气体放电型显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术的气体放电型显示装置，在前面板１上形成若干个阴极线２。在后面板３上形成阳极母线４ａ、阳极电极４ｂ和辅助电极１１、电阻体８、层间绝缘膜１０，在阳极电极４ｂ的上面形成显示电极体７。在层间绝缘膜１０上形成树脂粘合剂含量不同的三层绝缘层，利用喷砂加工法形成由隔壁层５ａ、５ｂ、５ｃ组成的隔壁５。在放电室６内的层间绝缘膜１０上涂敷荧光体９。使前面板１和后面板３在阴极线２和阳极母线４ａ互相正交的状态下夹住隔壁５而进行接合。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用气体放电显示文字和图象等的，特别涉及构成放电室的隔壁结构及其制造方法。近年来气体放电型显示装置(等离子显示面板)作为平面型显示装置用在便携式计算机等信息终端机上。由于这种气体放电型显示装置显示鲜明，并比液晶板的视野角宽，所以其应用范围正在扩大。随着电视接收机的大型化，与此相应利用投射阴极射线管或液晶板的投射式电视等也正在商品化。可是在画面的亮度和装置大小上都存在着问题。气体放电型显示装置随着最近其彩色化技术的显著进步，其进深可以做得比阴极射线管薄许多，所以其作为高清晰度用壁挂式电视机而引人注目，并且期待着再现真实颜色和亮度及寿命的提高。以下就已有的存储驱动方式和直流形气体放电型显示装置的一个例子参照图8进行说明。如图8所示，在由透明玻璃等组成的前面板21上形成若干个条状阴极线22。而在由透明玻璃等组成的后面板23上形成若干条状的阳极母线24a。前面板21和后面板23按照阴极线22与阳极母线24a互相垂直地配置而夹着若干个隔壁25、并彼此相对。据此，由隔壁25包围的多个放电室26形成矩阵状。组合的前面板21和后面板23的周围被低融点玻璃等密封，在放电室26的内部封入以稀有气体为主体的放电气体。在后面板23的上面与各自的放电室26相对应分别形成了阳极电极24b。在各阳极电极24b的上面位于放电室26内形成了显示电极体27。显示电极体27通过电阻28与阳极母线24a相连接。这样，通过阴极线22和显示电极体(阳极)27在放电室26内形成一对放电电极、另外，在图8中31是为了使放电室26的放电容易开始而用于产生辅助放电的辅助电极。在形成阳极母线24a、阳极电极24b和电阻28的后面板23的上面除去显示电极体27之外的部分上形成层间绝缘膜30。借此防止放电室26内的等离子体与阳极母线24a或电阻体28之间的放电。另外，在放电室26内的层间绝缘膜30上除去显示电极体27之外的部分上涂敷荧光体29。前面板21除去阴极线22之外的部分是透明的，并处在通过放电室26可直接观察荧光体29表面的状态。阴极线22、阳极母线24a、阳极电极24b、显示电极体27、电阻28、层间绝缘膜30、荧光体29和隔壁25等是利用厚膜印刷技术而形成在由玻璃板等组成的前面板21或后面板23上。在上述构成中，为了象上述高清晰度电视那样提高像素密度并再生出高精细的图象，有必要超精细地形成构成放电室的隔壁。具体地讲，必须形成具有高160-200μm、宽50-60μm形成尺寸的精细的隔壁。特别是为了显示彩色图象必须使一个点由R、G、B的三个放电室构成，如果要获得高精细度的显示图象，则必须具有非常微细和高精度地形成的形状尺寸的隔壁。下面参照附图说明已有的气体放电型显示装置中的隔壁的形成方法。图9是表示已有的气体放电型显示装置中的隔壁形成方法的工艺图，图10是表示这种喷砂工艺的概略图。另外，在图9和10略去了与形成隔壁没有关系的构成要素。首先如图9(a)所示，在由形成有阳极电极24b的透明玻璃等组成的后面板23的上面，利用刮涂法涂敷用于形成隔壁25的活性膏32。接着在使活性膏32干燥固化后，按图9(b)所示，在活性膏32上贴上感光膜33。接着按图9所示，通过形成有隔壁图形的曝光掩模向感光膜33上照射紫外线，使感光部分经显影除去后就形成掩膜图形34。接着按图9(d)所示，利用装有喷枪35的喷砂装置，把由玻璃丝等组成的研磨砂吹到活性膏32上。借此除去形成掩膜图形34之外的部分活性膏32被切削。最后按图9(e)所示，利用剥离剂除去掩膜图形34。通过以上的工艺在后面板23上形成隔壁25。如图10所示，在上述工艺(d)中，后面板23向一个方向移动，而喷砂装置(喷枪35)对着后面板23的移动方向沿直角方向在后面板23上的掩膜图形34的上方往复运动。在这种状态下，玻璃丝等组成的研磨砂从喷枪35的喷嘴喷射出，对没有形成掩膜图形34的部分的活性膏32进行切削。如上所述，在已有的气体放电型显示装置的制作过程中，是在利用厚膜印刷技术在玻璃基板的整个表面上涂敷形成隔壁的材料后，利用喷砂加工法除去不要部分来形成隔壁。在这种情况下，由于作为隔壁材料通常采用一种材料，所以在进行喷砂时存在下述的问题。即隔热材料作为必备的特性应具有(1)对玻璃基板的密合性，(2)对喷砂加工法的切削性，(3)对用于进行喷砂时的掩膜的抗蚀剂的密合性，(4)对在切削活性膏后剥离除去抗蚀剂时的剥离剂的耐久性。可以，利用已有的由一种组成的隔壁材料同时满足这些不同的特性是非常困难的。另外，具有上述已有构成的隔壁或其制造方法形成具有下述尺寸的用于构成可再生高精细图象的象素的微细并高密度的隔壁和放电室是困难的，在隔壁形状尺寸中，隔壁的宽为(100±10)μm左右，高为(200±5)μm左右，放电室的间距为(650±10)μm左右。另外，在已有的气体放电型显示装置的制造方法中。利用喷砂加工切除活化膏通常是用具有一个喷枪的喷砂装置完成的。在图11中示出了采用一个喷枪的喷砂装置中的研磨砂的喷射压力对活化膏的切削速率和隔壁的侧冲蚀量的影响。在图12中示出了利用一个喷枪的喷砂装置中的喷射距离即活化膏与喷枪间的距离对活化膏的切削速率和隔壁的侧冲蚀量的影响。如图11所示，随着喷射压力P的上升，活化膏的切削速率Rs上升，同时隔壁的侧冲蚀量Es也以比切削速率Rs更大的比例增加。另外，当喷射压力P的相对值下降到侧冲蚀量Es小于3以下，为了使已下降的切削速率Rs上升，而使喷射距离变短时，则如图12所示，侧冲蚀量又上升。如图13(a)所示，隔壁25其截面本来应是长方形，但在这种情况下却如图13(b)所示，隔壁25的壁面变成凹曲面，隔壁中央截面的宽度变窄。因此存在使隔壁的精度、强度一起降低的问题。本专利技术是为了解决已有技术中的上述课题而提出的，它提供装备有形成适合于显示高精度彩色图象的放电室所必要的隔壁结构的。为实现上述目的，本专利技术的气体放电型显示装置的构成包括第一基板、在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在上述第一基板和上述第二基板之间形成的隔壁、封入在上述放电室内的放电气体；其特征在于，上述隔壁由从上述第二基板侧开始顺序重叠的第一隔壁层、第二隔壁层和第三隔壁层的三层叠层构造体所组成。按照该气体放电型显示装置的构成，借助第一壁层可以使相对第二基板的隔壁的密合性提高，同时可以使相对抗蚀剥离剂的隔壁的耐心性提高。另外借助第二隔壁层可以改善对喷砂加工法的切削性。另外，借助第三隔壁层可以使对成为喷砂时的掩模的抗蚀剂的隔壁的密合性得到提高。另外在上述本专利技术的气体放电型显示装置的构成中，隔壁最好是把以1.0-3.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第一隔壁层、以0.5-1.5重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第二隔壁层、以2.0-5.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第三隔壁层顺序重叠、然后在所定温度下烧接而形成。如果采用这个最好的例子，可以产生如下的效果。即，由于第三隔壁层的树脂粘合剂的含量相当大，所以隔壁与掩膜图形用的抗蚀剂之间的密合性良好，而且由于切削速率开始也比较慢，所以在喷砂初期可以正确地切削放电室开口部。另外本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体放电型显示装置，包括：第一基板，在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在上述第一基板与上述第二基板之间形成的隔壁以及封在上述放电室内的放电气体，其特征在于，上述隔壁由从上述第二基板侧顺序重叠的第一隔壁层、第二隔壁层和第三隔壁层的三层叠层构造体所组成。

【技术特征摘要】
JP 1995-4-20 094852/95;JP 1995-4-20 094853/951.一种气体放电型显示装置，包括第一基板，在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在上述第一基板与上述第二基板之间形成的隔壁以及封在上述放电室内的放电气体，其特征在于，上述隔壁由从上述第二基板侧顺序重叠的第一隔壁层、第二隔壁层和第三隔壁层的三层叠层构造体所组成。2.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，隔壁是把以1.0-3.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第一隔壁层、以0.5-1.5重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第二隔壁层、以2.0-5.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第三隔壁层顺序重叠、然后在所定温度下烧结而形成。3.如权利要求2所述的气体放电型显示装置，其特征在于，树脂粘合剂是纤维素系高分子粘合剂。4.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，第一隔壁层的厚度为5-15μm，第二隔壁层的厚度为100-250μm，第三隔壁层的厚度为5-30μm。5.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，在第二基板上形成绝缘膜，在第一基板与上述绝缘膜之间形成隔壁。6.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，第一电极由阴极线组成；第二电极由阳极母线、通过电阻与上述阳极母线连接的阳极电极、在上述阳极电极上形成的显示电极体所组成；在第二基板上除去上述显示电极体部分形成绝缘膜；在第一基板与上述绝缘膜之间形成隔壁。7.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，第二隔壁层由若干个隔壁膜的叠层构造体所组成。8.如权利要求1所述的气体放电型显示装置，其特征在于，第三隔壁层由黑色材料组成。9.一种气体放电型显示装置的制造方法，该气体放电显示装置包括第一基板、在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在第一基板与第二基板之间形成的隔壁和封在上述放电室内的放电气体；其特征在于，包括以下步骤在上述第二基板上形成上述第二电极的步骤，在形成上述第二电极的上述第二基板上形成绝缘层的步骤，在上述绝缘层的上面形成耐喷砂性的掩模图形的步骤，利用装...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原伸也，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]