根据包含位于阳极（２３）和阴极（５０）之间的发光层（６０）的有机电致发光装置的制造方法，电子传输层形成材料在液相过程中被引入以形成电子传输层。由指定成分如碱金属、碱土金属及稀土金属的卤化物（如ＬｉＦ）或氧化物构成的第一种材料被引入有机库层（２２１）的开口（２２１ａ）中从而在蓝光发光层上形成电子传输层（６５Ｂ）来实现蓝光的发射；由有机金属络合物（如β－二酮络合物）构成的，一般被表示为具有一中心原子Ｍ（如Ｃａ）和一配体Ａ（如乙酰丙酮（ａｃａｃ））的化学分子式ＭＡ↓［ｎ］的第二种材料被引入有机库层的开口内从而在红光及绿光发光层上形成电子传输层（６５ＲＧ）以实现红光和绿光的发射。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有才几电致发光(EL)装置的制造方法，及^f吏用该有 机电致发光装置的电子装置。本申请要求日本专利申请第2003-15102号及曰本专利申请第 2003-308968号的优先权，其内容结合于此作为参考。
技术介绍
总体来i兌，适用于有机电致发光装置的有才几电致发光(EL)元 件具有这样的结构，在其中如叠层排列在阳4及和阴4及(或者正才及和 负极)之间的薄膜般设置有机发光材料，其中由两电极注入的电子 和空穴在发光层再次结合，因此引起能量激发并发光。该有才几电致 发光装置在电才及与发光层之间具有相对高的电荷注入势垒。因此， 他们通常使用包括作为阳极緩冲层的空穴传输层(或空穴注入层)及作为阴;f及緩冲层的电子传丰lr层(或电子注入层)的层压结构。在这种层压结构中，电子传输层由氟化锂(LiF)或氧化4美(MgO) 具体构成，因此有可能形成一种低电压驱动的有才几电致发光装置。 例如在Applied Physics Letters, Vol.70(1997)的152页上所4皮露的。目前，用于电致发光装置的有机发光材料主要分为两组，也即， 一个低分子组和一个高分子(或聚合物)组。低分子有机发光材料 通常用于如真空蒸镀的气相过程以形成之后用掩力莫板形成图案的 薄膜。例如在Applied Physics Letters, Vol.51(1997)的34页所4皮露的。/人而可以在》余J欠方 法(或涂层法)中形成后来采用如喷墨法的液滴释》文方法形成图案的薄膜。例如在Applied Physics Letters, Vol.71(1997)的34页所^披露 的。采用所述液滴释放的方法形成的一种有机电致发光装置的制造 方法是已知的，例如日本专利申请公开第1998-12377号中所4皮露的。在涂敷方法中用来形成薄膜的材料是才艮据作为阳极緩沖层的 空穴传输层进行开发的，从而可以在一气相过程中形成薄力莫。这在 Nature Vol.357(1992)的477页的文章中有所4皮露。所述真空蒸镀法通常用于形成作为阴^L緩冲层的电子传输层 的薄膜。但是，这可能会由于能量消耗和材料供给而引起制造成本 的提高。另外，这有可能引起干扰扩大有机电致发光装置衬底尺寸 的不需要因素，其将被实际采用并结合到未来的显示器中。当有机 电致发光装置通过所述气相过程形成时，有才几物质基础层或一t底必 须暴露在高温环境下；因此，在指定材料具有4艮差的热阻的情况下， 可能发生很多问题如发光特性的变差和村底变形。当电子传输层在所述液相过程中形成于发光层上时，作为基础 层的发光层必须能够被某些实际所使用的溶剂溶解。有很多在所述液相过程中形成阴极緩沖层(作为电子传输层) 的实例。例如，日本专利申请公开第2000-252076披露了该种方法，中每一个重复单元包括一至五烷基或烷氧基成分)的聚合物形成 层。另夕卜，日本专利申请公开第2000-252079中披露了通过湿法采 用可以溶解或分散四氢铝酸盐的溶液形成电子注入层的方法。在液相过程中形成电子传输层的传统例子没有能够纟皮露在液 相过程中采用可以在传统气相过程中产生好结果的石咸金属和石威土 金属形成电子传输层以及稀土金属由化物(如LiF)和氧化物。
技术实现思路
本专利技术的 一个目的是提供一种有机电致发光装置的制造方法， 其中指定层是在液相过程中采用在传统气相过程中能产生好结果的碱金属和碱土金属以及稀土金属卣化物(如LiF)和氧化物形成的。本专利技术的另 一个目的是4是供一种使用前述的有才几电致发光装 置的电子装置。一种有机电致发光装置基本包括-没置在4皮此相对i殳置的一阳 极和一阴极之间的发光层。根据本专利技术的制造方法，电子传输层形 成材料在液相过程被《1入从而形成在设置于发光层与阴极之间的 电子传输层。特别是，两种电子传输层形成材料通过液滴释放的方 法被引入，通过这种方法相应的液滴可以有选择的^皮定位和释放于 设置于像素电极或其以上的有才几库层开口内的指定^f立置。也即，由 乂人石咸金属、石咸土金属和稀土金属的卣4匕物(如LiF)和氧化物中选 出的指定成分构成的第 一种材料被引入有机库层的开口从而在蓝 光发光层上形成电子传输层实现蓝光发射；由有机金属络合物(如 P-二酮络合物)构成的一般被表示为化学式MAn (其中M代表一 中心原子(Ca ); A 4戈表一酉己体(i。乙酰丙酮(acac );以及n々< 表中心原子M的原子价)的第二种材料被《I入有机库层的开口从而 在红光和绿光的发光层上形成电子传输层实现红光和绿光的发射。一种有机电致发光装置，包括设置在;f皮此相对i殳置的一阳核^ 与 一 阴极之间的多个发光层；以及通过在一液相过程中在所述发光 层与所述阴极之间引入至少 一种电子传丰命层形成材#牛而在所述多 个发光层上形成的多个电子传输层，其中，所述电子传输层形成材 料由石威金属、石威土金属及稀土金属的囟化物或氧化物中选出的一种指定成分构成，乂人而所述电子传输层形成材剩波引入有才几库层的开 口从而在所述发光层上形成所述电子传输层实现蓝光发射。前述有^L电致发光装置的制造方法包^^艮多步骤；具体而言， 一多晶硅层通过一表面保护层在衬底上形成并且通过形成图案形 成被一栅极绝缘层覆盖的硅层，并且在其上形成源极区和漏极区， 同时栅极绝缘层的全部表面被一导电层所覆盖；栅电极和阴极电源 线一起通过图案形成；离子注入通过采用掩膜来将杂质搀入所述硅 层；所述衬底的全部表面被第一绝缘夹层所覆盖，通过光刻对其形 成图案从而在指定位置形成对应于源电极和漏电极的接触孔；所述 第一绝缘夹层被一导电层所覆盖，之后会使用掩膜对其形成图案以 形成源电极和漏电极；所述第一绝缘夹层被一具有通过刻蚀形成的 与漏电极相对应的接触孔的第二绝缘夹层所覆盖；所述的衬底的全 部表面被一透明的导电层所覆盖，之后对其形成图案以形成Y象素电 极和虚拟图案；所述Y象素电才及和虚拟图案^皮一层亲液控制层所覆 盖；通过在所述亲液控制层的指定位置进行光刻或刻蚀形成有才几库 层，并且之后对其进行等离子处理；通过进行液滴释放、干燥和加 热形成空穴传4lr层；通过在所述有才几库层开口内部进行液滴释方文、 干燥和加热形成发光层；通过在所述有机库层开口内部进行液滴释 方文、干燥和加热形成电子传输层；通过采用铝进行蒸镀或溅射形成 阴极，且形成一封装衬底从而封装在所述衬底上的元件和成分；并 且所述封装衬底与所述衬底之间的空间最终净皮一位于所述惰性气 体环境中的如热》更化树脂和紫外硬化树脂的封装树脂所封装。附图说明本专利技术的这些和其〗也目的、方面及实施方式4寻在以下结合附图 进4亍详细介绍，其中图1是显示了才艮据本专利技术 一个优选实施方式的 一有才几电致发光 装置布线结构的电路图；图2是显示了该有机电致发光装置的线3各图及结构的平面图； 图3是沿图2中线A-B的横截面图； 图4是沿图2中线C-D的一黄截面图；图5为图3中剖面结构主要部分的力文大图；图6A为根据本专利技术优选实施方式的有机电致发光装置制造方 法第 一步的横截面图，其中 一多晶硅层通过一表面保护层形成于衬 底之上；图6B为该制造方法第二步的横截面图，其中对所述多晶硅层 形成图案以形成一#皮4册才及绝缘层所覆盖的硅层；图6C本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种制造有机电致发光装置的方法，该方法包括以下步骤：形成第一阳极；形成第二阳极；形成第三阳极；在第一阳极上形成蓝光发光层；在第二阳极上形成绿光发光层；在第三阳极上形成红光发光层；在蓝光发光层上引入第一液相材料，所述第一液相材料包含由碱金属、碱土金属及稀土金属卤化物或氧化物中选出的至少一种成分；以及在绿光发光层上引入第二液相材料，所述第二液相材料包含至少一种第一有机金属络合物或第一有机化合物；以及在红光发光层上引入第三液相材料，所述第三液相材料包含至少一种第二有机金属络合物或第二有机化合物。
【技术特征摘要】
JP 2003-1-23 2003-015102;JP 2003-9-1 2003-3089681.一种制造有机电致发光装置的方法，该方法包括以下步骤形成第一阳极；形成第二阳极；形成第三阳极；在第一阳极上形成蓝光发光层；在第二阳极上形成绿光发光层；在第三阳极上形成红光发光层；在蓝光发光层上引入第一液相材料，所述第一液相材料包含由碱金属、碱土金属及稀土金属卤化物或氧化物中选出的至少一种成分；以及在绿光发光层上引入第二液相材料，所述第二液相材料包含至少一种第一有机金属络合物或第一有机化合物；以及在红光发光层上引入第三液相材料，所述第三液相材料包含至少一种第二有机金属络合物或第二有机化合物。2. 根据权利要求1所述的制造有机电致发光装置的方法，其中， 所述第一液相材料是一种可以分散LiF微粒的分散溶液。3. 根据权利要求1所述的制造有机电致发光装置的方法，其中， 所述第一和第二有才几金属络合物中的至少一种为(3-二酮络合物。4. 根据权利要求1所述的制造有机电致发光装置的方法，其中， 所述第 一 液相才才泮牛通过液滴释》文的方法引入。5. 根据权利要求1所述的制造有机电致发光装置的方法，其中， 所述第一液相材料包括水溶液。6. 根据权利要求5所述的制造有机电致发光...
【专利技术属性】
技术研发人员：高岛猛，武井周一，森井克行，保刈宏文，牧浦理惠，关俊一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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