一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，本实用新型专利技术通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。或维修。或维修。

【技术实现步骤摘要】
一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置


[0001]本技术涉及液晶显示器生产设备
，具体为一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置。

技术介绍

[0002]光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。光阻主要由树脂(resin)，感光剂(sensitizer)，溶剂(solvent)三种成分混合而成；而光阻可分为正光阻及负光阻两种，正光阻是光阻本身难溶于显影液，曝光后解离成小分子，形成容易溶于显影液的结构；负光阻是曝光后形成不容易溶于显影液的结构；在液晶显示器件的制作过程中，需要在基板上均匀涂上一层光阻材料，以便制作电路图案，并且还要经过对该光阻材料的干燥和烘烤操作，以使该光阻材料的成型结构稳定。
[0003]现有的，软性基板光阻涂布以后通常直接传送到热板对其进行软烤，从而在传送的过程中，软板会发生变形，而软板的变形则会造成光阻流动，从而使得光阻分布不均匀及使得其厚度不均匀。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，所述丝杆的一端转动连接有调节架顶部设有的电机的输出端，所述滑槽内丝杆的外壁套设有滑板，所述滑板延伸至滑槽外的一端底部连接有连接杆，所述连接杆的一端穿过预热罩顶部并通过限制机构连接有加热架，所述加热架内侧设有若干红外线加热管，所述红外线加热管的下方设有吸盘，所述吸盘位于预热座内部，所述吸盘顶部设有基板。
[0006]进一步的，所述限制机构包括连接头，所述连接头与加热架固定连接，所述连接头顶部开设有与连接杆相匹配的安装槽，所述连接头的两侧对称设有插杆，所述插杆的一端插入连接头内并延伸到安装槽内与连接杆相连接，所述连接头两侧且位于插杆的下方对称开设有凹槽，所述凹槽内部安装有限制杆，所述限制杆一端贯穿插杆，所述凹槽内限制杆的下端连接有拉板，所述凹槽内限制杆的外壁上套设有弹簧，使得加热架与红外线加热管便于拆装。
[0007]进一步的，所述滑板通过丝杆螺母与丝杆活动连接，所述滑板与连接杆固定连接，确保丝杆能够带动连接杆进行同步上下移动。
[0008]进一步的，所述连接杆插入安装槽内的部分侧壁对称开设有与插杆相匹配的插槽，所述插杆为L形结构，确保能够对连接杆进行限制固定。
[0009]进一步的，所述限制杆的两端分别与拉板和凹槽内顶部固定连接，所述拉板的一端延伸到凹槽外侧，使得拉板便于拉动。
[0010]进一步的，所述拉板的侧壁与凹槽内壁相贴合，所述拉板与凹槽内壁滑动连接，确保其能够在调节时保持一定的稳定，同时起到导向的作用。
[0011]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0012]1、本技术通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；
[0013]2、本技术通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术整体的剖面结构示意图；
[0016]图2是本技术整体的正视结构示意图；
[0017]图3是本技术连接头的结构示意图；
[0018]图4是本技术图1中A的放大结构示意图；
[0019]图中：1、预热座；2、预热罩；3、调节架；4、丝杆；5、电机；6、滑槽；7、滑板；8、连接杆；9、加热架；10、红外线加热管；11、吸盘；12、连接头；13、插杆；14、拉板；15、凹槽；16、限制杆；17、弹簧；18、安装槽。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]如图1
‑
2所示的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座1，预热座1上方设有预热罩2，预热罩2的顶部设有调节架3，调节架3与预热罩2固定连接，调节架3的一侧开设有滑槽6，滑槽6内部设有丝杆4，丝杆4的一端转动连接调节架3顶部设有的电机5的输出端，电机5与调节架3规定连接，在滑槽6内部且位于丝杆4的外壁套设有滑板7，滑板7通过丝杆螺母与丝杆4活动连接，确保滑板7能够跟随丝杆4上下移动，滑板7延伸至滑槽6外的一端底部连接有连接杆8，连接杆8与滑槽6固定连接，连接杆8的下端穿过预热罩2顶部并通过限制机构与加热架9相连接，加热架9内侧设有若干红外线加热管10，在红外线加热管10的下方设有吸盘11，吸盘11设置于预热座1内，吸盘11顶部设有顶面涂布有光阻的基板。
[0022]实施方式具体为：使用时，通过启动电机5启动丝杆4转动，从而带动滑板7进行上下方向的移动，从而通过滑板7带动连接杆8同步移动，从而带动预热罩2内侧的加热架9和
红外线加热管10，从而对红外线加热管10于基板上光阻之间的距离进行调控，使其调节到合适距离之后，即可打开红外线加热管10，通过红外线加热管10对光阻照射，使其微硬化，从而在传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，而对于加热架9和红外线加热管10与光阻之间的距离调节则能够很好的改变光阻的受热量的大小，从而使其预热效果更好，使其光阻能够更好更快地微硬化。
[0023]如附图1
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4所示的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其中限制机构包括连接头12，连接头12的顶部开设有与连接杆8一端相适配的安装槽18，在连接头12的两侧对称设有插杆13，插杆13的一端插入连接头12内并延伸至安装槽18内与连接杆8相连接，连接杆8插入安装槽18内的部分外壁对称开设有与插杆13相匹配的插槽，通过插杆13一端插入插槽内实现与连接杆8之间的连接固定，插杆13为L形结构，便于施力拉动插杆13，在连接头12的两侧且位于插杆13的下方对称开设有凹槽15，在凹槽15内部设有限制杆16，限制杆16的一端贯穿插杆13，凹槽15内部限且位于限制杆16的底部连接有拉板14，拉板14与限制杆16固定连接，拉板14的一端延本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座(1)，其特征在于：所述预热座(1)的上方设有预热罩(2)，所述预热罩(2)的顶部设有调节架(3)，所述调节架(3)一侧开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)内部设有丝杆(4)，所述丝杆(4)的一端转动连接有调节架(3)顶部设有的电机(5)的输出端，所述滑槽(6)内丝杆(4)的外壁套设有滑板(7)，所述滑板(7)延伸至滑槽(6)外的一端底部连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的一端穿过预热罩(2)顶部并通过限制机构连接有加热架(9)，所述加热架(9)内侧设有若干红外线加热管(10)，所述红外线加热管(10)的下方设有吸盘(11)，所述吸盘(11)位于预热座(1)内部，所述吸盘(11)顶部设有基板。2.根据权利要求1所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述限制机构包括连接头(12)，所述连接头(12)与加热架(9)固定连接，所述连接头(12)顶部开设有与连接杆(8)相匹配的安装槽(18)，所述连接头(12)的两侧对称设有插杆(13)，所述插杆(13)的一端插入连接头(12)内并延伸到安装槽(18)内与连接杆(8)相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘峰，吴铭钦，
申请(专利权)人：苏州工业园区雨竹半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：