自动真空管道清洗机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动真空管道清洗机，包括机箱、钢索和刷头，机箱的外侧安装有控制屏，机箱的内部安装有夹紧装置，夹紧装置用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索，夹紧装置的一侧设有推动夹紧装置夹紧钢索的第一推送装置，钢索的端部伸出机箱与刷头固定连接，机箱的内部通过安装板固定有驱动夹紧装置转动的电机，机箱的内腔底部设有驱动夹紧装置和第一推送装置来回运动的第二推送装置。本方案通过第一推送装置驱动夹紧装置将钢索夹紧，通过电机驱动钢索旋转进而带动刷头旋转，通过第二推送装置带动刷头来回运动清理污垢，对真空管道进行全自动清洁保养将结垢物清除，可以有效降低人力消耗与组装风险，且可以防止有害气体外泄。且可以防止有害气体外泄。且可以防止有害气体外泄。

【技术实现步骤摘要】
自动真空管道清洗机


[0001]本技术涉及真空管道清理
，尤其涉及一种用于自动清理的真空管道清洗机。

技术介绍

[0002]芯片制程真空管道系统是由真空泵、芯片雕刻机、PLC过程控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、气体洗涤塔成等组成的成套真空系统。芯片制程时须添加各类所需化学气体，制程后段产生的有害尾气，借由该真空系统抽取至气体洗涤塔进行管理与处理废气。
[0003]真空管路所输送的酸气、硷气等物质,容易与管路表面层的微量元素如钙、镁、硅、铝、界面活性剂及有机物形成螯合，并持续附着于管路表面，产生碳酸系盐类结晶及有机化盐类金属等物质，使管道结垢、堵塞管道，造成压力不足，故须定期拆除保养。
[0004]真空管道现有安装技术为分段采卡箍，辅以高密度特氟隆垫片结合管道。现在的清洁方式为人工分段拆除清洁后组装还原，这种方式的工作效率低，更增加人为安装疏失导致有害气体外泄之风险。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种自动真空管道清洗机，以解决上述
技术介绍
中遇到的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0007]一种自动真空管道清洗机，包括机箱、钢索和刷头，所述机箱的外侧安装有控制屏，所述机箱的内部安装有夹紧装置，所述夹紧装置用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索，所述夹紧装置的一侧设有推动所述夹紧装置夹紧钢索的第一推送装置，所述钢索的端部伸出所述机箱与刷头固定连接，所述机箱的内部通过安装板固定有驱动所述夹紧装置转动的电机，所述机箱的内腔底部设有驱动所述夹紧装置和第一推送装置来回运动的第二推送装置。
[0008]上述方案中，所述安装板在机箱内竖直设置，所述夹紧装置安装在安装板上，所述夹紧装置包括连接板、转盘和定位盘，所述定位盘安装在安装板上，所述定位盘与电机传动连接，所述连接板与第一推送装置传动连接，所述转盘通过轴承座与连接板转动连接，所述转盘远离所述连接板的一侧铰接有夹持块，所述夹持块的夹爪通过第一推送装置的推送运动伸入所述定位盘的夹持部将钢索夹紧。
[0009]上述方案中，所述定位盘的内部转动连接有驱动块，所述驱动块的两侧开设有夹持部，夹持部内部通过压缩弹簧安装有用于夹紧钢索的顶头，所述夹持块的夹爪端部与顶头活动连接。
[0010]上述方案中，所述机箱的底部设有底板，所述第一推送装置安装在底板的顶部，所述安装板竖直安装在底板的端部，所述第二推送装置安装在底板的底部并与所述底板传动连接。
[0011]上述方案中，所述第二推送装置包括盒体、推缸和滑块，所述盒体安装在机箱的内腔底部，所述盒体的内部安装有推杆，所述推杆的端部与滑块的底部固定连接，所述推缸安装在盒体的外侧，所述推缸与推杆传动连接，所述盒体的两侧设有滑轨，所述滑块通过滑轨与盒体滑动连接。
[0012]进一步的，所述第一推送装置与第二推送装置结构相同。
[0013]上述方案中，所述控制屏安装在机箱的顶部，控制屏的旁边设有急停按钮，所述机箱的顶部远离钢索输送端的一侧安装有推手，所述机箱的底部四端设有万向轮。
[0014]上述方案中，所述机箱外侧在钢索输送处设有导向套，所述机箱的内侧设有钢索收纳区，机箱外侧在钢索输送处顶部安装有皮带保护罩，所述皮带保护罩内部安装有皮带，所述电机通过皮带与夹紧装置传动连接。
[0015]上述方案中，所述刷头为圆块状结构，所述刷头的正面设有粉碎污垢的顶尖，所述刷头的轴心处开设有与钢索固定连接的通孔。
[0016]进一步的，所述刷头的背面设有半圆形的外罩，所述外罩采用尼龙制成，所述外罩靠近所述刷头的外周固定有毛刷。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：在将钢索2与刷头7固定后，通过第一推送装置驱动夹紧装置将钢索夹紧，通过电机驱动钢索旋转进而带动刷头旋转，通过第二推送装置带动刷头来回运动清理污垢。因此通过本自动真空管道清洗机进行全自动清洁保养将结垢物清除，可以有效降低人力消耗与组装风险，且可以防止有害气体外泄。
附图说明
[0018]图1为本技术外部结构示意图；
[0019]图2为图1另一视角的结构示意图；
[0020]图3为本技术中机箱内部结构示意图；
[0021]图4为图5另一视角的结构示意图；
[0022]图5为本技术中第一推送装置的结构示意图；
[0023]图6为本技术中第二推送装置的结构示意图；
[0024]图7为本技术中夹紧装置的结构示意图；
[0025]图8为本技术中夹紧装置的平面半剖结构示意图；
[0026]图9为本技术中刷头的结构示意图；
[0027]图中标号：1
‑
机箱；11
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控制屏；12
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急停按钮；13
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平躺状态触摸屏；14
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推手；15
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万向轮；16
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导向套；17
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皮带保护罩；18
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钢索收纳区；2
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钢索；3
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电机；31
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安装板；32
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皮带；4
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夹紧装置；41
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连接板；42
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转盘；43
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定位盘；44
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夹持块；45
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驱动块；46
‑
顶头；47
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压缩弹簧；5
‑
第一推送装置；51
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底板；6
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第二推送装置；61
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盒体；62
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推缸；63
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推杆；64
‑
滑块；65
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滑轨；7
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刷头；71
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顶尖；72
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外罩；73
‑
毛刷。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本技术的技术方案做进一步的详细说明。
[0029]如图1至图4所示，一种自动真空管道清洗机，包括机箱1、钢索2和刷头7，机箱1是用于安装各个运动装置的外壳，来驱动钢索2在真空管道中抽送和旋转，对污垢进行清理。
机箱1的外侧安装有控制屏11，控制屏11用于连接内部的各个运动装置，并驱动控制各个运动装置对钢索2的运动效果，可对运动参数进行设定和调整。控制屏11安装在机箱1的顶部，控制屏11的旁边设有急停按钮12，必要时紧急停止。在机箱1的顶部远离钢索2输送端的一侧安装有推手14，机箱1的底部四端设有万向轮15。
[0030]机箱1外侧在钢索2输送处设有导向套16，通过导向套16并配合其他减震组件与待清洗的真空管道相连接，为钢索2进行导向输送到需要清理的真空管道内，并且保护钢索2在旋转或抽拉过程中正常运作，不会造成机箱1输送口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动真空管道清洗机，其特征在于：包括机箱(1)、钢索(2)和刷头(7)，所述机箱(1)的外侧安装有控制屏(11)，所述机箱(1)的内部安装有夹紧装置(4)，所述夹紧装置(4)用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索(2)，所述夹紧装置(4)的一侧设有推动所述夹紧装置(4)夹紧钢索(2)的第一推送装置(5)，所述钢索(2)的端部伸出所述机箱(1)与刷头(7)固定连接，所述机箱(1)的内部通过安装板(31)固定有驱动所述夹紧装置(4)转动的电机(3)，所述机箱(1)的内腔底部设有驱动所述夹紧装置(4)和第一推送装置(5)来回运动的第二推送装置(6)。2.根据权利要求1所述的自动真空管道清洗机，其特征在于：所述安装板(31)在机箱(1)内竖直设置，所述夹紧装置(4)安装在安装板(31)上，所述夹紧装置(4)包括连接板(41)、转盘(42)和定位盘(43)，所述定位盘(43)安装在安装板(31)上，所述定位盘(43)与电机(3)传动连接，所述连接板(41)与第一推送装置(5)传动连接，所述转盘(42)通过轴承座与连接板(41)转动连接，所述转盘(42)远离所述连接板(41)的一侧铰接有夹持块(44)，所述夹持块(44)的夹爪通过第一推送装置(5)的推送运动伸入所述定位盘(43)的夹持部将钢索(2)夹紧。3.根据权利要求2所述的自动真空管道清洗机，其特征在于：所述定位盘(43)的内部转动连接有驱动块(45)，所述驱动块(45)的两侧开设有夹持部，夹持部内部通过压缩弹簧(47)安装有用于夹紧钢索(2)的顶头(46)，所述夹持块(44)的夹爪端部与顶头(46)活动连接。4.根据权利要求1所述的自动真空管道清洗机，其特征在于：所述机箱(1)的底部设有底板(51)，所述第一推送装置(5)安装在底板(51)的顶部，所述安装板(31)竖直安装在底板(51)的端部，所述第二推送装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张清淦，谢仪明，植军章，曾冠达，
申请(专利权)人：台积电南京有限公司，
类型：新型
国别省市：