本实用新型专利技术公开了真空工具镀膜的阴极电弧装置，涉及真空工具镀膜领域，本实用新型专利技术中，底板内设置有凹槽、开口和固定板，凹槽内有限位块，限位块一表面设置有螺纹柱，螺纹柱和底板转动配合，开口内有第一齿轮，第一齿轮与开口转动配合，螺纹柱与第一齿轮转动配合，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮一表面设置有连接柱，连接柱贯穿固定板，连接柱与固定板转动配合，连接柱一端设置有把手。本实用新型专利技术通过设置滑轮、限位块、第一齿轮和第二齿轮，解决了传统的阴极电弧装置不能移动的问题，方便了阴极电弧装置的移动和固定。极电弧装置的移动和固定。极电弧装置的移动和固定。
【技术实现步骤摘要】
真空工具镀膜的阴极电弧装置
[0001]本技术涉及真空工具镀膜领域，尤其是真空工具镀膜的阴极电弧装置。
技术介绍
[0002]上世纪80年代推广真空阴极电弧镀TIN，很快席卷全球，90年代掀起了阴极电弧镀膜热，成为硬质保护膜生产主流技术，广泛应用在工具镀、装试镀和特殊功能镀膜领域；
[0003]传统的阴极电弧装置拆装维修不方便，同时传统的阴极电弧装置无法移动，使用起来十分的不方便。
技术实现思路
[0004]解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了真空工具镀膜的阴极电弧装置。
[0006]技术方案
[0007]真空工具镀膜的阴极电弧装置，包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极、底板、第一齿轮、第二齿轮和限位块，所述底板内设置有凹槽、开口和固定板，所述凹槽内有限位块，所述限位块一表面设置有螺纹柱，所述螺纹柱和底板转动配合，所述开口内有第一齿轮，所述第一齿轮与开口转动配合，所述螺纹柱与第一齿轮转动配合，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第二齿轮一表面设置有连接柱，所述连接柱贯穿固定板，所述连接柱与固定板转动配合，所述连接柱一端设置有把手，转动第二齿轮上的把手，带动连接柱转动，从而带动第二齿轮转动，第二齿轮推动第一齿轮转动，第一齿轮再带动螺纹柱转动，当需要固定阴极电弧装置时，向右转动把手，第一齿轮带动螺纹柱在底板内转动下降，带动限位块在凹槽内下降，直至限位块将滑轮卡住，从而固定底板，当底板需要移动时，向左转动把手，第一齿轮带动螺纹柱在底板内转动上升，带动限位块在凹槽内上升。
[0008]进一步地，所述靶材与冷水座连接，所述辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上，所述第一密封O型圈位于法兰板的上方，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，靶材与冷水座连接，便于拆装更换，辅助阳极为了改善被镀制件表面上的电流分布而使用的附加阳极，辅助阳极与靶材绝缘，与设备壳体绝缘，支撑柱支撑辅助阳极，安装后保证辅助阳极与靶材的间隙与绝缘性，冷水座用于冷却靶材温度及第一密封O型圈和第二密封O型圈温度，电流通过接线座和冷水座后通到靶材上面，采用电磁线圈产生的磁场更好的稳定电弧放电，保证靶材的均匀刻蚀，调整引弧极到靶面间距，引弧时引弧极与靶面接触良好。
[0009]进一步地，所述绝缘板的直径大于第一密封O型圈的直径和第二密封O型圈的直径。
[0010]进一步地，所述绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间，所述螺钉绝缘
套套在第一内六角螺钉上，所述冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上，冷水座与法兰板固定拧紧，密封处无气漏。
[0011]进一步地，所述接线座的一端位于冷水座上，所述螺母与第二内六角螺钉连接。
[0012]进一步地，所述水嘴接头位于电磁线圈的一侧，所述电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定。
[0013]进一步地，所述电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方，所述防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定，所述引弧极压紧在气动引弧机构上，所述引弧极位于靶材的下方。
[0014]进一步地，所述底板下表面设置有若干滑轮，所述滑轮为万向轮结构。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]1.本技术中设置滑轮、限位块、第一齿轮和第二齿轮，向右转动把手，第一齿轮带动螺纹柱在底板内转动下降，带动限位块在凹槽内下降，直至限位块将滑轮卡住，从而固定底板，当底板需要移动时，向左转动把手，第一齿轮带动螺纹柱在底板内转动上升，带动限位块在凹槽内上升，方便了装置主体的移动和固定。
[0017]2.本技术中设置支撑柱、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈和冷水座，靶材与冷水座连接，便于拆装更换。
附图说明
[0018]图1为真空工具镀膜的阴极电弧装置的结构示意图；
[0019]图2为图1中A处的局部放大图；
[0020]图3为真空工具镀膜的阴极电弧装置的仰视图；
[0021]图4为图3中B
‑
B的剖面视图；
[0022]图5为阴极电弧装置内部的结构示意图。
[0023]图中：1、靶材；2、辅助阳极；3、支撑柱；4、法兰板；5、第一密封O型圈；6、绝缘板；7、第二密封O型圈；8、冷水座；9、螺钉绝缘套；10、第一内六角螺钉；11、接线座；12、螺母；13、第二内六角螺钉；14、水嘴接头；15、第一十字盘头螺钉；16、电磁线圈；17、电磁线圈骨架；18、防护罩；19、第二十字盘头螺钉；20、气动引弧机构；21、引弧极；22、底板；23、第一齿轮；24、第二齿轮；25、限位块；2201、凹槽；2202、开口；2203、固定板；2204、滑轮；2401、连接柱；2402、把手；2501、螺纹柱。
具体实施方式
[0024]下面详细描述本技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述
中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.真空工具镀膜的阴极电弧装置，包括靶材(1)、辅助阳极(2)、支撑柱(3)、法兰板(4)、第一密封O型圈(5)、绝缘板(6)、第二密封O型圈(7)、冷水座(8)、螺钉绝缘套(9)、第一内六角螺钉(10)、接线座(11)、螺母(12)、第二内六角螺钉(13)、水嘴接头(14)、第一十字盘头螺钉(15)、电磁线圈(16)、电磁线圈骨架(17)、防护罩(18)、第二十字盘头螺钉(19)、气动引弧机构(20)、引弧极(21)、底板(22)、第一齿轮(23)、第二齿轮(24)和限位块(25)，其特征在于，所述底板(22)内设置有凹槽(2201)、开口(2202)和固定板(2203)，所述凹槽(2201)内有限位块(25)，所述限位块(25)一表面设置有螺纹柱(2501)，所述螺纹柱(2501)和底板(22)转动配合，所述开口(2202)内有第一齿轮(23)，所述第一齿轮(23)与开口(2202)转动配合，所述螺纹柱(2501)与第一齿轮(23)转动配合，所述第一齿轮(23)与第二齿轮(24)啮合，所述第二齿轮(24)一表面设置有连接柱(2401)，所述连接柱(2401)贯穿固定板(2203)，所述连接柱(2401)与固定板(2203)转动配合，所述连接柱(2401)一端设置有把手(2402)。2.根据权利要求1所述的真空工具镀膜的阴极电弧装置，其特征在于，所述靶材(1)与冷水座(8)连接，所述辅助阳极(2)通过支撑柱(3)固定在法...
【专利技术属性】
技术研发人员：王叔晖，沈平，孟庆学，
申请(专利权)人：法德浙江机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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