一种连续自动的敏化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种连续自动的敏化装置，属于敏化装置技术领域。一种连续自动的敏化装置，包括退火炉和控制器，所述控制器与所述退火炉通信连接，所述退火炉设置有气路管道，所述气路管道的外部包围设置有水路管道，所述水路管道的一端设置有冷暖控制器。本实用新型专利技术实现整个敏化过程的自动运行，使整个生产过程控制更加精准，有效避免人为因素造成的误差，同时达到提升良率、降低劳动强度的目的。降低劳动强度的目的。降低劳动强度的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种连续自动的敏化装置


[0001]本技术涉及敏化装置
，尤其涉及一种连续自动的敏化装置。

技术介绍

[0002]硒化铅作为一种非制冷型红外探测器，响应波长范围覆盖短波红外(1
‑
3μm)和中波红外(3
‑
5μm)，主要应用于环境及医疗气体分析，如甲烷、水汽、一氧化碳和二氧化碳；还可应用于红外光谱分析、工业流程监控等。
[0003]Pbse薄膜在常温非制冷条件下，对外界红外辐射的光电响应非常微弱，要获得在常温条件下具有高灵敏度性能的Pbse薄膜，敏化是不可缺少的一个环节，也是生产过程中的核心之一。高温氧敏化，不仅会改变薄膜的表面形貌、晶体结构、表面元素组成；而且，对薄膜的电阻率、载流子迁移率以及光敏性等都有着强烈的影响。
[0004]目前的敏化系统，整体稳定性及生产效率较低；其参数的优化、调整控制依靠人工，自动化程度弱；同时，加热炉对气路的影响大，导致工艺、芯片性能的稳定性受到一定程度上的不可控影响。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中敏化装置自动化程度低，以及气路系统遭受影响的问题，而提出的一种连续自动的敏化装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种连续自动的敏化装置，包括退火炉和控制器，所述控制器与所述退火炉通信连接，所述退火炉设置有气路管道，所述气路管道的外部包围设置有水路管道，所述水路管道的一端设置有冷暖控制器。
[0008]优选的，所述控制器设置有PLC和触摸显示屏。
[0009]优选的，所述控制器连接多台所述退火炉。
[0010]优选的，所述水路管道内满充填有导热油。
[0011]优选的，所述水路管道设置有入流部和回流部，所述入流部与所述回流部在所述水路管道的尾端位置相连通。
[0012]优选的，所述水路管道的一端设置有循环泵，所述循环泵的出入端分别连接所述入流部、回流部。
[0013]优选的，所述水路管道的内部设置有分隔挡板，所述分隔挡板设置有两条，所述分隔挡板的一侧边与所述水路管道的内侧面相连接，所述分隔挡板的另一侧边与所述气路管道的外侧面相连接，所述分隔挡板位于所述水路管道的尾端位置设置有缺口。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种连续自动的敏化装置，具备以下有益效果：
[0015]1、本技术，通过PLC+触摸显示屏的模式，实现整个敏化过程的自动运行；自动化程式的应用，使整个生产过程控制更加精准，有效避免人为因素造成的误差，同时达到提
升良率、降低劳动强度的目的；单套控制器可控制多台敏化装置，各设备独立或统一控制，实现控制端的集中，进一步提高操作人员的控制效率及操作便捷性。
[0016]2、本技术，对气路系统进行水路包裹，利用冷暖控制器实现水路的恒温包裹设计；有效减少加热炉和外界环境对气路的影响，达到稳定气路系统的目的；从而，减少对工艺的影响，提高工艺的稳定性，保证芯片整体性能的稳定。
[0017]3、本技术，导热油以更良好的传热、控温性能，进一步保证对气路管道稳定的控制；设置入流部和回流部，通过一条管道即可完成水路的循环，降低体积；循环泵泵送液体流，更便于调控。
[0018]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术，实现整个敏化过程的自动运行，使整个生产过程控制更加精准，有效避免人为因素造成的误差，同时达到提升良率、降低劳动强度的目的；实现控制端的集中，进一步提高操作人员的控制效率及操作便捷性；对气路系统进行水路包裹，达到稳定气路系统的目的，减少对工艺的影响，提高工艺的稳定性，保证芯片整体性能的稳定；导热油以更良好的传热、控温性能，进一步保证对气路管道稳定的控制；设置入流部和回流部，通过一条管道即可完成水路的循环，降低体积；循环泵泵送液体流，更便于调控。
附图说明
[0019]图1为退火炉与控制器的连接状态示意图；
[0020]图2为本技术的结构示意图；
[0021]图3为水路管道的左视剖视结构示意图；
[0022]图4为水路管道的正视剖视结构示意图。
[0023]图中：1、退火炉；2、控制器；3、气路管道；4、水路管道；401、入流部；402、回流部；5、冷暖控制器；6、循环泵；7、分隔挡板；701、缺口。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]参照图1
‑
4，一种连续自动的敏化装置，包括退火炉1和控制器2，控制器2与退火炉1通信连接；通过控制器2对退火炉1进行控制，实现自动化。
[0027]具体的，控制器2设置有PLC和触摸显示屏。通过预先设定的程序，进行工业自动化控制；在需要更改参数时，通过触摸显示屏进行信息输入。
[0028]进一步的，控制器2连接多台退火炉1。可通过一个控制器2同时进行操控多个设备；各设备独立或统一控制，实现控制端的集中；在实现自动化的同时，进一步提高操作人员的控制效率及操作便捷性。
[0029]退火炉1设置有气路管道3，气路管道3从退火炉1的外部延伸至退火炉1的内部。气路管道3的外部包围设置有水路管道4；即，水路管道4套装在气路管道3的外部；水路管道4的内径大于气路管道3的外径，两者之间为水路通道；其中，水路管道4覆盖气路管道3一段距离；具体的覆盖长度，根据所需的温度控制要求、管径，进行综合匹配；水路管道4的两端进行封闭。水路管道4的一端连通设置有冷暖控制器5。
[0030]通过冷暖控制器5控制水路管道4内的液体流温度，液体流对气路管道3进行包覆，保持气路管道3的温度；同时，减少外部环境对气路管道3的影响，保证其稳定性。
[0031]进一步，水路管道4内满充填有导热油。以更良好的传热、控温性能，进一步保证对气路管道3稳定的控制。
[0032]水路管道4设置有入流部401和回流部402，入流部401与回流部402在水路管道4的首端向外连接，并在水路管道4的尾端位置相连通。内部充填的液体流从水路管道4首端的入流部401进入，到达水路管道4的尾端位置后，调整流向进入回流部402，返回至水路管道4的首端，将液体流引出。通过一条管道即可完成水路的循环，降低所需的体积。
[0033]具体的，水路管道4的内部设置有分隔挡板7；分隔挡板7设置有两条，两条分隔挡板7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续自动的敏化装置，其特征在于，包括退火炉(1)和控制器(2)，所述控制器(2)与所述退火炉(1)通信连接，所述退火炉(1)设置有气路管道(3)，所述气路管道(3)的外部包围设置有水路管道(4)，所述水路管道(4)的一端设置有冷暖控制器(5)。2.根据权利要求1所述的一种连续自动的敏化装置，其特征在于，所述控制器(2)设置有PLC和触摸显示屏。3.根据权利要求1所述的一种连续自动的敏化装置，其特征在于，所述控制器(2)连接多台所述退火炉(1)。4.根据权利要求1所述的一种连续自动的敏化装置，其特征在于，所述水路管道(4)内满充填有导热油。5.根据权利要求1所述的一种连续自动的敏化装置，其特征在于，所述水路管道(4)设置有入...

【专利技术属性】
技术研发人员：原子健，张志林，原皓，黄振兴，
申请(专利权)人：济源艾探电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：