一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，涉及气液分离装置技术领域，包括分离盒、中转盒、通入管、自动阀、输送管、分离室、排出管、排液管、存液盒、齿条、浮板、转动轴、复位弹簧、卡勾、卡槽和按钮。本实用通过设置分离盒、分离室、存液盒和排液管起到了对通风管路进行气液分离的作用，可避免抽风管路的抽风值受到影响，保障了显影效果，同时其操作简单、拆装方便，提高了操作人员的维护效果，综合使用效果较佳，还通过设置齿条、浮板、转动轴和传动齿轮起到了实时监测存液盒中废液储量的作用，避免了无法及时了解废液存量，而导致其溢出的情况发生，便于操作人员及时进行清理，便于进行使用。便于进行使用。便于进行使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置


[0001]本技术涉及气液分离装置
，具体为一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置。

技术介绍

[0002]在显影机中，晶圆表面的光阻经过曝光机曝光后来到显影机进行显影，从而得到我们想要的CD图形，而显影技术就是指在显影槽中的酸碱反应，该槽体组成由CUP和旋转CHUCK和显影液管路以及抽风管路等组成，由于酸碱反应存在放热问题，会影响显影的进行，于是需要抽风管路进行降温；酸碱反应后形成的废液由显影槽中旋转chuck的离心力作用经过CUP外壁流到废液管路。
[0003]但是由于显影槽内有抽风系统，所以多少会有轻微的废液流到抽风管路，在日积月累后，抽风管路里的废液会越来越多，从而对抽风管路的抽风值由影响，其需要人工定期进行清理，且其操作复杂、拆装较为麻烦，十分不利于使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，包括分离盒，所述分离盒的外壁一侧设有中转盒，所述中转盒的顶部一侧设有通入管，所述中转盒的外壁一侧设有自动阀，所述自动阀远离中转盒的外壁一侧设有输送管，所述输送管远离自动阀的一端与分离盒外壁一侧固定连接，所述分离盒的内部一侧设有与输送管相匹配的分离室，所述分离盒的顶部于输送管两侧设有与分离室相连的排出管，所述分离室的内壁底部一侧设有排液管，所述分离盒的底部一侧活动连接有存液盒，所述存液盒的顶部一侧设有与排液管相匹配的进出口，所述分离盒的内部一侧设有与存液盒相匹配的锁合机构。
[0006]进一步的，所述分离盒的内部一侧活动连接有齿条，所述齿条的底部一侧延伸至分离盒下方设有与进出口相匹配的浮板，所述分离盒的内部一侧水平设有转动连接的转动轴，所述转动轴的外壁一侧固定套设有传动齿轮，所述传动齿轮与齿条相啮合，所述转动轴的一端延伸至分离盒外侧设有指针，所述分离盒的外壁一侧设有与指针相匹配的刻度盘，其起到实时检测存液盒中废液储量的作用，便于操作人员及时进行清理。
[0007]进一步的，所述锁合机构包括活动连接于分离盒内部两侧的活动杆，所述活动杆的外壁一侧于分离盒内部设有复位弹簧，所述活动杆的底部一侧设有卡勾，所述存液盒的顶部两侧设有与卡勾相匹配的卡槽，所述活动杆远离存液盒的一端设有按钮，其起到方便快捷地完成对存液盒锁定的作用，便于操作人员进行拆装。
[0008]进一步的，所述排出管的外壁一侧设有卡环，其起到便于组装的作用，所述分离室靠近输送管的内壁底部一侧的高度低于另一侧，所述排液管位于分离室高度最低的内壁底
部一侧，其提高了气液分离效果，保障了通风管路的正常使用。
[0009]进一步的，所述分离盒的内部一侧设有与齿条相匹配的第一限位滑槽，其起到限位引导齿条稳定进行竖直运动的作用，所述齿条位于分离室的一侧，提高了装置的结构紧凑性，便于安装使用。
[0010]进一步的，所述分离盒的底部一侧设有与存液盒相匹配的定位凹槽，提高了对存液盒的固定锁合效果，所述分离盒的外壁两侧设有与按钮相匹配的第二限位滑槽，限位引导按钮进行水平运动。
[0011]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0012]1、该半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，通过设置分离盒、分离室、存液盒和排液管起到了对通风管路进行气液分离的作用，可避免抽风管路的抽风值受到影响，保障了显影效果，同时其操作简单、拆装方便，提高了操作人员的维护效果，综合使用效果较佳。
[0013]2、该半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，通过设置齿条、浮板、转动轴和传动齿轮起到了实时监测存液盒中废液储量的作用，避免了无法及时了解废液存量，而导致其溢出的情况发生，便于操作人员及时进行清理，便于进行使用。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术的主视剖面图；
[0017]图3是本技术图2中A处的放大示意图；
[0018]图4是本技术的俯视剖面图；
[0019]图5是本技术的侧视图。
[0020]图中：1、分离盒；2、中转盒；3、通入管；4、自动阀；5、输送管；6、分离室；7、排出管；8、排液管；9、存液盒；10、进出口；11、齿条；12、浮板；13、转动轴；14、传动齿轮；15、指针；16、刻度盘；17、活动杆；18、复位弹簧；19、卡勾；20、卡槽；21、按钮；22、卡环。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]如图1
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5所示的一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，包括分离盒1，所述分离盒1的外壁一侧设有中转盒2，所述中转盒2的顶部一侧设有通入管3，所述中转盒2的外壁一侧设有自动阀4，所述自动阀4远离中转盒2的外壁一侧设有输送管5，所述输送管5远离自动阀4的一端与分离盒1外壁一侧固定连接，所述分离盒1的内部一侧设有与输送管5相匹配的分离室6，所述分离盒1的顶部于输送管5两侧设有与分离室6相连的排出管7，所述排出管7的外壁一侧设有卡环22，使用时，将通风管路伸入排出管7内侧，然后锁紧卡环
22，即可将二者固定，其起到便于组装的作用，所述分离室6的内壁底部一侧设有排液管8，所述分离室6靠近输送管5的内壁底部一侧的高度低于另一侧，所述排液管8位于分离室6高度最低的内壁底部一侧，落在分离室6底部的废液可在重力作用下滑落至排液管8中，其提高了气液分离效果，保障了通风管路的正常使用，所述分离盒1的底部一侧活动连接有存液盒9，所述分离盒1的底部一侧设有与存液盒9相匹配的定位凹槽，存液盒9顶部通过定位凹槽伸入分离盒1内侧，提高了对存液盒9的固定锁合效果，所述存液盒9的顶部一侧设有与排液管8相匹配的进出口10，所述分离盒1的内部一侧设有与存液盒9相匹配的锁合机构，所述锁合机构包括活动连接于分离盒1内部两侧的活动杆17，所述活动杆17的外壁一侧于分离盒1内部设有复位弹簧18，所述活动杆17的底部一侧设有卡勾19，所述存液盒9的顶部两侧设有与卡勾19相匹配的卡槽20，所述活动杆17远离存液盒9的一端设有按钮21，所述分离盒1的外壁两侧设有与按钮21相匹配的第二限位滑槽，按钮21在活动杆17的带动下于第二限位滑槽内进行运动，起到限位引导按钮21进行水平运动的作用，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，包括分离盒(1)，其特征在于：所述分离盒(1)的外壁一侧设有中转盒(2)，所述中转盒(2)的顶部一侧设有通入管(3)，所述中转盒(2)的外壁一侧设有自动阀(4)，所述自动阀(4)远离中转盒(2)的外壁一侧设有输送管(5)，所述输送管(5)远离自动阀(4)的一端与分离盒(1)外壁一侧固定连接，所述分离盒(1)的内部一侧设有与输送管(5)相匹配的分离室(6)，所述分离盒(1)的顶部于输送管(5)两侧设有与分离室(6)相连的排出管(7)，所述分离室(6)的内壁底部一侧设有排液管(8)，所述分离盒(1)的底部一侧活动连接有存液盒(9)，所述存液盒(9)的顶部一侧设有与排液管(8)相匹配的进出口(10)，所述分离盒(1)的内部一侧设有与存液盒(9)相匹配的锁合机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，其特征在于：所述分离盒(1)的内部一侧活动连接有齿条(11)，所述齿条(11)的底部一侧延伸至分离盒(1)下方设有与进出口(10)相匹配的浮板(12)，所述分离盒(1)的内部一侧水平设有转动连接的转动轴(13)，所述转动轴(13)的外壁一侧固定套设有传动齿轮(14)，所述传动齿轮(14)与齿条(11)相啮合，所述转动轴(13)的一端延伸至分离盒(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鑫，朱书辉，
申请(专利权)人：苏州工业园区雨竹半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：