显示面板的制造方法技术

本发明专利技术的显示面板的制造方法，其特征在于，具有以下工序：在面板上，按照排列成矩阵状的方式布图象素电极；在所述象素电极之间形成由金属构成的布线；在所述布线的表面覆盖疏液导通层；通过在所述电极上涂布有机化合物含有液，成膜有机化合物层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用了通过利用晶体管阵列基板流通电流来自发 光的发光元件的。技术背景有机场致发光显示面板大致可分为无源驱动方式和有源矩阵驱动 方式两种，但有源矩阵驱动方式的有机场致发光显示面板在高对比度、 高精细等方面比无源驱动方式好。例如，在专利文献1中记载的现有的 有源矩阵驱动方式的有机场致发光显示面板中，对每个象素都设置了有 机场致发光元件(下面称为有机EL元件)、向栅极施加对应于图像数据 的电压信号来在有机EL元件中流通电流的驱动晶体管、和执行用于向 该驱动晶体管的栅极提供对应于图像数据的电压信号的开关的开关用 晶体管。在该有机场致发光显示面板中，若选择扫描线，则开关用晶体 管导通，此时，经信号线将表示亮度的电平的电压施加于驱动晶体管的 栅极上。由此，驱动晶体管导通，大小对应于栅极电压的电平的驱动电 流经驱动晶体管的源极-漏极，从电源流到有机EL元件，有机EL元件 以对应于电流大小的亮度发光。在从扫描线的选择结束起到选择下一扫 描线为止的期间，即便开关用晶体管截止，也继续保持驱动晶体管的栅 极电压的电平，有机EL元件以按照对应于电压的驱动电流的大小的亮 度发光。为了驱动有机场致发光显示面板，在有机场致发光显示面板的外围设置驱动电路，向铺设于有机场致发光显示面板中的扫描线、信号线、 电源线等施加电压。另外，在现有的有源矩阵驱动方式的有机场致发光显示面板中，使 用开关用晶体管、驱动晶体管等薄膜晶体管的材料，与薄膜晶体管的布图工序同时布图电源线等在有机EL元件中流通电流的布线。BP,当制 造有机场致发光显示面板时，通过对构成薄膜晶体管电极的导电性薄膜 执行光刻法、蚀刻法，利用该导电性薄膜来形状加工薄膜晶体管的电极， 同时，还形状加工同时与电极连接的布线。因此，若由导电性薄膜来形 成布线，则布线与薄膜晶体管的电极厚度相同。 专利文献l:特开平8-330600号公报。但是，由于以用作晶体管为前提来设计薄膜晶体管的电极，换言之， 由于不是以在发光元件中流过电流为前提来设计，所以如其名称所述， 为薄膜，因此，若从布线向多个发光元件流过电流，则由于布线的电阻 而产生电压降，产生通过布线的电流流动延迟。虽然为了抑制电压降和 电流延迟而期望使布线低电阻化，但为此，构成晶体管的源极、漏极电 极的金属层或构成栅极电极的金属层变厚，或以充分流过电流的程度的 宽度布图这些金属层来形成低电阻布线时，布线与其它布线或导电体等 俯视时重叠的面积增加，其间产生寄生电容，发生延迟电流流过的因素， 或者，在从晶体管阵列基板侧射出EL光的所谓底部发射构造的情况下， 布线会遮光来自EL元件的发光，所以导致作为发光面积比例的数值孔 径变小。另外，若为了低电阻化而增厚薄膜晶体管的栅极电极，则必需 增厚至用于平坦化栅极电极的级差的平坦化膜(例如在薄膜晶体管为逆 交错构造(逆7夕力'構造)的情况下，相当于栅极绝缘膜)，晶体管特 性有可能会大大变化，另夕卜，若增厚源极、漏极电极，则由于源极、漏 极电极的蚀刻精度下降，所以有可能对晶体管的特性造成坏影响。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种。 本专利技术的具有以下工序在面板上，按照排列成矩阵状的方式布图象素电极；在所述象素电极之间形成由金属构成的 布线；在所述布线的表面覆盖疏液导通层；通过在所述电极上涂布有机 化合物含有液，成膜有机化合物层。通过增厚布线，抑制电压降，并且用于成膜有机化合物含有液时的 隔壁。因此，由于疏液导通层示出疏液性，所以可良好地布图有机化合 物层。另外，例如三嗪化合物等疏液导通层有选择地在金属表面覆盖到 示出疏液性的程度，但在绝缘物或金属氧化物的表面未覆盖到示出疏液 性的程度，并且在金属的表面极薄地覆盖，所以金属表面的导电性不会 丧失。附图说明图1是与绝缘基板2—起表示EL显示面板1的电路构成的图。图2是EL显示面板1的象素电路Pg的等效电路图。图3是表示EL显示面板1的象素电路Pisj的电极的平面图。图4是表示EL显示面板1的象素电路Pg的电极的平面图。图5是图3所示的V-V线的箭头截面图。图6是图3所示的VI-VI线的箭头截面图。图7是图3所示的vn-vn线的箭头截面图。 图8是图3所示的vm-vm线的箭头截面图。图9是布图栅极层的状态的平面图。图io是布图漏极层的状态的平面图。图11是在布图后的栅极层上重叠漏极层的状态的平面图。图12是表示EL显示面板1的有机EL层的布局的示意平面图。图13是用于说明EL显示面板1的驱动方法的时间图。图14是用于说明EL显示面板1的另一驱动方法的时间图。图15是表示各象素电路P,，,-Pm,n的驱动晶体管23和有机EL元件20的电流-电压特性的曲线。图16是表示32英寸的EL显示面板1的供电布线90和共同布线91各自的最大电压降与布线电阻率P /截面积S的相关性的曲线。图17是表示32英寸的EL显示面板1的供电布线90和共同布线91各自的截面积与电流密度的相关性的曲线。图18是表示40英寸的EL显示面板1的供电布线90和共同布线91各自的最大电压降与布线电阻率P /截面积S的相关性的曲线。图19是表示40英寸的EL显示面板1的供电布线90和共同布线91各自的截面积与电流密度的相关性的曲线。图20是与绝缘基板2 —起表示EL显示面板1的电路构成的图。图21是EL显示面板1的象素电路Pjj的等效电路图。图22是表示EL显示面板1的象素电路Pitj和象素电路Piij+1的电极的平面图。图23是沿垂直于驱动晶体管23的沟道宽度的面截断的截面图。图24是图3所示的XXIV-XXIV线的箭头截面图。图25是图3所示的XXV-XXV线的箭头截面图。图26是表示疏液性导通膜55的覆膜构造的模式图。图27是表示EL显示面板1的有机EL层的布局的示意平面图。图28是用于说明EL显示面板1的动作的时间图。具体实施例方式下面，参照附图来说明实施本专利技术的实施方式。但是，在下述的实 施方式中，为了实施本专利技术，而最好在技术上附加各种限定，但专利技术范 围不限于下面的实施方式和图示例。图1中示出有源矩阵驱动方式的EL显示面板1的示意图。如图1 所示，EL显示面板1具备具有透光性的可挠性薄片状或刚性板状的绝 缘基板2;彼此平行地排列在绝缘基板2上的n条(多条)信号线Y,-Yn; 俯视绝缘基板2时与信号线Y^Yn正交地排列在绝缘基板2上的m条(多条)扫描线XrXm;在扫描线X,-Xm各自间与扫描线X,-Xm平行且彼此不同地排列在绝缘基板2上的m条(多条)供给线Z,-Zm;沿信号线YrYn和扫描线XrXm成矩阵状地排列在绝缘基板2上的(mXn)组象素电路 Pw-P^;俯视时与供给线ZrZm平行地设计的多个供电布线90、 90、...； 和沿俯视时与信号线Y,-Yn平行的方向上设置的共同布线91、 91、...。下面，将信号线Y,-Yn延伸的方向称为垂直方向(列方向)，将扫描 线XrXm延伸的方向称为水平方向(行方向)。另夕卜，m、 n为2以上的自 然数，在扫描线X下标的数字在图1中表示从上到下的排列顺序，在供 给线Z下标的数字在图1中表示从上到下的排列顺序，在信号线Y下 标的数字在图1中表示从左到右的排列顺序，在象素电路P下标的数字 的前侧表示从上到下的排列顺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板的制造方法，其特征在于，具有以下工序：　　　　在面板上，按照排列成矩阵状的方式布图象素电极；　　　　在所述象素电极之间形成由金属构成的布线；　　　　在所述布线的表面覆盖疏液导通层；　　　　通过在所述电极上涂布有机化合物含有液，成膜有机化合物层。

【技术特征摘要】
JP 2004-9-21 273532/2004;JP 2004-9-21 273580/2004;1、一种显示面板的制造方法，其特征在于，具有以下工序在面板上，按照排列成矩阵状的方式布图象素电极；在所述象素电极之间形成由金属构成的布线；在所述布线的表面覆盖疏液导通层；通过在所述电极上涂布有机化合物含有液，成膜有机化合物层。2、 根据权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于， 在形成所述有机化合物层之后，按照覆盖所述有机化合物层和所述布线的方式成膜相对电...

【专利技术属性】
技术研发人员：下田悟，白崎友之，小仓润，熊谷稔，
申请(专利权)人：卡西欧计算机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]