具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件制造技术

本公开描述了一种具有半导体芯片的图像形成元件，半导体芯片具有微机电系统(MEMS)装置(210)和电压生成器(220)，每个电压生成器被配置为：生成由MEMS装置中的一个或多个MEMS装置使用的电压。浮置接地可以用于向由电压生成器生成的电压添加电压。半导体芯片可以包括电连接(235)，其中每个电压生成器被配置为通过电连接来向一个或多个MEMS装置提供电压。MEMS装置可以在半导体芯片中限定边界，MEMS装置、电压生成器和电连接位于该边界内。每个MEMS装置可以生成静电场以操纵多束带电粒子显微镜的电子小束。可以基于到半导体芯片中的基准位置(例如，光学轴线)的距离将MEMS装置组织成组。组。组。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年04月06日提交的美国申请62/830,398的优先权，该申请通过引用以其整体并入本文。


[0003]本公开总体上涉及使用带电粒子显微镜的系统，诸如扫描电子显微镜(SEM)，并且更具体地，涉及在这样系统中使用的图像形成元件。

技术介绍

[0004]在用于制造集成电路(IC)组件的制造工艺中，未完成或完成的电路组件被检查以确保它们根据指定设计被制造并且没有缺陷。利用光学显微镜或带电粒子(例如，电子)束显微镜(诸如多束SEM)的检查系统可以被采用。随着IC组件的各种特征的物理尺寸不断缩小，这些检测系统实现的准确性和生产量变得更加重要。目前，这些系统趋向于至少部分地受到由系统产生的用于检查的扫描电子小束的数目以及用于操纵这些电子小束的图像形成元件的限制。因此，非常需要改进图像形成元件的实施方式以使得多束SEM中使用的电子小束的数目能够按比例增加。

技术实现思路

[0005]下面呈现本公开的各种实施例的一个或多个方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体芯片，包括：多个微机电系统(MEMS)装置；多个电压生成器，所述电压生成器中的每个电压生成器被配置为：生成由所述MEMS装置中的对应的一个或多个MEMS装置使用的电压；以及多个电连接，所述电压生成器中的每个电压生成器被配置为：通过所述电连接中的一个或多个电连接，向所述一个或多个MEMS装置提供所述电压，其中所述MEMS装置中的每个MEMS装置被配置为：生成电场以操纵多束带电粒子显微镜中的多个电子小束中的电子小束。2.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述带电粒子显微镜包括扫描电子显微镜(SEM)、扫描离子显微镜、透射电子显微镜(TEM)或扫描质子显微镜中的一者。3.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述MEMS装置中的每个MEMS装置是微透镜、微偏转器或消像散器。4.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述MEMS装置的数目等于或大于所述电压生成器的数目。5.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述MEMS装置的数目小于所述电压生成器的数目。6.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述电连接中的每个电连接包括多个导线。7.根据权利要求1所述的半导体芯片，其中所述MEMS装置被布置成多个子集，所述电压生成器包括针对每个子集的一个电压生成器，并且所述一个电压生成器被配置为：为所述相应子集中的所述MEMS装置中的每个MEMS装置生成电压。8.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇新，赖瑞霖，张乾，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：