一种HVPE自洁式过滤器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种HVPE自洁式过滤器，包括：腔体（1），所述腔体顶部设有盖板（2），所述腔体底部设有底板（3），所述腔体侧壁下方开设有尾气进口（4），所述腔体侧壁上方开设有排气管道（5），所述腔体中部安置有纵截面上呈倒几字型的过滤芯（6），所述盖板上插入有伸入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道（7）。本实用新型专利技术的有益效果是利用N2，在过滤网的内侧往外侧吹扫，气流将附着在滤网外侧的NH4Cl粉末吹落，因为重力的作用，NH4Cl粉末将落入过滤器底部的存废腔内，这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，更换过滤网即可使滤网恢复至可使用状态，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率。有效提升了设备稼动率。有效提升了设备稼动率。

【技术实现步骤摘要】
一种HVPE自洁式过滤器


[0001]本技术涉及涉及使用氢化物外延(HydrideVaporPhaseEpitaxy，简称HVPE)生 长CaN薄膜领域，特别涉及一种HVPE过滤器。

技术介绍

[0002]HVPE生长氮化物的主要原理是：以金属镓作为III族镓源，氨气(NH3)作为V族氮 源，氯化氢(HCl)作为反应气体并在载气(氢气或是氮气)的携带下，通过镓舟，与其中的金属镓发生化学反应，生成氯化镓(GaCl)，在通过载气(氢气或是氮气)的携带下在衬底上方与NH3反应生成GaN，并在衬底上沉积，主要的化学反应如下：
[0003]2HCl(g)+2Ga(l)＝2GaCl(g)+H2(g)
[0004]GaCl(g)+NH3(g)＝GaN(S)+HCl(g)+H2(g)
[0005]副反应：
[0006]HCl(g)+NH3(g)=NH4Cl
[0007]氢化物气相外延设备为化合物生长工艺设备，主要用于在高温环境下通过如H2、HCl等氢化物气体，使衬底表面外延生长一层如GaAs、GaN等的厚膜或晶体。副反应产生大量的NH4Cl粉末从排气口排出，并堆积在过滤器的滤网上，如不及时清理，将会导致机台内部压力增加，从而影响HVPE晶圆片生长的质量，甚至对机器本身及操作人员的安全产生危害；目前处理的办法是，设备每天更换过滤芯，这样影响了HVPE生产的产能，降低了HVPE的稼动率，而且频繁拆装过滤器会导致密封圈，螺丝等耗材更换速度，增加了设备的运行成本。
[0008]中国技术专利公开号CN205055478U公开了一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，该冷凝过滤器的壳体上配有进气管路和出气管路，上盖上配有导流板和滤芯上密封法兰，滤芯下密封法兰固定在出气管路上，水套上配有冷却水入口和冷却水出口；壳体内设有滤芯，滤芯位于滤芯上密封法兰和滤芯下密封法兰之间；水套位于壳体的外侧，导流板位于滤芯的外侧。该过滤器利用水冷原理对氯化铵气体冷却，由于水套与滤芯之间距离太近，不能保证氯化铵气体充分冷却，这就造成氯化铵气体进入真空干泵内，缩短真空干泵寿命，氯化铵气体甚至会排到大气中，污染环境，另外即使经过冷却的氯化铵颗粒会附着在滤芯表面，需要频繁清洗滤芯。

技术实现思路

[0009]本技术要解决的技术问题是现有的HVPE过滤器过滤模式会造成氯化铵颗粒堆积附着在过滤器的滤网上，每天更换过滤芯影响了HVPE生产的产能，降低了HVPE的稼动率，增加了设备的运行成本，为此提供一种可以最大程度降低氯化铵颗粒附着滤网的HVPE自洁式过滤器。
[0010]本技术的技术方案是：一种HVPE自洁式过滤器,包括：腔体，所述腔体顶部设有盖板，所述腔体底部设有底板，所述腔体侧壁下方开设有尾气进口，所述腔体侧壁上方开设有排气管道，所述腔体中部安置有纵截面上呈倒几字型的过滤芯，所述盖板上插入有伸
入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道。
[0011]上述方案中所述过滤芯通过支架与腔体侧壁固接。
[0012]上述方案的改进是所述氮气管道上设有阀。
[0013]上述方案的进一步改进是所述腔体侧壁下方设有凸台，所述凸台与底板构成存废腔。
[0014]上述方案的更进一步改进是所述氮气管道位于过滤芯的倒几字型开口内的部分沿长度方向均布有喷嘴。
[0015]上述方案中所述过滤芯有两个，两个过滤芯之间通过支架固接。
[0016]本技术的有益效果是利用N2，在过滤网的内侧往外侧吹扫，气流将附着在滤网外侧的NH4Cl粉末吹落，因为重力的作用，NH4Cl粉末将落入过滤器底部的存废腔内，这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，更换过滤网即可使滤网恢复至可使用状态，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率。而且所用装置的结构简单消耗件少，有效地降低生产成本。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例1示意图；
[0018]图2是本技术实施例2示意图；
[0019]图中，1、腔体，2、盖板，3、底板，4、尾气进口，5、排气管道，6、过滤芯，7、氮气管道，8、支架，9、阀，10、存废腔。
具体实施方式
[0020]下面结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0021]本技术包括：腔体1，所述腔体顶部设有盖板2，所述腔体底部设有底板3，所述腔体侧壁下方开设有尾气进口4，所述腔体侧壁上方开设有排气管道5，所述腔体中部安置有纵截面上呈倒几字型的过滤芯6，所述盖板上插入有伸入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道7。
[0022]进气管道位于过滤器下段，即HVPE尾气进气口，内部会有大量的NH4Cl粉末。支架用于给过滤芯定位。
[0023]所述排气管道位于过滤器上段，为经过过滤的HVPE废气，内部无NH4Cl粉末，可直接排至厂务废气处理装置内，排气管管径小于或等于进气管道管径。
[0024]所述过滤芯用于过滤HVPE废气内的NH4Cl粉末，过滤芯的过滤组件是过滤网。
[0025]实施例1：如图1所示，一种HVPE自洁式过滤器,包括：腔体1，所述腔体顶部设有盖板2，所述腔体底部设有底板3，所述腔体侧壁下方开设有尾气进口4，所述腔体侧壁上方开设有排气管道5，所述腔体中部安置有一个纵截面上呈倒几字型的过滤芯6，所述盖板上插入有伸入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道7，氮气管道用于氮气流通。所述氮气管道上设有阀9，所述腔体侧壁下方设有凸台，所述凸台与底板构成存废腔10，用于储存吹落的
NH4Cl粉末，该凸台内径大于腔体内径，氮气管道位于过滤芯的倒几字型开口内的部分沿长度方向均布有喷嘴。
[0026]实施例2：与实施例1的区别在于过滤芯有两个，两个过滤芯之间通过支架固接，如图2所示，对应的氮气管道也有两个，分别伸入两个过滤芯的倒几字型开口内。凸台内径小于腔体内径。
[0027]实施例3：与实施例1的区别在于过滤芯有三个，相邻两个过滤芯之间通过支架固接。
[0028]上述的阀可以是气动阀、手动阀、电子阀等等。用于控制管道内N2的通断，所述阀与氮气管道配套使用。
[0029]本技术的使用方法如下：在HVPE取片时，打开阀，利用N2，在过滤芯的过滤网的内侧往外侧吹扫，气流将附着在滤网外侧的NH4Cl粉末吹落，因为重力的作用，NH4Cl粉末将落入腔体底部的存废腔内，N2分批进行吹扫，目的使吹出的N2经过其他滤芯排出，不会对HVPE腔体内部的压力产生影响。这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，更换过滤网即可使滤网恢复至可使用状态，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率。而且所用装置的结构简单消耗件少，有效地降低生产成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种HVPE自洁式过滤器,其特征是：包括：腔体（1），所述腔体顶部设有盖板（2），所述腔体底部设有底板（3），所述腔体侧壁下方开设有尾气进口（4），所述腔体侧壁上方开设有排气管道（5），所述腔体中部安置有纵截面上呈倒几字型的过滤芯（6），所述盖板上插入有伸入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道（7）。2.如权利要求1所述的一种HVPE自洁式过滤器,其特征是：所述过滤芯通过支架（8）与腔体侧壁固接。3.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑小超，
申请(专利权)人：镓特半导体科技铜陵有限公司，
类型：新型
国别省市：