抽空装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种抽空装置。其包括机械式升压泵（５）、串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵（３），机械式升压泵（５）具有用于排放低压缩气体的排气口（２７ａ）和（２７ｂ）以及用于排放高压缩气体的排气口（２９），并且，在排气初始阶段，通过操作机械式升压泵，气体通过用于排放高压缩气体的排气口（２９）朝大气侧排放，在排气压力随后达到中度真空阶段，增压泵起动运行，并且气体通过用于排放低压缩气体的排气口（２７ａ）和（２７ｂ）被送至增压泵。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于对箱、腔室以及类似物进行抽空的抽空装置，它设 置有机械式真空升压泵以及串联地设置在机械式真空升压泵下游侧的增压 泵。
技术介绍
为了实现以快速的泵送速度使箱、腔室以及类似物的内部形成真空，传 统地是在具有较低泵送速度的真空泵(增压泵)的上游侧(真空侧)使用用于抽 吸真空的机械式升压泵。就该机械式升压泵而言，通常采用罗茨式真空泵021，如图5所示，它通过旋转一对罗茨式叶片020来执行压缩/排气工作。并 且已知的是，通过采用机械式升压泵，增压泵能实现几倍的最大泵送速度。 然而，即使机械式升压泵将大量的气体输送至位于下游侧，即大气侧的 增压泵，但是在运行过程中大气压附近周围处的泵送速度的提高并不十分明 显，这是由于增压泵有限的排气容量而导致整个装置的有限泵送速度所造成 的。即，在图3中，泵送速度和压力之间的关系示出了，采用增压泵在大气 压下泵送气体开始时，由于增压泵本身有限的排气容量，因此在机械式升压 泵的辅助下，整个装置的泵送速度并没有有效地提高。当真空度变得很高时， 可以获得提高的效果，但是这种提高不能在整个压力范围内获得。另外，例如，日本授权的技术No.JP/7-19554(之后将其称作文献l) 披露了一件申请；其中将类似机械式升压泵的升压泵设置在真空泵的上游 侧；并且通过串联设置的两级真空泵来执行气体的排气。在文献l的技术中，如图6所引证，初级排气管(通道)A和主排气管(通道)B 从腔室的内部引出，并且彼此相连。初级排气管A上设置有串联的停止阀03a 和蝶形阀04,并连接到初级泵Ol。主排气管B上设置有停止阀03bl、 03b2和 排气泵02。根据这个构造，通过关闭停止阀03a和蝶形阀04以及开启停止阀 03bl、 03b2和排气泵02,由初级泵01和排气泵02来完成主排气(抽空)工作。另外，正如两级安装的真空泵的例子那样，如图7中所引证，也披露了一种构造，其中升压泵012连接到多级干式真空泵10的中间级或者真空泵10 的末级，从而达到降低能量消耗的目的(专利文献2: JP2003-155998A)。然而，根据专利文献l,由于当进行初级排气时，仅仅只有初级泵01排 气，因此不能期望泵送速度有所改进。虽然，当执行主排气操作时，初级泵 01和排气泵02以两级的形式排气，但是，在专利文献l中并未披露涉及到排 气泵02的操作控制。因此，该文献的技术留下了这样一个问题，即不仅在从 大气压到低真空的压力范围内以及包括从低真空到高真空的整个压力范围 内如何^R高泵送速度。此外，专利文献2中的升压泵012的目的是为了降低驱动干式真空泵OIO 所必需的能量消耗。在专利文献2中并未提到提高泵送速度。
技术实现思路
就上述
技术介绍
而言，本专利技术的目的是为了实现一种用于对箱、腔室以 及类似物进行抽空的抽空装置，它设置有机械式真空升压泵以及串联地设置 在机械式真空升压泵下游侧的增压泵，从而在从大气压到低真空的压力范围 内提高泵送速度，由此在从大气压到高真空的整个压力范围内提高泵送速 度。为了实现上述目的，本专利技术提出了一种用于对箱、腔室以及类似物进行 抽空的抽空装置，它包括机械式升压泵、串联地设置在机械式升压泵下游侧 的增压泵和用于控制装置运行的控制器；其中机械式升压泵具有用于排放低 压缩气体的排气口，通过该排气口，在升压泵内以部分压缩方式进行压缩的 具有低压缩比的低压缩气体被排放，和用于排放高压缩气体的排气口，通过 该排气口，具有高压缩比的高压缩气体被排放；并且控制器这样控制，从而 在排气初始阶段，通过操作机械式升压泵，该气体通过用于排放高压缩气体 的排气口朝大气侧排放，在排气压力随后达到中度真空阶段，增压泵起动运 行，并且气体通过用于排放低压缩气体的排气口被送至增压泵。根据上述实施例，在排气初始时，通过操作机械式升压泵，该气体通过 用于排放高压缩气体的排气口朝大气侧(外部)排放。以这种方式，箱内大气 压水平的气体以高压缩比被压缩并且直接被排放到外部。由于该气体是在没有影响到增压泵的情况下被排放到外部，因此它能够在不导入具有较高排放 容量的大型增压泵的前提下提高泵送速度，从而确保较高的泵送速度。此外，由于与增压泵的泵送速度相比，升压泵的泵送速度较高，因此， 它能够排放气体，同时在压力为大气压时在初始时维持泵送速度。首先，它 能够在从大气压到低真空的范围内提高泵送速度。当通过机械式升压泵的用于排放高压缩气体的排气口排气而获得中度 真空时，随后中度真空的气体从用于排放低压缩气体的排气口 (或多个排气 口)被送至增压泵，同时增压泵起动。这样，到达某种程度的真空状态气体 从用于排放低压缩气体的排气口(或多个排气口)被送至增压泵。由于机械式 升压泵的增大气压/增加流量的功能，因此，增压泵的泵送速度得以提高并且 能够保持该被提高的泵送速度，由此实现了高真空。因此，使得不仅在从大气压到低真空的范围内而且包括从大气压到高真 空的整个范围内提高泵送速度成为可能。根据本专利技术的另一实施例，优选地是，控制器通过来自计时器的耗用时 间信号来识别中度真空的执行状况。在上面的实施例中，控制器通过这种构造自动地控制增压泵泵送操作， 其中所述构造为，排放气体通过用于排放低压缩气体的排气口 (或多个排气 口)被供给到增压泵，同时驱动所述增压泵。这里，由于该控制并不是基于 来自压力传感器的信号，而是基于来自计时器的耗用时间信号来进行工作 的，因此，将会排除关于压力传感器的故障和/或性能恶化的风险。这样，将 实现高度可靠的控制。根据本专利技术的优选实施例，机械式升压泵是爪式真空泵，其中用于排放 高压缩气体的排气口位于泵壳体的壁面处，壁面处于垂直于泵转子轴的平面 内，同时用于排放高压缩气体的排气口正对压缩空间，该压缩空间处于平行 于包含泵转子旋转轴的平面的平面内。上面的实施例实现了 一种升压泵，该升压泵设置有用于排放高压缩气体 的排气口和用于排放低压缩气体的排气口 ，其中用于排放高压缩气体的排气口设置在泵壳体的壁面处，从而正对压缩空间，所述壁面处于垂直于泵转子 轴的平面内，并且用于排放低压缩气体的排气口处于泵壳体的侧壁表面上， 本专利技术实现了用于对箱、腔室以及类似物进行抽空的抽空装置，它包括 机械式升压泵以及串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵，它通过提高 从大气压到低真空范围内的泵送速度而提高了从大气压到高真空的整个范 围的泵送速度。附图说明现在将参照本专利技术的优选实施例和附图对本专利技术进行更为详细的说明。其中图1示出了本专利技术第 一 实施例的整体构造； 图2示出了图1中的A-A剖视图； 图3示出了泵送速度对真空度的特性；图4示出了时间图，其中(a)示出了机械式升压泵的时间图；(b)示出了增 压泵的时间图；(c)示出了第一开/闭阀的时间图；(d)示出了第二开/闭阀的时 间图；图5示出了罗茨式真空泵的图解； 图6为用于解释传统技术的附图；以及 图7也是用于解释传统技术的附图。具体实施方式下面，将参照附图所示实施例对本专利技术进行详细说明。然而，在这些实 施例中描述的部件的尺寸、材料、形状、相对位置等仅仅是用于解释并不对 专利技术范围构成限制，除非有任何特定的说明。图1示出了本专利技术实施例的整体构造并且图2示出了图1中的A-A剖视图。如图l所示，抽空装置1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抽空装置，用于对箱、腔室以及类似物进行抽空，该抽空装置包括机械式升压泵、串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵和用于控制装置运行的控制器；其中机械式升压泵具有至少一个用于排放低压缩气体的排气口，通过该排气口，在升压泵内以部分压缩方式进行压缩的具有低压缩比的低压缩气体被排放，和用于排放高压缩气体的排气口，通过该排气口，具有高压缩比的高压缩气体被排放；并且其中控制器这样控制，从而在排气初始阶段，通过操作机械式升压泵，该气体通过用于排放高压缩气体的排气口朝大气侧排放，在排气压力随后达到中度真空阶段，增压泵起动运行，并且气体通过用于排放低压缩气体的排气口被送至增压泵。

【技术特征摘要】
JP 2006-9-29 270048/061.一种抽空装置，用于对箱、腔室以及类似物进行抽空，该抽空装置包括机械式升压泵、串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵和用于控制装置运行的控制器；其中机械式升压泵具有至少一个用于排放低压缩气体的排气口，通过该排气口，在升压泵内以部分压缩方式进行压缩的具有低压缩比的低压缩气体被排放，和用于排放高压缩气体的排气口，通过该排气口，具有高压缩比的高压缩气体被排放；并且其中控制器这样控制，从而在排气初始阶段，通过操作...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷川志郎，
申请(专利权)人：阿耐思特岩田株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]