【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于曝光装置，特别是有关于将根据DMD(数字微型反射 镜组件，digital micromirror device)等的二次元显示组件的反射光在曝光 区域成像的成像光学系统。
技术介绍
习知使用DMD等的二次元显示组件的曝光装置被提案。 专利文献1揭露具有以将微型反射镜的排列方向对于绘制面中的主 扫描方向倾斜的状态下配置的DMD的曝光装置。 专利文献1日本特开2004-12899号公报
技术实现思路
专利技术所欲解决之问题然而，在专利文献1的装置中的绘制领域为和DMD的微型反射镜 的排列相同的形状。因此，为了提高分辨率，有必要縮小DMD的单元尺 寸(cell size,微型反射镜的大小)，但縮小单元尺寸的话，基于在单元尺 寸乘上单元数(微型反射镜的单一方向的排列数)的值的副扫描方向的带 (band)宽变窄。带宽变窄的话，有必要使曝光次数(带数)变多。曝光次数 多的话，在绘制时产生时间差，时间差恐怕会使绘制线的粗细(不一致) 发生。另一方面，增加单元数的话，可提高分辨率，使带宽变宽，但有 必要换成单元数多的DMD，所以设计自由度不高。又，在专利文献l的 装...
【技术保护点】
一种曝光装置，该曝光装置包括： ＤＭＤ； 成像光学系统，具有投影部，其中上述投影部具有将从在上述ＤＭＤ中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主扫描方向形成一定倾斜角度的第一方向上的第一方向圆筒状镜片、以及在和上述第一方向垂直的第二方向之间形成上述一定倾斜角度的副扫描方向上分割及聚集光的副扫描方向圆筒状镜片群或在上述第二方向上分割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群； 绘制部，在曝光时，由上述ＤＭＤ经由上述成像光学系统、投影像被投影，在上述主扫描方向移动。
【技术特征摘要】
JP 2006-9-15 2006-250244;JP 2006-9-15 2006-2513331. 一种曝光装置，该曝光装置包括 DMD;成像光学系统，具有投影部，其中上述投影部具有将从在上述DMD 中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主 扫描方向形成一定倾斜角度的第一方向上的第一方向圆筒状镜片、以及 在和上述第一方向垂直的第二方向之间形成上述一定倾斜角度的副扫描 方向上分割及聚集光的副扫描方向圆筒状镜片群或在上述第二方向上分 割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群；绘制部，在曝光时，由上述DMD经由上述成像光学系统、投影像 被投影，在上述主扫描方向移动。2. 如权利要求1所述的曝光装置，其中上述主扫描方向为上述中间 投影像的排列方向的一方，上述副扫描方向为上述中间投影像的排列方向的另一方， 上述成像光学系统的投影部具有上述第一方向圆筒状镜片以及上述 副扫描方向圆筒状镜片群。3. 如权利要求2所述的曝光装置，其中上述一定的倾斜角度被设定 为在从构成上述DMD的微型反射镜的开启状态的上述绘制部的绘制面 上的投影像中，通过在上述第一方向被排列的特定列中的上述第一方向 的一方的端部、与上述主扫描方向平行的线，以通过对于上述特定列在 与上述副扫描方向邻接的上述第一方向被排列的列的上述第一方向的另 一方的任一个或另一方的端部附近的位置关系。4. 如权利要求2所述的曝光装置，其中上述副扫描方向圆筒状镜片 群具有的圆筒状镜片，和在构成上述DMD的微型反射镜的上述副扫描方 向上被排列的数目相同的数目以上，在上述副扫描方向上被排列。5. 如权利要求1所述的曝光装置，其中上述第一方向为上述中间投 影像的排列方向的一方，上述第二方向为上述中间投影像的排列方向的另一方，上述成像光学系统的投影部具有上述第一方向圆筒状镜片和上述第 二方向圆筒状镜片群。6. 如权利要求5所述的曝光装置，其中上述一定的倾斜角度被设定为，在从构成上述DMD的微型反射镜的开启状态的上述绘制部的绘制面上的投影像中，通过在上述第一方向被排列的特定列中的上述第一方向 的一方的端...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林义则，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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