本实用新型专利技术公开了一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置，籽晶杆移动组件包括：底座；X轴平移装置，与所述底座滑动连接；Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；壳体，设置于Y轴平移装置；转动件，设置于所述壳体内；籽晶杆，与所述转动件连接。通过在底座上设置X轴平移装置，并设置Y轴平移装置，将籽晶杆与转动件连接，转动件，设置于所述壳体内，且壳体与Y轴平移装置连接，通过X轴平移装置、Y轴平移装置以及转动件可以调整籽晶杆在水平面内的位置，从而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。
【技术实现步骤摘要】
一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置
[0001]本技术涉及籽晶杆移动组件
，尤其涉及的是一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置。
技术介绍
[0002]导模法生长氧化镓晶体是通过模具缝隙的虹吸现象把熔体提升到模具的上表面，之后下降籽晶至模具上表面使籽晶与熔体接触后开始生长晶体。
[0003]现在技术中，籽晶杆的位置无法在水平面上进行调整，在下降籽晶杆并将籽晶与熔体接触时，籽晶并不是对准模具的位置。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
[0005]本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置，旨在解决现有技术中籽晶杆的位置无法在水平面上进行调整的问题。
[0006]本技术解决技术问题所采用的技术方案如下：
[0007]一种籽晶杆移动组件，其中，包括：
[0008]底座；
[0009]X轴平移装置，与所述底座滑动连接；
[0010]Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；
[0011]壳体，设置于Y轴平移装置；
[0012]转动件，设置于所述壳体内；
[0013]籽晶杆，与所述转动件连接。
[0014]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述壳体的内侧壁上设置有称重传感器，所述转动件位于所述称重传感器下方并与所述称重传感器连接，所述称重传感器与所述壳体的顶壁具有间隔。
[0015]所述的籽晶杆称重组件，其中，所述称重传感器水平设置，所述称重传感器的两端分别连接所述壳体、所述籽晶杆。
[0016]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述底座上设置有第一通孔，所述X轴平移装置上设置有第二通孔，所述Y轴平移装置上设置有第三通孔，所述壳体上设置有第四通孔；
[0017]所述籽晶杆依次穿过所述第四通孔、所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔。
[0018]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述X轴平移装置包括：
[0019]X轴导轨，设置于所述底座；
[0020]X轴滑块，与所述X轴导轨滑动连接；
[0021]X轴螺杆，与所述底座转动连接；
[0022]X轴驱动件，设置于所述底座，所述X轴驱动件与所述X轴螺杆连接以驱动所述X轴
螺杆转动；
[0023]X轴连接件，设置于X轴滑块，所述X轴连接件与所述X轴螺杆转动连接。
[0024]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述Y轴平移装置包括：
[0025]Y轴导轨，设置于所述X轴滑块；
[0026]Y轴滑块，与所述Y轴导轨滑动连接；
[0027]Y轴螺杆，与所述X轴滑块转动连接；
[0028]Y轴驱动件，设置于所述X轴滑块，所述Y轴驱动件与所述Y轴螺杆连接以驱动所述Y轴螺杆转动；
[0029]Y轴连接件，设置于Y轴滑块，所述Y轴连接件与所述Y轴螺杆转动连接。
[0030]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述第四通孔的边缘设置有管体，所述管体围绕所述籽晶杆外，所述管体依次穿过所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔；
[0031]所述管体上设置有密封波纹管，所述密封波纹管围绕所述籽晶杆。
[0032]所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述籽晶杆移动组件还包括：
[0033]Z轴升降装置，所述Z轴升降装置与所述底座连接。
[0034]所述的籽晶杆移动组件，其中，所述Z轴升降装置包括：
[0035]基座；
[0036]Z轴导轨，设置于所述基座，所述底座与所述Z轴导轨滑动连接；
[0037]Z轴螺杆，与所述基座转动连接；
[0038]Z轴驱动件，设置于所述基座，所述Z轴驱动件与所述Z轴螺杆连接以驱动所述Z轴螺杆转动；
[0039]Z轴连接件，设置于所述基座，所述Z轴连接件与所述Z轴螺杆转动连接。
[0040]一种晶体生长装置，其中，包括：
[0041]如上述任意一项所述的籽晶杆移动组件。
[0042]有益效果：本技术通过在底座上设置X轴平移装置，并设置Y轴平移装置，将籽晶杆与转动件连接，转动件，设置于所述壳体内，且壳体与Y轴平移装置连接，通过X轴平移装置、Y轴平移装置以及转动件可以调整籽晶杆在水平面内的位置，从而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。
附图说明
[0043]图1是本技术中籽晶杆移动组件的第一立体图。
[0044]图2是本技术中籽晶杆移动组件的第二立体图。
[0045]图3是本技术中X轴平移装置和Y轴平移装置的第一结构示意图。
[0046]图4是本技术中籽晶杆移动组件的截面图。
[0047]图5是本技术中X轴平移装置和Y轴平移装置的第二结构示意图。
[0048]图6是本技术中Z轴平移装置的结构示意图。
[0049]附图标记说明：
[0050]10、底座；11、第一通孔；20、X轴平移装置；21、第二通孔；22、X轴导轨；23、X轴滑块；24、X轴螺杆；25、X轴驱动件；26、X轴连接件；30、Y轴平移装置；31、第三通孔；32、Y轴导轨；33、Y轴滑块；34、Y轴螺杆；35、Y轴驱动件；36、Y轴连接件；40壳体；41、转动件；411、安装座；
412、电机；413、轴承；414、管体；42、籽晶杆；43、称重传感器；50、Z轴升降装置；51、基座；52、Z轴导轨；53、Z轴螺杆；54、Z轴驱动件；55、Z轴连接件。
具体实施方式
[0051]为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0052]请同时参阅图1
‑
图6，本技术提供了一种籽晶杆移动组件的一些实施例。
[0053]本技术的籽晶杆移动组件应用于晶体生长，具体应用于熔融法晶体生长，例如，采用导模法，利用装载有籽晶的籽晶杆从模具上熔体的表面进行提拉得到晶体，在下降籽晶杆和向上提拉籽晶杆时，需要对准模具。需要说明的是，由于模具的上表面通常呈长条形，不仅需调整籽晶杆在水平面的位置，还需要调整籽晶杆的所朝的方向，才能将籽晶对准模具。
[0054]如图1
‑
图2以及图4所示，本技术的一种籽晶杆移动组件，包括：
[0055]底座10；
[0056]X轴平移装置20，与所述底座10滑动连接；
[0057]Y轴平移装置30，与所述X轴平移装置20滑动连接；
[0058]壳体40，设置于Y轴平移装置30；
[0059]转动件41，设置于所述壳体40内；
[0060]籽晶杆42，与所述转动件41连接。
[0061]X轴平移装置20是指在水平面内沿X轴方向移动的装置，Y轴平移装置30是指在水平面内沿Y轴方向移动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种籽晶杆移动组件，其特征在于，包括：底座；X轴平移装置，与所述底座滑动连接；Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；壳体，设置于Y轴平移装置；转动件，设置于所述壳体内；籽晶杆，与所述转动件连接。2.根据权利要求1所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述壳体的内侧壁上设置有称重传感器，所述转动件位于所述称重传感器下方并与所述称重传感器连接，所述称重传感器与所述壳体的顶壁具有间隔。3.根据权利要求2所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述称重传感器水平设置，所述称重传感器的两端分别连接所述壳体、所述籽晶杆。4.根据权利要求1所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述底座上设置有第一通孔，所述X轴平移装置上设置有第二通孔，所述Y轴平移装置上设置有第三通孔，所述壳体上设置有第四通孔；所述籽晶杆依次穿过所述第四通孔、所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔。5.根据权利要求4所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述X轴平移装置包括：X轴导轨，设置于所述底座；X轴滑块，与所述X轴导轨滑动连接；X轴螺杆，与所述底座转动连接；X轴驱动件，设置于所述底座，所述X轴驱动件与所述X轴螺杆连接以驱动所述X轴螺杆转动；X轴连接件，设置于X轴滑块，所述X轴连接件与所述X轴螺杆转动连接。6.根据权利要求5所述的籽晶杆移动组...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐红基，王晓亮，
申请(专利权)人：杭州富加镓业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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