一种具有回收结构的晶圆片清洗机制造技术

本发明专利技术属于晶圆片清洗领域，具体为一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，利用清洗机构对晶体进行清洗，利用液体回收机构对废液进行回收再利用，利用抓取机构对晶体抓取避免二次污染，减少清洗剂的使用，降低成本，提高效率。提高效率。提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有回收结构的晶圆片清洗机


[0001]本专利技术属于晶圆片清洗领域，具体是涉及一种具有回收结构的晶圆片清洗机。

技术介绍

[0002]硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，抛光后，晶圆片要通过一系列清洗槽的清洗，这一过程是为去除表面颗粒、金属划痕和残留物，一般的清洗机对于清洗剂的使用浪费严重，导致成本增加。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于提供一种具有回收结构的晶圆片清洗机。
[0004]本专利技术所采用的技术方案如下：
[0005]一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，所述下箱体上方设置有所述支撑板，所述支撑板上方设置有所述上壳；所述清洗机构包括散热架、驱动电机、变速箱、旋转盘、定位块、液体防溅盘、收集仓、收集软管、放置盘、步进电机、旋转柱、连接头、支撑臂、喷头，所述底部支架上方设置有所述散热架，所述散热架上方设置有所述驱动电机，所述驱动电机上方设置有所述变速箱，所述变速箱上方设置有所述旋转盘，所述旋转盘上方设置有所述定位块，所述旋转盘外部设置有所述液体防溅盘，所述液体防溅盘下方设置有所述收集仓，所述收集仓下方设置有所述收集软管，所述液体防溅盘一侧设置有所述放置盘，所述液体防溅盘前部设置有所述旋转柱，所述旋转柱下方设置有所述步进电机，所述旋转柱上方设置有所述连接头，所述连接头后部设置有所述支撑臂，所述支撑臂下方设置有所述喷头；所述液体回收机构包括过滤箱、过滤网、排泄阀、第一泵体、第一抽取管道、密闭蒸馏仓、冷凝管、纯净液体储藏箱、第二泵体、第二抽取管道、加热丝，所述底部支架上方设置有所述过滤箱，所述过滤箱内部设置有所述第一泵体和所述过滤网，所述过滤箱一侧设置有所述排泄阀，所述第一泵体上方设置有所述第一抽取管道,所述第一抽取管道一侧设置有所述密闭蒸馏仓，所述密闭蒸馏仓内部设置有所述加热丝，所述密闭蒸馏仓一侧设置有所述冷凝管，所述冷凝管下方设置有所述纯净液体储藏箱，所述纯净液体储藏箱内部设置有所述第二泵体，所述第二泵体上方设
置有所述第二抽取管道。
[0006]优选地：所述抓取机构包括第一伺服电机、第一滚珠丝杆、第一光轴、底座、气推杆、抓取头，所述上壳内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆，所述第一滚珠丝杆一侧设置有所述第一伺服电机，所述第一滚珠丝杆后部设置有所述第一光轴，所述第一光轴和所述第一滚珠丝杆外部设置有所述底座，所述底座下方设置有所述气推杆，所述气推杆下方设置有所述抓取头。
[0007]如此设置，所述第一伺服电机带动所述第一滚珠丝杆旋转。
[0008]优选地：所述抓取机构包括第一伺服电机、第一滚珠丝杆、第一光轴、底座、抓取头、移动座、第二伺服电机、第二滚珠丝杆、第二光轴，所述上壳内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆，所述第一滚珠丝杆一侧设置有所述第一伺服电机，所述第一滚珠丝杆后部设置有所述第一光轴，所述第一光轴和所述第一滚珠丝杆外部设置有所述底座，所述底座一侧设置有所述第二滚珠丝杆，所述第二滚珠丝杆后部设置有所述第二光轴，所述第二滚珠丝杆下方设置有所述第二伺服电机，所述第二滚珠丝杆和所述第二光轴外部设置有所述移动座，所述移动座下方设置有所述抓取头。
[0009]如此设置，所述第一伺服电机带动所述第一滚珠丝杆旋转，所述第二伺服电机带动所述第二滚珠丝杆旋转。
[0010]优选地：所述支撑柱与所述连接板焊接连接，所述底部支架与所述连接板和所述底部支架焊接连接，所述仓门与所述下箱体合页连接，所述把手与所述仓门焊接连接，所述支撑板与所述下箱体和所述上壳焊接连接。
[0011]如此设置，便于组装拆卸。
[0012]优选地：所述散热架与所述底部支架和所述驱动电机螺栓连接，所述驱动电机和所述旋转盘均与所述变速箱齿啮合连接，所述定位块与所述旋转盘焊接连接，所述液体防溅盘、所述收集仓、所述放置盘均与所述支撑板焊接连接，所述收集软管与所述收集仓螺纹连接，所述步进电机与所述支撑板螺栓连接，所述旋转柱与所述步进电机联轴器连接，所述连接头与所述旋转柱焊接连接，所述支撑臂与所述连接头焊接连接，所述连接头与所述第二抽取管道轴承连接；所述喷头与所述支撑臂螺纹连接。
[0013]如此设置，所述驱动电机带动所述旋转盘旋转。
[0014]优选地：所述支撑板与所述收集仓之间设置有圆形孔。
[0015]如此设置，便于液体流至所述收集仓。
[0016]优选地：所述过滤箱与所述底部支架焊接连接，所述过滤网与所述过滤箱螺栓连接，所述排泄阀与所述过滤箱螺纹连接，所述第一泵体与所述第一抽取管道螺纹连接，所述第一抽取管道与所述密闭蒸馏仓焊接连接，所述加热丝与所述密闭蒸馏仓螺钉连接，所述密闭蒸馏仓与所述冷凝管焊接连接，所述纯净液体储藏箱和所述密闭蒸馏仓均与所述连接板焊接连接，所述第二泵体与所述第二抽取管道螺纹连接。
[0017]如此设置，所述加热丝对液体蒸馏提纯。
[0018]优选地：所述第一泵体放置于所述过滤箱内，所述第二泵体放置于所述纯净液体储藏箱内，所述冷凝管为铜管。
[0019]如此设置，易于水蒸气冷凝。
[0020]优选地：所述第一伺服电机与所述上壳螺栓连接，所述第一滚珠丝杆与所述第一
伺服电机联轴器连接，所述第一滚珠丝杆与所述上壳轴承连接，所述第一光轴与所述上壳焊接连接，所述底座与所述第一滚珠丝杆螺纹连接，所述底座与所述第一光轴滑动连接，所述气推杆与所述底座螺栓连接，所述抓取头与所述气推杆螺纹连接。
[0021]如此设置，便于所述第一伺服电机安装拆卸。
[0022]优选地：所述第一滚珠丝杆与所述第一伺服电机联轴器连接，所述第一滚珠丝杆与所述上壳轴承连接，所述第一光轴与所述上壳焊接连接，所述底座与所述第一滚珠丝杆螺纹连接，所述底座与所述第一光轴滑动连接，所述第二滚珠丝杆与所述底座轴承连接，所述第二滚珠丝杆与所述第二伺服电机联轴器连接，所述第二伺服电机与所述底座螺栓连接，所述第二光轴与所述底座焊接连接，所述移动座与所述第二滚珠丝杆螺纹连接，所述移动座与所述第二光轴滑动连接，所述抓取头与所述移动座螺纹连接。
[0023]如此设置，便于所述第一伺服本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：包括机壳(1)、清洗机构(2)、液体回收机构(3)、抓取机构(4)，所述机壳(1)上方设置有所述液体回收机构(3)，所述液体回收机构(3)上方设置有所述清洗机构(2)，所述清洗机构(2)上方设置有所述抓取机构(4)；所述机壳(1)包括支撑柱(101)、连接板(102)、底部支架(103)、下箱体(104)、仓门(105)、把手(106)、支撑板(107)、上壳(108)，所述支撑柱(101)上方设置有所述连接板(102),所述支撑柱(101)一侧设置有所述底部支架(103)，所述底部支架(103)上方设置有所述下箱体(104)，所述下箱体(104)前部设置有所述仓门(105)、所述仓门(105)一侧设置有所述把手(106)，所述下箱体(104)上方设置有所述支撑板(107)，所述支撑板(107)上方设置有所述上壳(108)；所述清洗机构(2)包括散热架(201)、驱动电机(202)、变速箱(203)、旋转盘(204)、定位块(205)、液体防溅盘(206)、收集仓(207)、收集软管(208)、放置盘(209)、步进电机(210)、旋转柱(211)、连接头(212)、支撑臂(213)、喷头(214)，所述底部支架(103)上方设置有所述散热架(201)，所述散热架(201)上方设置有所述驱动电机(202)，所述驱动电机(202)上方设置有所述变速箱(203)，所述变速箱(203)上方设置有所述旋转盘(204)，所述旋转盘(204)上方设置有所述定位块(205)，所述旋转盘(204)外部设置有所述液体防溅盘(206)，所述液体防溅盘(206)下方设置有所述收集仓(207)，所述收集仓(207)下方设置有所述收集软管(208)，所述液体防溅盘(206)一侧设置有所述放置盘(209)，所述液体防溅盘(206)前部设置有所述旋转柱(211)，所述旋转柱(211)下方设置有所述步进电机(210)，所述旋转柱(211)上方设置有所述连接头(212)，所述连接头(212)后部设置有所述支撑臂(213)，所述支撑臂(213)下方设置有所述喷头(214)；所述液体回收机构(3)包括过滤箱(301)、过滤网(302)、排泄阀(303)、第一泵体(304)、第一抽取管道(305)、密闭蒸馏仓(306)、冷凝管(307)、纯净液体储藏箱(308)、第二泵体(309)、第二抽取管道(310)、加热丝(311)，所述底部支架(103)上方设置有所述过滤箱(301)，所述过滤箱(301)内部设置有所述第一泵体(304)和所述过滤网(302)，所述过滤箱(301)一侧设置有所述排泄阀(303)，所述第一泵体(304)上方设置有所述第一抽取管道(305),所述第一抽取管道(305)一侧设置有所述密闭蒸馏仓(306)，所述密闭蒸馏仓(306)内部设置有所述加热丝(311)，所述密闭蒸馏仓(306)一侧设置有所述冷凝管(307)，所述冷凝管(307)下方设置有所述纯净液体储藏箱(308)，所述纯净液体储藏箱(308)内部设置有所述第二泵体(309)，所述第二泵体(309)上方设置有所述第二抽取管道(310)。2.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述抓取机构(4)包括第一伺服电机(401)、第一滚珠丝杆(402)、第一光轴(403)、底座(404)、气推杆(405)、抓取头(406)，所述上壳(108)内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆(402)，所述第一滚珠丝杆(402)一侧设置有所述第一伺服电机(401)，所述第一滚珠丝杆(402)后部设置有所述第一光轴(403)，所述第一光轴(403)和所述第一滚珠丝杆(402)外部设置有所述底座(404)，所述底座(404)下方设置有所述气推杆(405)，所述气推杆(405)下方设置有所述抓取头(406)。3.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述抓取机构(4)包括第一伺服电机(401)、第一滚珠丝杆(402)、第一光轴(403)、底座(404)、抓取头(406)、移动座(407)、第二伺服电机(408)、第二滚珠丝杆(409)、第二光轴(410)，所述上壳
(108)内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆(402)，所述第一滚珠丝杆(402)一侧设置有所述第一伺服电机(401)，所述第一滚珠丝杆(402)后部设置有所述第一光轴(403)，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，童建，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：