一种AgZn靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种AgZn靶材及其制备方法，涉及溅射靶材制造领域。本发明专利技术提供了一种AgZn靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将锌锭、银锭置于石英管中，真空密封后放置于摇摆炉中加热，得到固溶体，冷却后得到粗坯；其中，加热过程采用分段式加热；第一段：加热的温度为430

【技术实现步骤摘要】
一种AgZn靶材及其制备方法


[0001]本专利技术涉及溅射靶材制造领域，尤其是一种AgZn靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]纯银及银合金薄膜具有反射率高、电阻率低、导热性好、耐热、耐腐蚀性好的特点，被广泛应用于有机发光二极管、工具镀膜、玻璃镀膜或反射型液晶显示器的电极反射膜等领域。然而，长时间暴露在空气中，或在高温、高湿的环境下，纯银薄膜表面很容易发生氧化、银晶粒增长及银原子凝结等问题，导致薄膜导电性、反射率下降。通过添加某些元素可有效地提高纯银薄膜的抗氧化性能，同时维持纯银高反射率、低电阻率的特性。张德胜等人在银合金中加入稀土元素钇，结果表明加入质量分数为0.1％的Y时，银基合金的晶粒得到细化，组织更加均匀致密，电阻率为2.01
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8Ω/m，抗氧化性能大大提升。薄膜的品质往往受靶材成分、晶粒度、纯度、组织均匀性等因素的影响。
[0003]目前，银及其合金靶材现有的主要技术包括
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浇铸
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热处理
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热轧；/>②
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种AgZn靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将锌锭、银锭置于石英管中，真空密封后放置于摇摆炉中加热，得到固溶体，冷却后得到粗坯；其中，加热过程采用分段式加热；第一段：加热的温度为430
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460℃，加热的时间为0.5
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1h；第二段：加热的温度为990
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1050℃，加热的时间为1
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3h；(2)将步骤(1)中得到的粗坯热轧处理，机加工后得到AgZn靶材。2.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，锌锭包括锌粒、锌块、锌粉中的至少一种，银锭包括银粒、银块、银粉中的至少一种。3.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，锌锭、银锭的质量比为：锌锭：银锭＝1
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【专利技术属性】
技术研发人员：肖惠云，蔡新志，童培云，谢小豪，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料有限公司，
类型：发明
国别省市：