的FOUP前移板组件的装载端口 。图3是图2A至图2F所示的本专利技术实施例的俯视图，进一步表示传送 装置如何接纳位于最低位置的FOUP前移板组件。图4是根据现有技术的、安装在加工设备上的传统装载端口的平面图。图5是表示根据现有技术的传统装载端口的截面形状的平面图。图6是表示本专利技术实施例的平面图，示出了根据本专利技术的装载端口的 截面形状。图7是图6所示实施例的平面图，示出了在FOUP前移板组件下方属于容器输送系统的空间。图8是本专利技术的另一个实施例的平面图，示出了传送装置的实施例。 图9是本专利技术的又一个实施例的平面图，示出了具有地面传送装置的系统。图10是本专利技术的再一个实施例的平面图，示出了具有埋于工厂地面 中的传送装置的系统。图11是本专利技术的又一个实施例的平面图，示出了地下传送装置。图12是本专利技术的一个实施例的平面图，示出了装载端口的运动范围。图13是本专利技术的另一个实施例的透视图。图14是本专利技术的一个实施例的平面图，示出了图13所示的系统。 图15是本专利技术的一个实施例的主视图，示出了图13所示的系统。 图16是本专利技术的又一个实施例的透视图，示出了与设备隔离开的容 器输送系统。图17是本专利技术的另一个实施例的透视图，示出了高度两级缩减式垂 直驱动装置。图18是本专利技术的又一个实施例的透视图，示出了装载端口的又一个 实施例。图19是图18所示装载端口的透视图。图20是本专利技术的另一个实施例的透视图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将容纳至少一个物品的容器送至加工设备的系统，包括：装载端口，具有：带开口的框架；适于接纳容器的支撑结构；驱动装置，用于使该支撑结构大致竖直地在第一高度和第二高度之间移动；传送装置，用于大致沿容 器输送平面可移动地支撑该容器；其中，当该支撑结构位于该第二高度时，随该传送装置移动的容器不受阻碍地在该支撑结构的上方移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2005-2-24 11/064,8801.一种用于将容纳至少一个物品的容器送至加工设备的系统，包括装载端口，具有带开口的框架；适于接纳容器的支撑结构；驱动装置，用于使该支撑结构大致竖直地在第一高度和第二高度之间移动；传送装置，用于大致沿容器输送平面可移动地支撑该容器；其中，当该支撑结构位于该第二高度时，随该传送装置移动的容器不受阻碍地在该支撑结构的上方...

【专利技术属性】
技术研发人员：AC博挪拉，M卡罗拉克，RG海因，
申请(专利权)人：村田自动化机械有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[]