集成薄膜太阳能电池及其制造方法、及集成薄膜太阳能电池的透明电极的处理方法及其结构、及具有处理过的透明电极的透明基板技术

技术编号:3178603 阅读:189 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及集成薄膜太阳能电池,尤其涉及最小化制造过程所引起的集成太阳能电池的损耗并可通过低成本工序获得的集成薄膜太阳能电池,以及制造该太阳能电池的方法,用于集成薄膜太阳能电池的透明电极的处理方法,其通过最小化集成薄膜太阳能电池的单元电池之间(绝缘)间隙能够加宽有效区域并减少制造成本,以及透明电极的结构,以及具有透明电极的透明基板。制造集成薄膜太阳能电池的方法包括以下步骤:(a)单独在透明基板上形成透明电极图案;(b)在步骤(a)的基板上形成太阳能电池(半导体)层;(c)通过在太阳能电池(半导体)层上倾斜沉积导电材料形成第一后电极;(d)通过将第一后电极作为掩模蚀刻太阳能电池(半导体)层;和(e)通过在步骤(d)的基板上倾斜沉积金属形成第二后电极以使透明电极和第一后电极电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种制造集成薄膜太阳能电池的方法,包括以下步骤:(a)单独在透明基板上方形成透明的电极图案;(b)在步骤(a)的基板上形成太阳能电池(半导体)层;(c)通过在太阳能电池(半导体)层上倾斜沉积导电材料形成第一后电极;   (d)通过将第一后电极作为掩模蚀刻太阳能电池(半导体)层;和(e)通过在步骤(d)的基板上倾斜沉积导电材料形成第二后电极以使透明电极和第一后电极电连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:林宏树权圣源郭中焕朴相一尹浚宝文建又
申请(专利权)人:韩国科学技术院
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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