化学药品供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种化学药品供给装置，包括：用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。并且，如果测定的容器罐内药液的残量在基准值以下，则从缓冲器侧形成低速真空吸入动作，因此可降低容器罐内的药液的残量而节省材料费用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导装体装备的化学药品供给装置，尤其涉及将用于半导体芯片(Wafer)或平板显示装置(Flat Panel Display: FPD)制造工艺的化 学药品从容器罐(Canister)输送至緩沖器，从而使化学药品稳定地供给到化 学药品供给装置。
技术介绍
图1为已有技术的化学药品供给装置的概要图。如图所示的已有技术的化学药品供给装置大体由容器罐10和緩冲器20 构成，其中所述容器罐IO用于灌入化学药品原料，所述緩沖器20用于接收 灌入于所述容器罐10内的化学药品(以下称为药液)，以使将所述化学药品 稳定地向半导体装备25供给。所述容器罐10内灌入药液lib,所述药液llb灌装于胶袋形式的药液袋 11而被供给。此时，所述药液袋11内灌入药液llb和作为溶媒的惰性气体或氮气lla。 如上所述的药液袋11安装成使输送管16浸渍于其内部，而该输送管16贯通设置于容器罐10中央。药液袋11通过所述输送管16向緩冲器20供给药液llb。此时，所述緩冲器20位于容器罐10的上部，由此需要有将所述药液lib 强制输送到緩冲器20的强制输送装置。所述强制输送装置可以使用如图1所示的加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学药品供给装置，其特征在于包括：用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。

【技术特征摘要】
KR 2007-4-13 10-2007-00363041. 一种化学药品供给装置，其特征在于包括用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。2、 根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述容器罐的 内部具有灌入药液的药液袋，所述化学药品供给装置具有为了提高所述容器 罐的内部压力而压缩所述药液袋的加压泵。3、 根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述緩冲器设 有水位传感器，以用于测定灌入的药液的水位。4、 根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述体积可变 装置包括分别设置于緩沖器的内部左右侧的膜部件，该膜部件为了能够任意收缩 膨胀形成于膜部件之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵康一，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]