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本实用新型提供一种晶圆用平整固定装置，属于晶圆生产设备领域，包括底座，所述底座的顶端设有多个支撑脚，所述支撑脚的顶端设有固定台，所述固定台的四个角分别滑动设有光轴，所述光轴的顶端位于所述固定台的下方设有升降装置，所述光轴的顶端设有夹持机构。...
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