流量感测装置及用于测量流体的特性的系统制造方法及图纸

公开了流量感测装置及用于测量流体的特性的系统。基于科里奥利力的流量感测装置包括：硅基底；绝缘层，在所述基底的表面上；至少一个驱动电极，在所述绝缘层上；以及硅结构体，与所述驱动电极部分地重叠，所述结构体具有埋入通道。本公开的实施例提供了高性能和低成本特性的流量感测装置及包括用于测量流体特性的系统。的系统。的系统。

【技术实现步骤摘要】
流量感测装置及用于测量流体的特性的系统


[0001]本技术涉及一种用于制造基于科里奥利力的流量感测装置的方法、一种基于科里奥利力的流量感测装置以及一种包括该基于科里奥利力的流量感测装置的用于测量流体的特性的系统。

技术介绍

[0002]流体测量、控制和操纵在许多应用中是非常重要的。通过开发不同类型的直接质量流量计，质量流量和/或流体密度的直接和精确测量已经成为可能。这种类型的一个有效装置是陀螺仪质量流量计，该陀螺仪质量流量计在进行测量时利用科里奥利力(Coriolis force)(简称为科里奥利流量计)。
[0003]科里奥利流量计实际上是过去几十年来最重要的流量测量原理之一。科里奥利流量计基于能够测量流动流体的多个参数(如质量流速、温度、密度和粘度)的精确测量原理。
[0004]科里奥利流量计已经以多种不同的形状和技术制造，包括金属管和硅(后者属于微流量计的领域)。通常通过从硅晶圆蚀刻微管结构而使用硅技术、采用类似MEMS的工艺流程来制造微流量计。这种微机械加工的硅基科里奥利传感器芯片允许将科里奥利测量原理应用于微流体应用，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于科里奥利力的流量感测装置，其特征在于，包括：硅基底；绝缘层，在所述基底的表面上；至少一个驱动电极，在所述绝缘层上；以及硅结构体，与所述驱动电极部分地重叠，所述结构体具有埋入通道。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述驱动电极和所述结构体被耦合以在使用期间生成静电力，以使所述结构体振动。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括在所述绝缘层上的感测电极，所述感测电极与所述驱动电极共面，所述结构体与所述感测电极至少部分地重叠，所述结构体被电容地耦合至所述感测电极并且被配置为在使用期间感测所述结构体的振动。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述埋入通道还包括流体输入口和流体输出口，所述流体输入口和所述流体输出口分别被配置为使具有待测量的特性的流体流入和流出。5.一种用于测量流体的特性的系统，其特征在于，包括：基于科里奥利力的流量感测...

【专利技术属性】
技术研发人员：G，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：