组合磁场与内衬锥形管、直管和多孔挡板复合的过滤装置制造方法及图纸

组合磁场与锥形管、直管和多孔挡板复合的过滤装置，属于表面技术领域，本发明专利技术为解决大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明专利技术的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压锥形管与直管组合装置及电源、活动线圈装置及电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积：连接装置，启动系统，待真空室内的真空度小于10

Filtering device with combined magnetic field and lining conical pipe, straight pipe and porous baffle

【技术实现步骤摘要】
Sci, 2007, 35(4): 992
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999.）发现电弧离子镀等离子体通过磁过滤装置后保持高的传输效率和消除大颗粒非常难以兼顾，严重影响着该技术在优质薄膜沉积中的应用。另外在基体上采用偏压的电场抑制方法，当基体上施加负偏压时，电场将对带负电的大颗粒产生排斥作用，进而减少薄膜表面大颗粒缺陷的产生。德国学者Olbrich等人（Olbrich W, Fessmann J, Kampschulte G, Ebberink J. Improved control of TiN coating properties using cathodic arc evaporation with a pulsed bias [J]. Surf Coat Tech, 1991, 49(1
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3): 258
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262.和Fessmann J, Olbrich W, Kampschulte G, Ebberink J. Cathodic arc deposition of TiN and Zr(C, N) at low substrate temper本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.组合磁场与内衬锥形管、直管和多孔挡板复合的过滤装置，其特征在于，该装置包括偏压电源（1）、弧电源（2）、电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）、多级磁场电源（5）、内衬偏压锥形管、直管与多孔挡板组合装置（6）、内衬偏压电源（7）、活动线圈装置（8）、活动线圈装置电源（9）、变阻器装置（10、）样品台（11）、偏压电源波形示波器（12）和真空室（13）；该装置中：待处理基体工件置于真空室（13）内的样品台（11）上，多级磁场装置（4）、内衬偏压锥形管、直管与多孔挡板组合装置（6）、活动线圈装置（8）和真空室（13）之间相互绝缘，工件放置在样品台（11），样品台（11）接偏压电源（1）的负极输出端，电弧离子镀靶源（3）安装在真空室（13）上，接弧电源（2）的负极输出端，多级磁场装置（4）的各级磁场接多级磁场电源（5）的各个输出端，内衬偏压锥形管、直管与多孔挡板组合装置（6）接内衬偏压电源（7）的正极输出端，活动线圈装置（8）通过法兰口上的正负极输入端连接活动线圈装置电源（9），变阻器装置（10）与活动线圈装置（8）串联，接入与活动线圈装置电源（9）的回路中；薄膜沉积：多级磁场装置（4）采用表面绝缘的紫铜线，依据通过电流和磁场强度确定线的直径和匝数，多级磁场电源（5）向各级磁场分别独立供电，实现各级磁场的独立可调，装置结构确定后，通过多级磁场电源（5）的输出电流来调节多级磁场装置（4）输出的各级磁场方向和强度；内衬偏压锥形管、直管与多孔挡板组合装置（6）配合多级磁场装置（4）设计2级、3级或4级多种分级结构和进出口布局，各级锥形管和直管或锥形管之间通过无磁性的铆钉连接固定，多孔挡板的外径与锥形管和直管组合装置的内径相互配合通过无磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏永强，王好平，张新国，侯军兴，刘源，蒋志强，
申请(专利权)人：郑州航空工业管理学院，
类型：新型
国别省市：