一种用于气体分流模组的拆除治具及方法技术

本发明专利技术提供一种用于气体分流模组的拆除治具及方法，利用气缸自身的升降功能，在上升时将所述拆除治具放置在支撑柱和圆盘的分支角之间，在下降过程中，由于所述拆除治具的存在，使得所述圆盘无法下降到原来的位置，因此所述气体分流板将会在气缸的下降命令下被抬起，从而使得所述气体分流模组与底部分离。本发明专利技术提供的用于气体分流模组的拆除治具及方法，所述拆除治具制作简单，成本低廉，使用时不依赖操作人员的力量硬性拆除，同时可以减少对气体分流板的损坏。气体分流板的损坏。气体分流板的损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于气体分流模组的拆除治具及方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于气体分流模组的拆除治具及方法。

技术介绍

[0002]目前半导体行业中，当需要拆除气体分流模组时，常采用扳手硬撬的方式，而不同操作人员在作业时用力不同，容易造成部件损坏。同时，气体分流模组与扳手接触位置多次受力易发生形变，造成气体泄漏。如果操作人员拆除时用力过大也易造成与气体分流板相连的密封圈破损和气体出气位置变形。
[0003]因此，如何提供一种用于气体分流模组的拆除治具及方法，以改善现有技术中存在的问题，是本领域技术人亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于气体分流模组的拆除治具及方法，以改善现有技术存在的利用扳手拆除气体分流模组时导致的所述气体分流模组部件损坏以及密封圈破损等问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种用于气体分流模组的拆除治具，所述气体分流模组包括气体分流板、气缸和圆盘，所述气缸设置在所述气体分流板和所述圆盘之间；所述圆盘的外周设置有三个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于气体分流模组的拆除治具，所述气体分流模组包括气体分流板、气缸和圆盘，所述气缸设置在所述气体分流板和所述圆盘之间；所述圆盘的外周设置有三个分支角，每个所述分支角设置有一上下贯通的连接孔，承载所述气体分流模组的机台上设置有与所述分支角对应的支撑柱；其特征在于，所述拆除治具包括第一圆柱体和第二圆柱体；所述第一圆柱体的一端与所述第二圆柱体的一端连接；所述第一圆柱体的另一端用于伸入所述连接孔，所述第二圆柱体的另一端放置在所述支撑柱上。2.如权利要求1所述的一种用于气体分流模组的拆除治具，其特征在于，所述第一圆柱体的直径为8mm，高为8mm，所述第二圆柱体的直径为40mm,高为10mm。3.如权利要求1所述的一种用于气体分流模组的拆除治具，其特征在于，所述拆除治具的材质包括：特氟龙。4.如权利要求1所述的一种用于气体分流模组的拆除治具，其特征在于，所述第一圆柱体和所述第二圆柱体之间的连接方式包括：一体成型。5.如权利要求1所述的一种用于气体分流模组的拆除治具，其特征在于，所述第一圆柱体与所述第二圆柱体共轴线。6.如权利要求1所述的一种用于气体分流...

【专利技术属性】
技术研发人员：周俊，张世琛，杨俊杰，
申请(专利权)人：晶芯成北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：