下载一种AgZn靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:31705643

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本发明公开一种AgZn靶材及其制备方法,涉及溅射靶材制造领域。本发明提供了一种AgZn靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将锌锭、银锭置于石英管中,真空密封后放置于摇摆炉中加热,得到固溶体,冷却后得到粗坯;其中,加热过程采用分段式加热;第一...
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