一种晶圆用平整固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆用平整固定装置，属于晶圆生产设备领域，包括底座，所述底座的顶端设有多个支撑脚，所述支撑脚的顶端设有固定台，所述固定台的四个角分别滑动设有光轴，所述光轴的顶端位于所述固定台的下方设有升降装置，所述光轴的顶端设有夹持机构。本实用新型专利技术提供一种晶圆用平整固定装置，首先将晶圆放置在固定台上的垫片上，控制驱动电机运行通过斜齿轮传动啮合带动螺杆在支架上旋转，螺杆与移动板上的螺纹孔配合，带动移动板向下移动，同时光轴在固定台中向下移动，通过固定板上的吸盘对晶圆进行固定，设置四个光轴和吸盘对晶圆的四个角进行固定，防止其滑动。防止其滑动。防止其滑动。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用平整固定装置


[0001]本技术涉及晶圆生产设备领域，具体涉及一种晶圆用平整固定装置。

技术介绍

[0002]晶圆也叫基片是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，在晶圆生产的过程中，需要使用到晶圆瑕疵检测机；该设备由EFEN、晶圆载台、显微镜组、除震平台、机架A及机架B，共6部份组成；由人工将装有晶圆的CASETTE放入 EFEN，先经由ROBOT从CASETTE取出单片晶圆后摆放至晶圆载台，接着晶圆载台会移动至显微镜组工作区，进行晶圆瑕疵检测及记录；待检测及记录完成后，晶圆载台会再将晶圆移动回到ROBOT位置，ROBOT收回晶圆并交还至CASETTE 的动作流程；晶圆瑕疵检测机在工作时会使用到晶圆固定装置；现有技术中的固定装置，固定不牢固，晶圆容易发生脱落，因此，设计一种用于晶圆生产的固定装置是很有必要的。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种晶圆用平整固定装置，首先将晶圆放置在固定台上的垫片上，控制驱动电机运行通过斜齿轮传动啮合带动螺杆在支架上旋转，螺杆与移动板上的螺纹孔配合，带动移动板向下移动，同时光轴在固定台中向下移动，通过固定板上的吸盘对晶圆进行固定，设置四个光轴和吸盘对晶圆的四个角进行固定，防止其滑动。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆用平整固定装置，包括底座，所述底座的顶端设有多个支撑脚，所述支撑脚的顶端设有固定台，所述固定台的四个角分别滑动设有光轴，所述光轴的顶端位于所述固定台的下方设有升降装置，所述光轴的顶端设有夹持机构；所述升降装置包括移动板，所述移动板的中心开设有螺纹孔，所述固定台的底端设有支架，所述支架上旋转设有与所述螺纹孔相配合的螺杆，所述螺杆的顶端设有第一斜齿轮，所述支架的顶端设有驱动机构，所述驱动机构与所述第一斜齿轮传动连接。
[0005]进一步的，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出端设有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮。
[0006]进一步的，所述夹持机构包括固定板和吸盘，所述固定板倾斜设置在所述光轴的顶端，所述固定板的底端设有用于夹持晶圆的吸盘。
[0007]进一步的，所述光轴与所述固定台之间通过直线轴承连接，所述螺杆的顶端未设置螺纹并通过滚动轴承与所述支架连接。
[0008]进一步的，所述固定台的顶端设有垫片。
[0009]本技术的上述技术方案的有益效果如下：
[0010]1、光轴通过直线轴承套设置在固定台的四个角，保证光轴能够上下滑动，四个光轴的底端与移动板通过螺纹连接，吸盘与固定板之间通过螺栓连接，光轴的上下移动带动固定板上的吸盘上下移动，从而实现对晶圆的固定和放松。
[0011]2、光轴在驱动机构带动螺杆与移动板上的螺纹孔相配合，实现移动板的上下移
动，从而带动光轴上下移动，支架对驱动机构进行支撑，采用L型，螺杆顶端未设置螺纹，通过滚动轴承与支架连接，对螺杆起旋转支撑的作用，螺杆与螺纹孔连接。
[0012]3、驱动机构通过驱动电机连接的第二斜齿轮与螺杆顶端的第一斜齿轮啮合，从而带动螺杆旋转，螺杆的顶端与第一斜齿轮通过键连接，驱动电机通过螺栓固定在支架上。
附图说明
[0013]图1为本技术晶圆用平整固定装置的正面结构示意图；
[0014]图2为本技术晶圆用平整固定装置的局部俯视结构示意图。
[0015]附图标记：1、底座；2、支撑脚；3、固定台；4、光轴；5、夹持机构；6、移动板；7、螺纹孔；8、支架；9、螺杆；10、第一斜齿轮；11、第二斜齿轮；12、驱动机构；13、驱动电机；14、固定板；15、吸盘；16、直线轴承；17、滚动轴承；18、垫片。
具体实施方式
[0016]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图1
‑
2，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]如图1
‑
2所示：一种晶圆用平整固定装置，包括底座1，所述底座1的顶端设有多个支撑脚2，所述支撑脚2的顶端设有固定台3，所述固定台3的四个角分别滑动设有光轴4，所述光轴4的顶端位于所述固定台3的下方设有升降装置，所述光轴4的顶端设有夹持机构；所述升降装置包括移动板6，所述移动板6的中心开设有螺纹孔7，所述固定台3的底端设有支架8，所述支架8上旋转设有与所述螺纹孔7相配合的螺杆9，所述螺杆9的顶端设有第一斜齿轮10，所述支架8的顶端设有驱动机构12，所述驱动机构12与所述第一斜齿轮10传动连接。
[0018]具体而言，一种晶圆用平整固定装置，支撑脚对固定台进行支撑，支撑脚的数量为2个以上，在本装置采用4个支撑脚，支撑脚与固定台采用焊接的方式连接，螺杆与第一斜齿轮的中心孔通过键连接，光轴与移动板之间通过安装架螺栓连接，光轴对移动板起到导向作用。
[0019]根据本技术的一个实施例，如图1所示，
[0020]所述驱动机构12包括驱动电机13，所述驱动电机13的输出端设有与所述第一斜齿轮10相啮合的第二斜齿轮11。驱动机构通过驱动电机驱动，驱动电机通过螺栓固定在支架上，驱动电机的输出轴与第二斜齿轮通过键连接，第二斜齿轮与第一斜齿轮啮合传动，从而带动第一斜齿轮转动。
[0021]根据本技术的一个实施例，如图1
‑
2所示，
[0022]所述夹持机构包括固定板14和吸盘15，所述固定板14倾斜设置在所述光轴4的顶端，所述固定板14的底端设有用于夹持晶圆的吸盘15。夹持机构通过固定板和吸盘对晶圆进行固定，固定板与固定台之间有移动夹角，能够对晶圆的4个角进行固定，吸盘可以对晶圆固定时起到防护作用，防止固定板对晶圆的压力产生损坏。
[0023]根据本技术的一个实施例，如图1所示，
[0024]所述光轴4与所述固定台3之间通过直线轴承16连接，所述螺杆9的顶端未设置螺
纹并通过滚动轴承17与所述支架8连接。光轴在固定台上滑动通过直线轴承，轴承座进行滑动支撑，螺杆通过支架进行旋转支撑。
[0025]根据本技术的一个实施例，如图1所示，
[0026]所述固定台3的顶端设有垫片18。垫片与固定台通过粘连连接，对晶圆起到防护作用。
[0027]本技术的工作方法：首先将垫片放置在垫片上，垫片对晶圆起到保护的作用，同时控制驱动电机运行，通过斜齿轮啮合传动带动螺杆在支架上旋转，螺杆与移动板上的螺纹孔配合，在光轴的导向作用下，移动板向下移动，带动光轴在固定台上向下滑动，实现吸盘对晶圆的固定，设置四个光轴可以有效对晶圆的四个角进行固定，防止其滑动。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用平整固定装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的顶端设有多个支撑脚(2)，所述支撑脚(2)的顶端设有固定台(3)，所述固定台(3)的四个角分别滑动设有光轴(4)，所述光轴(4)的顶端位于所述固定台(3)的下方设有升降装置，所述光轴(4)的顶端设有夹持机构；所述升降装置包括移动板(6)，所述移动板(6)的中心开设有螺纹孔(7)，所述固定台(3)的底端设有支架(8)，所述支架(8)上旋转设有与所述螺纹孔(7)相配合的螺杆(9)，所述螺杆(9)的顶端设有第一斜齿轮(10)，所述支架(8)的顶端设有驱动机构(12)，所述驱动机构(12)与所述第一斜齿轮(10)传动连接。2.如权利要求1所述的晶圆用平整固定装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗秀利，胡华维，蔡斌，袁珍宝，
申请(专利权)人：茂德科技武汉有限公司，
类型：新型
国别省市：