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组合磁场与锥形管、直管和多孔挡板复合的过滤装置，属于表面技术领域，本发明为解决大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压锥形管与直管组合装置及电源、活动线...
该专利属于郑州航空工业管理学院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州航空工业管理学院授权不得商用。

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