掩模的制造方法及掩模制造装置制造方法及图纸

一种掩模的制造方法，包括步骤：提供金属板材，其在表面上包含多个虚拟区域，以及步骤：使用多个喷嘴向金属板材的表面喷洒蚀刻液，其中虚拟区域包括第一区域以及第二区域，且金属板材在第一区域的单位面积具有第一厚度，在第二区域的单位面积具有第二厚度，而第一厚度大于第二厚度；多个喷嘴向金属板材的表面喷洒蚀刻液，还包括使用第一喷洒压力对第一区域喷洒蚀刻液，以及使用第二喷洒压力对第二区域喷洒蚀刻液，且第一喷洒压力大于第二喷洒压力。本发明专利技术还提供一种掩模制造装置。发明专利技术还提供一种掩模制造装置。发明专利技术还提供一种掩模制造装置。

【技术实现步骤摘要】
掩模的制造方法及掩模制造装置


[0001]本专利技术是有关一种掩模的制造方法，尤其是一种金属掩模的制造方法及制造装置。

技术介绍

[0002]蒸镀用金属掩模如Fine Metal Mask(精细金属掩模版)的制备包含光阻涂布、曝光、显影以及蚀刻等过程，以在金属材料上形成多个开孔。然因金属材料本身厚度的差异，因而蚀刻的程度不均，并使所形成的开孔尺寸不一甚至形状有别。如此之差的可靠度降低掩模的质量，且可能造成误差的累积，对于掩模所涉及的制程有难以预期的不良影响。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种掩模的制造方法，有助于提升开孔的均匀性并提高掩模质量。
[0004]本专利技术所提供的掩模的制造方法包括步骤：提供金属板材，其在表面上包含多个虚拟区域，以及步骤：使用多个喷嘴向金属板材的表面喷洒蚀刻液，其中多个虚拟区域包括第一区域以及第二区域，且金属板材在第一区域的单位面积具有第一厚度，在第二区域的单位面积具有第二厚度，而第一厚度大于第二厚度；多个喷嘴向金属板材的表面喷洒蚀刻液，还包括使用第一喷洒压力对第一区域喷洒蚀刻液，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模的制造方法，其特征在于，包括步骤：提供一金属板材，该金属板材在一表面上包含多个虚拟区域；该些虚拟区域包括一第一区域以及一第二区域，其中该金属板材在该第一区域的一单位面积具有一第一厚度，在该第二区域的一单位面积具有一第二厚度，且该第一厚度大于该第二厚度；以及使用多个喷嘴向该金属板材的该表面喷洒一蚀刻液；其中还包括使用一第一喷洒压力对该第一区域喷洒该蚀刻液，以及使用一第二喷洒压力对该第二区域喷洒该蚀刻液，且该第一喷洒压力大于该第二喷洒压力。2.如权利要求1所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该些虚拟区域沿一第一方向排列且邻接；该些喷嘴喷洒该蚀刻液并在该表面上分别具有一喷洒范围；该些喷洒范围分别对应该些虚拟区域，且相邻的该些喷洒范围彼此邻接。3.如权利要求2所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该些喷洒范围沿一第二方向排列且邻接；该第二方向具有在该第一方向上的一分量以及在一第三方向上的一分量，且该第三方向与该第一方向相垂直。4.如权利要求2所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该喷洒范围实质为圆形，且相邻的该些喷洒范围在邻接处相交叠。5.如权利要求1所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该第一喷洒压力所喷洒的该蚀刻液量大于该第二喷洒压力所喷洒的该蚀刻液量。6.如权利要求2所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中在该第一方向上的相邻两喷洒范围的中心相距75～85mm。7.如权利要求3所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中在该第二方向上的相邻两喷洒范围的中心相距120～145mm。8.如权利要求3所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该第一方向与该第二方向的夹角为θ，且tanθ大于3或小于3。9.如权利要求1所述的掩模的制造方法，其特征在于，还包括使用一第三喷洒压力以及一第四喷洒压力向该金属板材的该另一表面喷洒该蚀刻液。10.如权利要求9所述的掩模的制造方法，其特征在于，其中该金属板材在该另一表面还包含多个虚拟区域分别与该表面的该些虚拟区域相应；该第三喷洒压力与该第一喷洒压力相同，该第四喷洒压力与该第二喷洒压力相同，且使用该些喷嘴向该金属板材的该表面喷洒该蚀刻液的步骤还包括使用该第一喷洒压力及该第三喷洒...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯冠廷，傅学文，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：