红色像素上方具有电容器的固态成像器制造技术

本发明专利技术揭示一种彩色图像传感器，其具有形成在红色像素（３００）的光转换区（６６２）上方的电容器（６９０），所述电容器（６９０）电连接到浮动扩散（６７８）并由多个像素共享。所述多个像素还共享读出电路（６８４、６９１、６８６、６８８）。本发明专利技术还揭示相应的制作方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及半导体成像装置，且明确地说，涉及一种具有像素单元阵列和用 于所述单元的包括电容器的电路的成像器。背景技水目前关注将CMOS有源像素成像器用作低成本成像装置。图1展示信号处理系统 100，其包括CMOS有源像素传感器(APS)像素阵列230和控制器232，所述控制器 232提供定时和控制信号以使得能够以所属领域的技术人员通常所知的方式读出存储在 像素中的信号。示范性阵列具有MxN个像素的尺寸，其中阵列230的大小取决于特定应 用。使用列并行读出结构每次一行地读出成像器像素。控制器232通过控制行寻址电路 234和行驱动器240的操作来在阵列230中选择特定像素行。将存储在选定像素行中的 电荷信号在列线上提供到读出电路242。接着使用列寻址电路244依序读出从所述列的 每一者读取的像素信号(通常是针对每个像素的复位信号Vrst和图像信号Vsig)，并将 其供应到差动放大器212，其中在模拟-数字(A/D)转换器214中将表示由像素所见的 光的差值信号Vrst - Vsig转换成数字信息，并将其提供到图像处理器216。图2更详细展示图1的系统100的一部分。图2说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种像素阵列，其包含：具有光转换区的至少第一和第二像素，其中所述第一像素为红色像素；和共同电耦合到所述第一和第二像素的电容器，所述电容器设置在所述第一像素上方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2005-8-24 11/209,7791.一种像素阵列，其包含具有光转换区的至少第一和第二像素，其中所述第一像素为红色像素；和共同电耦合到所述第一和第二像素的电容器，所述电容器设置在所述第一像素上方。2. 根据权利要求l所述的像素阵列，其中所述电容器设置在所述第一像素的所述光转 换区上方。3. 根据权利要求2所述的像素阵列，其中所述第二像素为蓝色或绿色像素。4. 根据权利要求3所述的像素阵列，其进一步包含耦合到所述第一和第二像素的共用 浮动扩散区，所述电容器电耦合到所述浮动扩散区。5. 根据权利要求l所述的像素阵列，其中所述光转换区为光电二极管。6. 根据权利要求5所述的像素阵列，其中所述第一像素在所述像素阵列的第一行中， 所述第二像素在所述像素阵列的第二行中，所述第一行在所述第二行上方。7. —种像素阵列，其包含第一和第二像素，其包含 具有晶体管区和光转换区的衬底；形成在所述光转换区中的第一光转换装置，所述第一光转换装置与所述第一像素相关联且对红光敏感；形成在所述光转换区中的第二光转换装置，所述第二光转换装置与所述第二像素 相关联且对蓝光或绿光敏感；和设置在所述第一像素的所述第一光转换区上方且电耦合到其的存储装置，所述第 二像素电耦合到所述存储装置。8. 根据权利要求7所述的像素阵列，其中所述存储装置电耦合到第三和第四光转换装 置。9. 根据权利要求8所述的像素阵列，其中所述第三和第四光转换装置对蓝光或绿光敏 感。10. 根据权利要求8所述的像素阵列，其进一步包含电耦合到所述第一和第二像素的共 用浮动扩散区，所述存储装置耦合到所述浮动扩散区。11. 一种形成像素阵列的方法，所述方法包含以下步骤在衬底上方形成第一和第二光转换区，其中所述第一光转换区对红光敏感；形成设置在所述第一光转换区上方的电容器；和 形成所述光转换区与所述电容器之间的电连接。12. 根据权利要求11所述的方法，其进一步包含在所述第一光转换区上方形成所述电容 器的步骤。13. 根据权利要求12所述的方法，其中所述第二光转换区对蓝光或绿光敏感。14. 根据权利要求13所述的方法，其中所述形成所述电容器的步骤进一步包含在所述 衬底上方形成栅极氧化物层的步骤。15. 根据权利要求14所述的方法，其进一步包含在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰弗里A麦基，
申请(专利权)人：美光科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]